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Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface

The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Problems of Atomic Science and Technology
Datum:	2022
Hauptverfasser:	Kuzmichev, A., Melnichenko, M.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2022
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195913
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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