Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method
The efficiency of diamond coating synthesis depends on both the parameters of the plasma flow and the uniform temperature distribution on the surface of the substrate on which the coating is synthesized. Mathematical modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2023 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196143 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method / S.O. Martynov, O.A. Luchaninov, V.P. Lukyanova, S.I. Prokhorets, O.O. Slabospytska, M.A. Khazhmuradov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 72-75. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862557804900909056 |
|---|---|
| author | Martynov, S.O. Luchaninov, O.A. Lukyanova, V.P. Prokhorets, S.I. Slabospytska, O.O. Khazhmuradov, M.A. |
| author_facet | Martynov, S.O. Luchaninov, O.A. Lukyanova, V.P. Prokhorets, S.I. Slabospytska, O.O. Khazhmuradov, M.A. |
| citation_txt | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method / S.O. Martynov, O.A. Luchaninov, V.P. Lukyanova, S.I. Prokhorets, O.O. Slabospytska, M.A. Khazhmuradov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 72-75. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | The efficiency of diamond coating synthesis depends on both the parameters of the plasma flow and the uniform temperature distribution on the surface of the substrate on which the coating is synthesized. Mathematical modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method was carried out in order to find optimal parameters at which high density and radial uniformity of energy and chemically active particle flows are simultaneously achieved on the substrate in the process of synthesis of diamond coatings. The task was solved by direct search methods using the FlowSimulation module of the SolidWorks package.
Ефективність синтезу алмазного покриття залежить від параметрів плазмового потоку й однорідного розподілу температури на поверхні підложки, на якій здійснюється синтез покриття. Проведено математичне моделювання системи охолодження підложки в установці для осадження покриттів газоплазмовим методом з метою знаходження оптимальних параметрів, при яких як висока щільність, так і радіальна однорідність енергії і хімічно активних потоків частинок одночасно досягаються на підложки в процесі синтезу алмазних покриттів. Завдання вирішувалося методами прямого пошуку із використанням модуля FlowSimulation пакета SolidWorks.
|
| first_indexed | 2025-11-25T22:45:23Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196143 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T22:45:23Z |
| publishDate | 2023 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Martynov, S.O. Luchaninov, O.A. Lukyanova, V.P. Prokhorets, S.I. Slabospytska, O.O. Khazhmuradov, M.A. 2023-12-10T16:54:28Z 2023-12-10T16:54:28Z 2023 Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method / S.O. Martynov, O.A. Luchaninov, V.P. Lukyanova, S.I. Prokhorets, O.O. Slabospytska, M.A. Khazhmuradov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 72-75. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Fv; 81.15.Rs; 47.11.Df DOI: https://doi.org/10.46813/2023-145-072 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196143 The efficiency of diamond coating synthesis depends on both the parameters of the plasma flow and the uniform temperature distribution on the surface of the substrate on which the coating is synthesized. Mathematical modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method was carried out in order to find optimal parameters at which high density and radial uniformity of energy and chemically active particle flows are simultaneously achieved on the substrate in the process of synthesis of diamond coatings. The task was solved by direct search methods using the FlowSimulation module of the SolidWorks package. Ефективність синтезу алмазного покриття залежить від параметрів плазмового потоку й однорідного розподілу температури на поверхні підложки, на якій здійснюється синтез покриття. Проведено математичне моделювання системи охолодження підложки в установці для осадження покриттів газоплазмовим методом з метою знаходження оптимальних параметрів, при яких як висока щільність, так і радіальна однорідність енергії і хімічно активних потоків частинок одночасно досягаються на підложки в процесі синтезу алмазних покриттів. Завдання вирішувалося методами прямого пошуку із використанням модуля FlowSimulation пакета SolidWorks. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Computational and model systems Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method Моделювання системи охолодження підложки в установці для осадження покриттів газоплазмовим методом Article published earlier |
| spellingShingle | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method Martynov, S.O. Luchaninov, O.A. Lukyanova, V.P. Prokhorets, S.I. Slabospytska, O.O. Khazhmuradov, M.A. Computational and model systems |
| title | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method |
| title_alt | Моделювання системи охолодження підложки в установці для осадження покриттів газоплазмовим методом |
| title_full | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method |
| title_fullStr | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method |
| title_full_unstemmed | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method |
| title_short | Modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method |
| title_sort | modeling of the substrate cooling system in the installation for the deposition of coatings by the gas plasma method |
| topic | Computational and model systems |
| topic_facet | Computational and model systems |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196143 |
| work_keys_str_mv | AT martynovso modelingofthesubstratecoolingsystemintheinstallationforthedepositionofcoatingsbythegasplasmamethod AT luchaninovoa modelingofthesubstratecoolingsystemintheinstallationforthedepositionofcoatingsbythegasplasmamethod AT lukyanovavp modelingofthesubstratecoolingsystemintheinstallationforthedepositionofcoatingsbythegasplasmamethod AT prokhoretssi modelingofthesubstratecoolingsystemintheinstallationforthedepositionofcoatingsbythegasplasmamethod AT slabospytskaoo modelingofthesubstratecoolingsystemintheinstallationforthedepositionofcoatingsbythegasplasmamethod AT khazhmuradovma modelingofthesubstratecoolingsystemintheinstallationforthedepositionofcoatingsbythegasplasmamethod AT martynovso modelûvannâsistemioholodžennâpídložkivustanovcídlâosadžennâpokrittívgazoplazmovimmetodom AT luchaninovoa modelûvannâsistemioholodžennâpídložkivustanovcídlâosadžennâpokrittívgazoplazmovimmetodom AT lukyanovavp modelûvannâsistemioholodžennâpídložkivustanovcídlâosadžennâpokrittívgazoplazmovimmetodom AT prokhoretssi modelûvannâsistemioholodžennâpídložkivustanovcídlâosadžennâpokrittívgazoplazmovimmetodom AT slabospytskaoo modelûvannâsistemioholodžennâpídložkivustanovcídlâosadžennâpokrittívgazoplazmovimmetodom AT khazhmuradovma modelûvannâsistemioholodžennâpídložkivustanovcídlâosadžennâpokrittívgazoplazmovimmetodom |