Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors
In these experiments, the energy distribution functions of ions and plasma parameters in the generated flows of a non-self-sustained arc discharge in pure molybdenum vapors and in a mixture of molybdenum vapors with gas were investigated. It is proved that there are practically no ions with energy o...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2023 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196031 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors / A.G. Borisenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 67-70. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862716760723030016 |
|---|---|
| author | Borisenko, A.G. |
| author_facet | Borisenko, A.G. |
| citation_txt | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors / A.G. Borisenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 67-70. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | In these experiments, the energy distribution functions of ions and plasma parameters in the generated flows of a non-self-sustained arc discharge in pure molybdenum vapors and in a mixture of molybdenum vapors with gas were investigated. It is proved that there are practically no ions with energy over 100 eV in the flows, and that the maximum of the ion distribution function shifts to lower values of the ion energy when the vacuum arc discharge current increases. The values of the plasma potential in the flows, the density and temperature of the plasma electrons at different discharge currents were determined. It is shown that the working medium of the discharge in pure molybdenum vapors is formed during the diffuse evaporation of the working material, which ensures the absence of droplets of the working material in the generated flows. Growth rates of deposited molybdenum films at different operating modes of the discharge were determined. It has been proven that the plasma flow created by a discharge of this type in molybdenum vapors has a compensated volume charge and can be used to apply metal films and coatings to substrates made of various materials, including dielectric ones.
У цих експериментах були досліджені функції розподілу іонів за енергією в плазмових потоках несамостійного дугового розряду в чистих парах молібдену та параметри плазми в генерованих потоках. Доведено, що максимум функції розподілу іонів за енергією зміщується до менших значень енергії іонів при збільшенні струму вакуумного дугового розряду. Визначені значення потенціалу плазми в потоках, густина та температура електронів плазми при різних струмах розряду. Показано, що робоче середовище розряду в чистих парах молібдену формується при дифузному випаровуванні робочого матеріалу, що забезпечує відсутність у створюваних потоках крапель робочого матеріалу. Визначені швидкості росту осаджуваних плівок молібдену в різних робочих режимах розряду. Доведено, що створюваний розрядом даного типу в парах молібдену плазмовий потік має компенсований об’ємний заряд і може бути використаним для нанесення металевих плівок і покриттів на підкладинки з різних матеріалів, у тому числі і діелектричних.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:07:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196031 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:07:20Z |
| publishDate | 2023 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Borisenko, A.G. 2023-12-09T10:00:32Z 2023-12-09T10:00:32Z 2023 Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors / A.G. Borisenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 67-70. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg,52.80 Vp DOI: https://doi.org/10.46813/2023-143-067 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196031 In these experiments, the energy distribution functions of ions and plasma parameters in the generated flows of a non-self-sustained arc discharge in pure molybdenum vapors and in a mixture of molybdenum vapors with gas were investigated. It is proved that there are practically no ions with energy over 100 eV in the flows, and that the maximum of the ion distribution function shifts to lower values of the ion energy when the vacuum arc discharge current increases. The values of the plasma potential in the flows, the density and temperature of the plasma electrons at different discharge currents were determined. It is shown that the working medium of the discharge in pure molybdenum vapors is formed during the diffuse evaporation of the working material, which ensures the absence of droplets of the working material in the generated flows. Growth rates of deposited molybdenum films at different operating modes of the discharge were determined. It has been proven that the plasma flow created by a discharge of this type in molybdenum vapors has a compensated volume charge and can be used to apply metal films and coatings to substrates made of various materials, including dielectric ones. У цих експериментах були досліджені функції розподілу іонів за енергією в плазмових потоках несамостійного дугового розряду в чистих парах молібдену та параметри плазми в генерованих потоках. Доведено, що максимум функції розподілу іонів за енергією зміщується до менших значень енергії іонів при збільшенні струму вакуумного дугового розряду. Визначені значення потенціалу плазми в потоках, густина та температура електронів плазми при різних струмах розряду. Показано, що робоче середовище розряду в чистих парах молібдену формується при дифузному випаровуванні робочого матеріалу, що забезпечує відсутність у створюваних потоках крапель робочого матеріалу. Визначені швидкості росту осаджуваних плівок молібдену в різних робочих режимах розряду. Доведено, що створюваний розрядом даного типу в парах молібдену плазмовий потік має компенсований об’ємний заряд і може бути використаним для нанесення металевих плівок і покриттів на підкладинки з різних матеріалів, у тому числі і діелектричних. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Low temperature plasma and plasma technologies Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors Динаміка розподілу іонів за енергією та параметри плазми у потоках несамостійного дугового розряду у парах молібдену Article published earlier |
| spellingShingle | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors Borisenko, A.G. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors |
| title_alt | Динаміка розподілу іонів за енергією та параметри плазми у потоках несамостійного дугового розряду у парах молібдену |
| title_full | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors |
| title_fullStr | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors |
| title_full_unstemmed | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors |
| title_short | Dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors |
| title_sort | dynamics of the ion energy distribution and plasma parameters in flows of the non-self-sustained arc discharge in molybdenum vapors |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196031 |
| work_keys_str_mv | AT borisenkoag dynamicsoftheionenergydistributionandplasmaparametersinflowsofthenonselfsustainedarcdischargeinmolybdenumvapors AT borisenkoag dinamíkarozpodíluíonívzaenergíêûtaparametriplazmiupotokahnesamostíinogodugovogorozrâduuparahmolíbdenu |