Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge
The paper presents a method for the formation of low-energy ion flow for creation and treatment of functional coatings without radiation damage. Plasma source based in arc discharge with filament cathode creates the primary plasma in the volume of vacuum chamber where the treated sample is placed. T...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2023 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196047 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge / Ya. Hrechkо, Ie. Babenko, I. Sereda , N. Azarenkov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 47-50. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862748699389591552 |
|---|---|
| author | Hrechkо, Ya. Babenko, Ie. Sereda, I. Azarenkov, N. |
| author_facet | Hrechkо, Ya. Babenko, Ie. Sereda, I. Azarenkov, N. |
| citation_txt | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge / Ya. Hrechkо, Ie. Babenko, I. Sereda , N. Azarenkov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 47-50. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | The paper presents a method for the formation of low-energy ion flow for creation and treatment of functional coatings without radiation damage. Plasma source based in arc discharge with filament cathode creates the primary plasma in the volume of vacuum chamber where the treated sample is placed. The formation of low-energy ion flow takes place in the layer of space charge near the samples surface. The behavior of the ion current density depending on the potential drop in the layer has been studied for various experimental parameters and conditions. The sample surface treatment by low-energy ion flow has been also evaluated.
Представлено спосіб формування низькоенергетичного потоку іонів для створення та обробки функціональних покриттів без радіаційних пошкоджень. Джерело плазми на основі дугового розряду з катодом розжарення створює первинну плазму в об’ємі вакуумної камери, де розміщується зразок, що обробляється. Формування низькоенергетичного потоку іонів здійснюється у шарі просторового заряду біля поверхні зразків. Досліджено поведінку густини іонного струму в залежності від падіння потенціалу в шарі для різних експериментальних параметрів і умов. Також було оцінено обробку поверхні зразка потоком низькоенергетичних іонів.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:55:48Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196047 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T20:55:48Z |
| publishDate | 2023 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Hrechkо, Ya. Babenko, Ie. Sereda, I. Azarenkov, N. 2023-12-09T10:10:25Z 2023-12-09T10:10:25Z 2023 Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge / Ya. Hrechkо, Ie. Babenko, I. Sereda , N. Azarenkov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 47-50. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg, 52.59.-f, 81.15.Jj DOI: https://doi.org/10.46813/2023-143-047 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196047 The paper presents a method for the formation of low-energy ion flow for creation and treatment of functional coatings without radiation damage. Plasma source based in arc discharge with filament cathode creates the primary plasma in the volume of vacuum chamber where the treated sample is placed. The formation of low-energy ion flow takes place in the layer of space charge near the samples surface. The behavior of the ion current density depending on the potential drop in the layer has been studied for various experimental parameters and conditions. The sample surface treatment by low-energy ion flow has been also evaluated. Представлено спосіб формування низькоенергетичного потоку іонів для створення та обробки функціональних покриттів без радіаційних пошкоджень. Джерело плазми на основі дугового розряду з катодом розжарення створює первинну плазму в об’ємі вакуумної камери, де розміщується зразок, що обробляється. Формування низькоенергетичного потоку іонів здійснюється у шарі просторового заряду біля поверхні зразків. Досліджено поведінку густини іонного струму в залежності від падіння потенціалу в шарі для різних експериментальних параметрів і умов. Також було оцінено обробку поверхні зразка потоком низькоенергетичних іонів. This work was supported by the National Research Foundation of Ukraine (Grant № 2020.02/0234). en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Plasma dynamics and plasma-wall interaction Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge Бомбардування поверхні низькоенергетичним потоком іонів, прискореним у приповерхневому шарі об’ємного заряду Article published earlier |
| spellingShingle | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge Hrechkо, Ya. Babenko, Ie. Sereda, I. Azarenkov, N. Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| title | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge |
| title_alt | Бомбардування поверхні низькоенергетичним потоком іонів, прискореним у приповерхневому шарі об’ємного заряду |
| title_full | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge |
| title_fullStr | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge |
| title_full_unstemmed | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge |
| title_short | Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge |
| title_sort | bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge |
| topic | Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| topic_facet | Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196047 |
| work_keys_str_mv | AT hrechkoya bombardmentofthesurfacebyalowenergyionflowacceleratedinthenearsurfacelayerofthespacecharge AT babenkoie bombardmentofthesurfacebyalowenergyionflowacceleratedinthenearsurfacelayerofthespacecharge AT seredai bombardmentofthesurfacebyalowenergyionflowacceleratedinthenearsurfacelayerofthespacecharge AT azarenkovn bombardmentofthesurfacebyalowenergyionflowacceleratedinthenearsurfacelayerofthespacecharge AT hrechkoya bombarduvannâpoverhnínizʹkoenergetičnimpotokomíonívpriskorenimupripoverhnevomušaríobêmnogozarâdu AT babenkoie bombarduvannâpoverhnínizʹkoenergetičnimpotokomíonívpriskorenimupripoverhnevomušaríobêmnogozarâdu AT seredai bombarduvannâpoverhnínizʹkoenergetičnimpotokomíonívpriskorenimupripoverhnevomušaríobêmnogozarâdu AT azarenkovn bombarduvannâpoverhnínizʹkoenergetičnimpotokomíonívpriskorenimupripoverhnevomušaríobêmnogozarâdu |