Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten
The samples of tungsten with a purity of 99.5 and 99.7% were irradiated with helium ion beams (EHe⁺ = 0.12 MeV). The total sputtering coefficients for the sample depth up to 60 Å from the surface of sample were obtained. It was found that on the surface of tungsten, the number of pits (the flecking...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2023 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196160 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten / O.V. Manuilenko, E.M. Prokhorenko, K.V. Pavlii, B.V. Zajtsev, S.N. Dubniuk, V.V. Lytvynenko, Yu.A. Kasatkin, T.G. Prokhorenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 158-163. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862728257295613952 |
|---|---|
| author | Manuilenko, O.V. Prokhorenko, E.M. Pavlii, K.V. Zajtsev, B.V. Dubniuk, S.N. Lytvynenko, V.V. Kasatkin, Yu.A. Prokhorenko, T.G. |
| author_facet | Manuilenko, O.V. Prokhorenko, E.M. Pavlii, K.V. Zajtsev, B.V. Dubniuk, S.N. Lytvynenko, V.V. Kasatkin, Yu.A. Prokhorenko, T.G. |
| citation_txt | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten / O.V. Manuilenko, E.M. Prokhorenko, K.V. Pavlii, B.V. Zajtsev, S.N. Dubniuk, V.V. Lytvynenko, Yu.A. Kasatkin, T.G. Prokhorenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 158-163. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | The samples of tungsten with a purity of 99.5 and 99.7% were irradiated with helium ion beams (EHe⁺ = 0.12 MeV). The total sputtering coefficients for the sample depth up to 60 Å from the surface of sample were obtained. It was found that on the surface of tungsten, the number of pits (the flecking effect) significantly exceeds the number of bubbles (the blistering effect). The damage profiles of the surface of tungsten as a result of irradiation with helium ions are calculated. The areas of maximal display of effects of damage are determined.
Проведено опромінення зразків вольфраму з чистотою 99,5 і 99,7% пучками іонів гелію (EHe⁺ = 0,12 МeВ). Отримано сумарні коефіцієнти розпилення за глибиною зразка до 60 Å від поверхні зразка. Знайдено, що на поверхні зразків вольфраму кількість ямок (ефект флекінгу) істотно перевищує кількість бульбашок (ефект блістерингу). Пораховані профілі пошкодження поверхні вольфраму в результаті опромінення іонами гелію. Визначено зони максимального прояву руйнівних ефектів.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:07:27Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-196160 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T19:07:27Z |
| publishDate | 2023 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Manuilenko, O.V. Prokhorenko, E.M. Pavlii, K.V. Zajtsev, B.V. Dubniuk, S.N. Lytvynenko, V.V. Kasatkin, Yu.A. Prokhorenko, T.G. 2023-12-11T11:40:57Z 2023-12-11T11:40:57Z 2023 Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten / O.V. Manuilenko, E.M. Prokhorenko, K.V. Pavlii, B.V. Zajtsev, S.N. Dubniuk, V.V. Lytvynenko, Yu.A. Kasatkin, T.G. Prokhorenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 3. — С. 158-163. — Бібліогр.: 26 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.HF, 29.27Ac, 621.715:539.376, 87.55N DOI: https://doi.org/10.46813/2023-145-158 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196160 The samples of tungsten with a purity of 99.5 and 99.7% were irradiated with helium ion beams (EHe⁺ = 0.12 MeV). The total sputtering coefficients for the sample depth up to 60 Å from the surface of sample were obtained. It was found that on the surface of tungsten, the number of pits (the flecking effect) significantly exceeds the number of bubbles (the blistering effect). The damage profiles of the surface of tungsten as a result of irradiation with helium ions are calculated. The areas of maximal display of effects of damage are determined. Проведено опромінення зразків вольфраму з чистотою 99,5 і 99,7% пучками іонів гелію (EHe⁺ = 0,12 МeВ). Отримано сумарні коефіцієнти розпилення за глибиною зразка до 60 Å від поверхні зразка. Знайдено, що на поверхні зразків вольфраму кількість ямок (ефект флекінгу) істотно перевищує кількість бульбашок (ефект блістерингу). Пораховані профілі пошкодження поверхні вольфраму в результаті опромінення іонами гелію. Визначено зони максимального прояву руйнівних ефектів. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Applications and technologies Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten Вплив пучків іонів гелію з енергіями 0,12 МеВ на процес розпилення на поверхні вольфраму Article published earlier |
| spellingShingle | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten Manuilenko, O.V. Prokhorenko, E.M. Pavlii, K.V. Zajtsev, B.V. Dubniuk, S.N. Lytvynenko, V.V. Kasatkin, Yu.A. Prokhorenko, T.G. Applications and technologies |
| title | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten |
| title_alt | Вплив пучків іонів гелію з енергіями 0,12 МеВ на процес розпилення на поверхні вольфраму |
| title_full | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten |
| title_fullStr | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten |
| title_full_unstemmed | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten |
| title_short | Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten |
| title_sort | influence of helium ions beams with energies 0.12 mev on sputtering process on surface of tungsten |
| topic | Applications and technologies |
| topic_facet | Applications and technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196160 |
| work_keys_str_mv | AT manuilenkoov influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT prokhorenkoem influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT pavliikv influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT zajtsevbv influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT dubniuksn influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT lytvynenkovv influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT kasatkinyua influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT prokhorenkotg influenceofheliumionsbeamswithenergies012mevonsputteringprocessonsurfaceoftungsten AT manuilenkoov vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT prokhorenkoem vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT pavliikv vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT zajtsevbv vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT dubniuksn vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT lytvynenkovv vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT kasatkinyua vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu AT prokhorenkotg vplivpučkívíonívgelíûzenergíâmi012mevnaprocesrozpilennânapoverhnívolʹframu |