Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma
Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Дата: | 2023 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196049 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862538589377658880 |
|---|---|
| author | Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. |
| author_facet | Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. |
| citation_txt | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature. The composition of the WN coating changes under the influence of deuterium plasma, its enrichment with tungsten up to 100% is observed. Results of erosion studies indicated that the sputtering yields for coatings WN and W are ∼2.4·10⁻² at./ion and to be systematically higher than the published data which were measured for bulk materials.
Досліджено вплив низькоенергетичної (500 еВ/D) дейтерієвої плазми з флюенсом (1…4,5)·10²⁴ D₂⁺/m² за кімнатної температури на процеси розпилення, модифікацію поверхні та зміну стехіометричного складу покриттів W і WN, осаджених на нержавіючу сталь катодним дуговим випаровуванням. Опромінення дейтерієвою плазмою змінює склад покриття WN, спостерігається його збагачення вольфрамом до 100%. Результати досліджень ерозії показали, що коефіцієнти розпилення для покриттів WN і W становлять ∼2.4·10⁻² ат./іон і систематично перевищують опубліковані дані для об’ємних матеріалів.
|
| first_indexed | 2025-11-24T15:07:09Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196049 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-24T15:07:09Z |
| publishDate | 2023 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. 2023-12-09T10:11:15Z 2023-12-09T10:11:15Z 2023 Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma / G.D. Tolstolutskaya, A.S. Kuprin, A.V. Nikitin, R.L. Vasilenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 1. — С. 57-62. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40Hf, 28.52Fa, 68.49Sf, 79.20Rf DOI: https://doi.org/10.46813/2023-143-057 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196049 Processes of sputtering, surface modification and change in the stoichiometric composition of W and WN coatings deposited on stainless steel by cathodic arc evaporation were studied under the influence of low-energy (500 eV/D) deuterium plasma with fluence of (1…4.5)·10²⁴ D₂⁺/m² at room temperature. The composition of the WN coating changes under the influence of deuterium plasma, its enrichment with tungsten up to 100% is observed. Results of erosion studies indicated that the sputtering yields for coatings WN and W are ∼2.4·10⁻² at./ion and to be systematically higher than the published data which were measured for bulk materials. Досліджено вплив низькоенергетичної (500 еВ/D) дейтерієвої плазми з флюенсом (1…4,5)·10²⁴ D₂⁺/m² за кімнатної температури на процеси розпилення, модифікацію поверхні та зміну стехіометричного складу покриттів W і WN, осаджених на нержавіючу сталь катодним дуговим випаровуванням. Опромінення дейтерієвою плазмою змінює склад покриття WN, спостерігається його збагачення вольфрамом до 100%. Результати досліджень ерозії показали, що коефіцієнти розпилення для покриттів WN і W становлять ∼2.4·10⁻² ат./іон і систематично перевищують опубліковані дані для об’ємних матеріалів. The work was financially supported by the National Academy of Science of Ukraine and The European Federation of Academies of Sciences and Humanities (ALLEA), within the framework the “European Fund for Displaced Scientists”, Grant EFDS-FL2-04. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Plasma dynamics and plasma-wall interaction Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma Морфологія та розпилення покриттів з нітриду вольфраму під впливом дейтерієвої плазми Article published earlier |
| spellingShingle | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma Tolstolutskaya, G.D. Kuprin, A.S. Nikitin, A.V. Vasilenko, R.L. Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| title | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_alt | Морфологія та розпилення покриттів з нітриду вольфраму під впливом дейтерієвої плазми |
| title_full | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_fullStr | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_full_unstemmed | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_short | Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| title_sort | morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma |
| topic | Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| topic_facet | Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196049 |
| work_keys_str_mv | AT tolstolutskayagd morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT kuprinas morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT nikitinav morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT vasilenkorl morphologyandsputteringoftungstennitridescoatingsexposedtodeuteriumplasma AT tolstolutskayagd morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi AT kuprinas morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi AT nikitinav morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi AT vasilenkorl morfologíâtarozpilennâpokrittívznítriduvolʹframupídvplivomdeiteríêvoíplazmi |