Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma
Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2023 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196049 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196049 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. 2023-12-09T10:11:15Z 2023-12-09T10:11:15Z 2023 Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40Hf, 28.52Fa, 68.49Sf, 79.20Rf DOI: https://doi.org/10.46813/2023-143-057 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196049 Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature. The composition of the WN coating changes under the influence of deuterium plasma, its enrichment with tungsten up to 100% is observed. Results of erosion studies indicated that the sputtering yields for coatings WN and W are ∼2.4·10⁻² at./ion and to be systematically higher than the published data which were measured for bulk materials. Досліджено вплив низькоенергетичної (500 еВ/D) дейтерієвої плазми з флюенсом (1…4,5)·10²⁴ D₂⁺/m² за кімнатної температури на процеси розпилення, модифікацію поверхні та зміну стехіометричного складу покриттів W і WN, осаджених на нержавіючу сталь катодним дуговим випаровуванням. Опромінення дейтерієвою плазмою змінює склад покриття WN, спостерігається його збагачення вольфрамом до 100%. Результати досліджень ерозії показали, що коефіцієнти розпилення для покриттів WN і W становлять ∼2.4·10⁻² ат./іон і систематично перевищують опубліковані дані для об’ємних матеріалів. The work was financially supported by the National Academy of Science of Ukraine and The European Federation of Academies of Sciences and Humanities (ALLEA), within the framework the “European Fund for Displaced Scientists”, Grant EFDS-FL2-04. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Plasma dynamics and plasma-wall interaction Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma Морфологія та розпилення покриттів з нітриду вольфраму під впливом дейтерієвої плазми Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| spellingShingle |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| title_short |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_full |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_fullStr |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_full_unstemmed |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_sort |
morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| author |
Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. |
| author_facet |
Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. |
| topic |
Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| topic_facet |
Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| publishDate |
2023 |
| language |
English |
| container_title |
Problems of Atomic Science and Technology |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Морфологія та розпилення покриттів з нітриду вольфраму під впливом дейтерієвої плазми |
| description |
Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature. The composition of the WN coating changes under the influence of deuterium plasma, its enrichment with tungsten up to 100% is observed. Results of erosion studies indicated that the sputtering yields for coatings WN and W are ∼2.4·10⁻² at./ion and to be systematically higher than the published data which were measured for bulk materials.
Досліджено вплив низькоенергетичної (500 еВ/D) дейтерієвої плазми з флюенсом (1…4,5)·10²⁴ D₂⁺/m² за кімнатної температури на процеси розпилення, модифікацію поверхні та зміну стехіометричного складу покриттів W і WN, осаджених на нержавіючу сталь катодним дуговим випаровуванням. Опромінення дейтерієвою плазмою змінює склад покриття WN, спостерігається його збагачення вольфрамом до 100%. Результати досліджень ерозії показали, що коефіцієнти розпилення для покриттів WN і W становлять ∼2.4·10⁻² ат./іон і систематично перевищують опубліковані дані для об’ємних матеріалів.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196049 |
| fulltext |
|
| citation_txt |
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT tolstolutskayagd morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT kuprinas morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT nikitinav morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT vasilenkorl morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT tolstolutskayagd morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi AT kuprinas morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi AT nikitinav morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi AT vasilenkorl morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi |
| first_indexed |
2025-11-24T15:07:09Z |
| last_indexed |
2025-11-24T15:07:09Z |
| _version_ |
1850847535734718464 |