High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe
A probe-forming system based on a separate orthomorphic quadruplet of magnetic quadrupole lenses with a short working distance is considered, allowing the system demagnification to be significantly increased. Three magnetic octupole lenses are used to correct spherical aberrations. The parameters of...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Дата: | 2023 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196159 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, H.E. Polozhii, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 153-157. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862703347916603392 |
|---|---|
| author | Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. |
| author_facet | Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. |
| citation_txt | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, H.E. Polozhii, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 153-157. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | A probe-forming system based on a separate orthomorphic quadruplet of magnetic quadrupole lenses with a short working distance is considered, allowing the system demagnification to be significantly increased. Three magnetic octupole lenses are used to correct spherical aberrations. The parameters of the octupole corrector are calculated using the matricant method. The focusing properties of the system are determined by means of a probe formation optimization process based on the value of the maximum reduced collimated acceptance. The calculations performed showed the feasibility of such a probe forming system for microanalysis and proton beam writing technique.
Розглянуто зондоформуючу систему на базі розподіленого ортоморфного квадруплету магнітних квадрупольних лінз з малою робочою відстанню, що дозволило значно збільшити коефіцієнти зменшення. Для корекції сферичних аберацій застосовуються три магнітні октупольні лінзи. Розрахунок параметрів октупольного коректора виконується методом матрицантів. Фокусуючі властивості системи визначаються за рахунок оптимізації процесу формування зонда на основі величини максимального приведеного колімованого аксептансу. Проведені розрахунки показали, що така система може бути реалізована для застосування в методиках мікроаналізу та протонно-променевої літографії.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:47:44Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196159 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T16:47:44Z |
| publishDate | 2023 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. 2023-12-10T18:08:15Z 2023-12-10T18:08:15Z 2023 High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, H.E. Polozhii, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 153-157. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 41.85.p; 41.85.Gy; 41.85.Lc DOI: https://doi.org/10.46813/2023-145-153 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196159 A probe-forming system based on a separate orthomorphic quadruplet of magnetic quadrupole lenses with a short working distance is considered, allowing the system demagnification to be significantly increased. Three magnetic octupole lenses are used to correct spherical aberrations. The parameters of the octupole corrector are calculated using the matricant method. The focusing properties of the system are determined by means of a probe formation optimization process based on the value of the maximum reduced collimated acceptance. The calculations performed showed the feasibility of such a probe forming system for microanalysis and proton beam writing technique. Розглянуто зондоформуючу систему на базі розподіленого ортоморфного квадруплету магнітних квадрупольних лінз з малою робочою відстанню, що дозволило значно збільшити коефіцієнти зменшення. Для корекції сферичних аберацій застосовуються три магнітні октупольні лінзи. Розрахунок параметрів октупольного коректора виконується методом матрицантів. Фокусуючі властивості системи визначаються за рахунок оптимізації процесу формування зонда на основі величини максимального приведеного колімованого аксептансу. Проведені розрахунки показали, що така система може бути реалізована для застосування в методиках мікроаналізу та протонно-променевої літографії. This work was carried out within the framework of the state program of Ukraine “Research and development in the field of physical and mathematical sciences”. State registration number 0120U101035. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Applications and technologies High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe Зондоформуюча система високої роздільної здатності з корекцією сферичних аберацій для ядерного мікрозонда Article published earlier |
| spellingShingle | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Polozhii, H.E. Rebrov, V.A. Applications and technologies |
| title | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_alt | Зондоформуюча система високої роздільної здатності з корекцією сферичних аберацій для ядерного мікрозонда |
| title_full | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_fullStr | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_full_unstemmed | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_short | High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| title_sort | high resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe |
| topic | Applications and technologies |
| topic_facet | Applications and technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196159 |
| work_keys_str_mv | AT ponomarevag highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT kolinkosv highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT polozhiihe highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT rebrovva highresolutionprobeformingsystemwithsphericalaberrationcorrectionfornuclearmicroprobe AT ponomarevag zondoformuûčasistemavisokoírozdílʹnoízdatnostízkorekcíêûsferičnihaberacíidlââdernogomíkrozonda AT kolinkosv zondoformuûčasistemavisokoírozdílʹnoízdatnostízkorekcíêûsferičnihaberacíidlââdernogomíkrozonda AT polozhiihe zondoformuûčasistemavisokoírozdílʹnoízdatnostízkorekcíêûsferičnihaberacíidlââdernogomíkrozonda AT rebrovva zondoformuûčasistemavisokoírozdílʹnoízdatnostízkorekcíêûsferičnihaberacíidlââdernogomíkrozonda |