Plasma treatment of titanium dioxide film for black TiO₂
The results of the treatment of TiO₂ film in volume discharge with an Ar/H₂ mixture are presented. The treated film demonstrates the changes in transparency and conductivity. Raman spectra show no changes in the phase state of the film after plasma treatment. Представлено результати обробки плівки Т...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2023 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/196201 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Plasma treatment of titanium dioxide film for black TiO₂ / E.K. Frolova, V.O. Khomych, R.M. Kravchuk, O.F. Kolomys, Yu.M. Gudenko, O.S. Pylypchuk, V.I. Styopkin, A.M. Dobrovolskiy // Problems of Atomic Science and Technology. — 2023. — № 4. — С. 180-183. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | The results of the treatment of TiO₂ film in volume discharge with an Ar/H₂ mixture are presented. The treated film demonstrates the changes in transparency and conductivity. Raman spectra show no changes in the phase state of the film after plasma treatment.
Представлено результати обробки плівки ТіО₂ в об’ємі розряду на суміші Ar/H₂. Оброблена плівка демонструє зміни в прозорості та провідності. Раманівські спектри показують відсутність змін у поліморфному стані плівки після плазмової обробки.
|
|---|---|
| ISSN: | 1562-6016 |