Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.)
У доповіді наведено результати фундаментальних і прикладних досліджень, пов’язаних з фемтосекундною лазерно-індукованою генерацією поверхневих нано/мікроструктур, на основі яких розроблено новітні технології оброблення поверхні матеріалів. Створені технології є універсальними, екологічно чистими, з...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вісник НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2024 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2024
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/202074 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) / Я.М. Гніліцький // Вісник Національної академії наук України. - 2024. - № 11. - С. 63-68. — Бібліогр.: 9 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859634022637895680 |
|---|---|
| author | Гніліцький, Я.М. |
| author_facet | Гніліцький, Я.М. |
| citation_txt | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) / Я.М. Гніліцький // Вісник Національної академії наук України. - 2024. - № 11. - С. 63-68. — Бібліогр.: 9 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вісник НАН України |
| description | У доповіді наведено результати фундаментальних і прикладних досліджень, пов’язаних з фемтосекундною лазерно-індукованою генерацією поверхневих нано/мікроструктур, на основі яких розроблено новітні технології оброблення поверхні матеріалів. Створені технології є універсальними, екологічно чистими, з високою швидкістю обробки. Крім того, зазначені технології не потребують витратних матеріалів і мають значний потенціал подальшого розвитку та використання.
The report presents the results of fundamental and applied research related to the femtosecond laser-induced generation of surface nano and microstructures, which have been used to develop the newest technologies for surface treatment of materials. These technologies are universal, environmentally friendly, and have a high processing speed. In addition, these technologies do not require consumables and have significant potential for further development and use.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:13:46Z |
| format | Article |
| fulltext |
ISSN 1027-3239. Вісн. НАН України, 2024, № 11 63
ФЕМТОСЕКУНДНЕ
ЛАЗЕРНО-ІНДУКОВАНЕ
НАНО/МІКРОСТРУКТУРУВАННЯ
ПОВЕРХНІ: ТЕОРІЯ ТА ЗАСТОСУВАННЯ
Стенограма доповіді на засіданні Президії
НАН України 18 ве ресня 2024 року
У доповіді наведено результати фундаментальних і прикладних дослі-
джень, пов’язаних з фемтосекундною лазерно-індукованою генерацією
поверхневих нано/мікроструктур, на основі яких розроблено новітні тех-
нології оброблення поверхні матеріалів. Створені технології є універсаль-
ними, екологічно чистими, з високою швидкістю обробки. Крім того, зазна-
чені технології не потребують витратних матеріалів і мають значний
потенціал подальшого розвитку та використання.
Добрий день, шановні пані та панове!
Передусім хочу подякувати за можливість представити мою
роботу в Національній академії наук України.
Мабуть, варто сказати кілька слів про себе. У 2012 р. я закін-
чив магістратуру в НТУУ «Київський політехнічний інститут
імені Ігоря Сікорського», у 2017 р. захистив дисертацію, навча-
ючись в Університеті Модени (Італія), потім працював там як
постдок. У 2018 р. заснував стартап «НовіНано Лаб» у Львові
і зараз паралельно працюю доцентом кафедри прикладної фі-
зики та наноматеріалознавства Інституту прикладної матема-
тики та фундаментальних наук Національного університету
«Львівська політехніка».
Свого часу Альберт Ейнштейн запропонував концепцію ви-
мушеного випромінювання, в якій теоретично довів можли-
вість створення умов, за яких електрони одночасно випроміню-
ють світло з однаковою довжиною хвилі. У 1954 р. Чарлз Таунс
створив перший квантовий генератор — мазер, який працював
у діапазоні мікрохвиль. За це відкриття його разом із Олексан-
дром Прохоровим та Миколою Басовим було удостоєно Нобе-
лівської премії з фізики (1964). Винахідником першого лазера
(генератора електромагнітних коливань оптичного діапазону)
вважають Теодора Меймана, який 16 травня 1960 р. продемон-
ГНІЛІЦЬКИЙ
Ярослав Миколайович —
доктор філософії (PhD),
д оцент кафедри прикладної
фізики та наноматеріалознавства
Інституту прикладної
математики та фундаментальних
наук Національного
університету «Львівська
політехніка», директор
наукового департаменту
ко мпан ії ТОВ «НовіНан о Лаб»
doi: https://doi.org/10.15407/visn2024.11.063
64 ISSN 1027-3239. Visn. Nac. Acad. Nauk Ukr. 2024. (11)
З КАФЕДРИ ПРЕЗИДІЇ НАН УКРАЇНИ
стрував свій прилад для генерації червоного
когерентного світла в кристалі рубіну. Відто-
ді лазери почали широко використовувати в
медицині, техніці, промисловості, військовій
справі, наукових дослідженнях, комп’ютерній
техніці, метеорології та у повсякденному жит-
ті, наприклад у лазерних принтерах.
У 1985 р. Жерар Муру запропонував кон-
цепцію компр есії посилених чирпованих
оптичних імпульсів (CPA), яка стала підґрун-
тям для створення фемтосекундних лазерів. За
це відкриття в 2018 р. йому було присуджено
Нобелівську премію. Сьогодні фемтосекундна
лаз ерна техніка стрімко розвивається, а сфера
її застосування постійно розширюється.
Особливості фемтосекундних лазерів, а
саме, здатність генерувати ультракороткі ім-
пульси з миттєвим випроміненням величез-
ної потужності, зумовлюють їхні переваги над
традиційними лазерними джерелами при вирі-
шенні багатьох прикладних завдань.
Так, використання традиційних лазерів для
оброблення поверхні матеріалів має цілу низ-
ку недоліків, таких як виникнення внутрішніх
напружень, утворення надлишків матеріалу
на поверхні, надмірне оплавлення, що уне-
можливлює прецизійне оброблення багатьох
матеріалів, зокрема металів, напівпровідників
тощо. Натомість за допомогою фемтосекунд-
них лазерів можна досягти надзвичайно ви-
Рис. 1. Порівняння традиційного підходу до отри-
мання лазерно-індукованих періодичних поверхневих
стр уктур (ЛІППС) та нового підходу — менше імпуль-
сів, більша густина потужності
сокої точності обробки, оскільки вони дають
змогу подати необхідну порцію енергії локаль-
но, на конкретне місце поверхні. Ці властивос-
ті фемтосекундних лазерів усе частіше засто-
совують у медицині, зокрема для проведення
операцій на рогівці ока, що забезпечує точність
втручання, мінімізує ушкодження тканин і
сприяє скороченню періоду відновлення.
Одним із перспективних напрямів викорис-
тання фемтосекундних лазерів є функціона-
лізація поверхні металевих матеріалів унаслі-
док ф ормування на ній під дією надкоротких
лазерних імпульсів стаціонарних періодичних
наноструктур. Утворення так званих лазерно-
індукованих періодичних поверхневих струк-
тур (ЛІППС) пояснюють інтерференцією
лазерної електромагнітної хвилі, що падає на
поверхню, з випромінюванням, що розсіюєть-
ся цією поверхнею. При цьому розмірні па-
раметри згенерованих періодичних структур
пропорційні довжині лазерної хвилі. Сканую-
чи лазерний пучок по поверхні, можна отриму-
вати такі періодичні наноструктури на великій
площі.
Явище утворення ЛІППС відоме в науці вже
близько 50 років, але за цей час так і не було
запропоновано жодного рішення, яке б дозво-
ляло перевести цю технологію з наукових ла-
бораторій до індустріального використання.
На заваді цьому стояли насамперед проблеми,
пов’язані з низькою швидкістю оброблення
поверхні (до 5 годин для площі 10 мм2) та якіс-
тю утворюваних структур, оскільки численні
біфуркації і дефекти на поверхні зумовлю-
ють порушення регулярності, що не дає змоги
контролювати поверхневі властивості.
Традиційний підхід до отримання ЛІППС
полягає в бомбардуванні одиниці площі по-
верхні тисячами імпульсів із густиною по-
тужності, меншою за абляційний поріг. Новий
підхід, запропонований мною, ґрунтується на
використанні на одиницю площі двох-трьох
імпульсів, але з дуже високою густиною по-
тужності, яка значно перевищує абляційний
поріг (рис. 1).
Така технологія дозволяє отримувати су-
перрегулярні періодичні наноструктури на
ISSN 1027-3239. Вісн. НАН України, 2024, № 11 65
З КАФЕДРИ ПРЕЗИДІЇ НАН УКРАЇНИ
Рис. 2. Лазерно-індуковані періодичні поверхневі структури, отримані різними дослідниками: а — A.Y. Vorobyev,
Ch. Guo, University of Rochester (USA), швидкість обробки — 0,05 м/с [1]; б — E. Gurevich et al., Ruhr-Universität
Bochum (Germany) [2]; в — I. Gnilitskyi et al., University of Modena (Italy), швидкість обробки — 3 м/с [3]
поверхні різних матеріалів, зокрема титану,
молібдену, нікелю, хрому, вольфраму, нержаві-
ючої сталі, нікельхрому тощо.
Крім того, вперше було запропоновано те-
оретичну модель, яка не лише пов’язує регу-
лярності ЛІППС з довжиною плазмон-поля-
ритонної хвилі, що збуджується поверхневою
електромагнітною хвилею, а й ураховує роль
природи самого матеріалу, адже кожний ма-
теріал по-своєму впливає на появу цих нано-
структур на поверхні.
Наочне порівняння запропонованої техно-
логії ЛІППС з роботами провідних американ-
ських [1] та німецьких [2] вчених наведено на
рис. 2. Як видно з рис. 2в, якість отриманих
нами структур [3] є дуже високою, дефектів і
біфуркацій на поверхні практично немає.
Крім того, нова технологія дозволяє досяг-
ти високої швидкості поверхневої обробки —
3 м/с, що є дуже важливою характеристикою
для практичного застосування. Відразу після
того, як ми показали таку швидкість, з боку ін-
дустрії було виявлено інтерес до цієї розробки.
На рис. 3 можна бачити експерименталь-
ну установку, на якій ми проводили всі екс-
периментальні роботи. Цю установку я зі-
брав самостійно, і зараз вона працює у Льво-
ві. Отримано патент Європейського Союзу
[4] на технологію генерування за допомогою
фемтосекундних лазерних імпульсів високо-
регулярних періодичних наноструктур на по-
верхні металів.
Ми також вперше запропонували фізич-
ну модель утворення таких суперрегулярних
наноструктур на поверхні. Вона ґрунтується
на двотемпературній моделі металу в ком-
бінації з класичною теорією молекулярної
динаміки. Моделювання було проведено на
суперкомп’ютері Національного науково-
го фонду США (NSF). На початковому етапі
фемтосекундний лазерний імпульс потрапляє
на поверхню металу, наприклад хрому. Коли
температура на цій ділянці сягає критичного
значення 6140 К, 30—40 нм поверхневого шару
відразу випаровується. Градієнти бічного тис-
ку в плазмі, спричинені просторово модульо-
ваною лазерною абляцією, спрямовують пару
та краплі розплаву до області, розташованої
над мінімумом поглинання лазерної енергії,
де вони конденсуються, утворюючи рідку про-
трузію. Цей процес відбувається впродовж
100 пікосекунд (10–11 с). На фінальній стадії
формування наноструктури протрузія підні-
мається вгору, досягаючи висоти 680 нм, тоді
як рекристалізаційний фронт рухається знизу
і формує остаточну протрузію висотою 100 нм.
Ці процеси тривають протягом 2,1 нс [5].
Змінюючи середовище, можна керувати
формою отримуваних поверхневих нанострук-
тур. Скажімо, якщо проводити експеримент у
водному середовищі, то завдяки поверхневому
натягу води протрузія стає більш гладкою [6].
На форму наноструктур можна також впли-
вати варіюванням хімії поверхні металу.
66 ISSN 1027-3239. Visn. Nac. Acad. Nauk Ukr. 2024. (11)
З КАФЕДРИ ПРЕЗИДІЇ НАН УКРАЇНИ
Ми показали хорошу відповідність резуль-
татів моделювання та експериментальних да-
них. На рис. 4 можна бачити, що експеримен-
тально отримані структури виходять такі самі,
як було передбачено моделлю [6].
Ми також працювали з максенами — новіт-
німи двовимірними наноматеріалами, відкри-
тими видатним українським вченим, профе-
сором Університету Дрекселя (США) Юрієм
Гогоці. Нагадаю, що максени (MXenes) — це
клас неорганічних сполук, які являють собою
2D-матеріали, що складаються з шарів кар-
бідів, нітридів чи карбонітридів перехідних
металів, завтовшки в кілька атомів. Максени
характеризуються гідрофільною природою,
високою електропровідністю і належать до ма-
теріалів 6-го технологічного устрою.
Ми першими отримали наноструктури
ЛІППС на поверхні максену Ti3C2 і продемон-
стрували, що лазерна обробка поверхні значно
поліпшує його змочувальні властивості і, від-
повідно, біосумісність цього багатошарового
матеріалу, що важливо для біомедичних засто-
сувань [7].
Загалом обробка поверхні матеріалів фем-
тосекундним лазером є досить гнучкою тех-
нологією. Налаштувавши відповідним чином
параметри лазера, можна отримувати зазда-
легідь за дані форми та розміри періодичних
структур на поверхні. Ця технологія дає змогу
створювати квадратні, круглі, сферичні форми
(рис. 5), отримувати одночасно мікро- та на-
норозміри структур, керувати властивостями
поверхні.
Наприклад, було створено супергідрофоб-
ну поверхню металу. Явище супергідрофоб-
ності називають ще лотос-ефектом, оскільки в
природі поверхня листка лотоса відома своєю
практично повною незмочуваністю. Іншим
прикладом можливих застосувань є створення
структур з антибактеріаль ними властивостя-
ми. Завдяки лазерній обробці матеріалу значно
ускладнюється формування контакту бактерій
з поверхнею, що унеможливлює розростан-
ня їхніх колоній, тобто бактерії гинуть, а біо-
плівка на поверхні майже не утворюється [8].
Крім того, було продемонстровано, що зразок
Рис. 5. Різноманітність нано- і мікроструктур на
поверхні матеріалів
Рис. 3. Установка для проведення експеримен-
тальних робіт з генерування високорегулярних
періодичних наноструктур на поверхні металів
Рис. 4. Відповідність результатів моделювання регу-
лярних періодичних наноструктур на поверхні металів
експериментально отриманим зразкам: а — у повітря-
ному середовищі; б — у водному середовищі
а б
ISSN 1027-3239. Вісн. НАН України, 2024, № 11 67
З КАФЕДРИ ПРЕЗИДІЇ НАН УКРАЇНИ
обшивки літака, оброблений лазером, характе-
ризується дуже низькою адгезією з льодом, а
отже, така технологія може підвищити захист
фюзеляжу від обмерзання на великих висотах.
Також ми отримали наноструктури, які зна-
чно підвищують ефективність фотокаталізу. З
використанням нашої технології ми спочат-
ку отримали регулярні наноструктури на по-
верхні кремнію, а потім покрили цю поверхню
максеном і плівкою TiO2 так, що заглиблення
нанорельєфу залишилися заповненими пові-
трям. Такі Si/MXene/TiO2 системи внаслідок
посилення розподілення фотогенерованих но-
сіїв заряду та збільшення оптичного поглинан-
ня більш як удвічі підвищують продуктивність
фотокаталізаторів [9].
Отже, розроблена нами технологія фемтосе-
кундної лазерно-індукованої генерації поверх-
невих нано/мікроструктур має такі основні
переваги:
• висока якість отримуваних наноструктур
на великій площі поверхні;
• висока швидкість процесу оброблення (до
3 м/с);
• простота технологічного процесу: він од-
ностадійний, не потребує створення вакуумно-
го середовища чи додавання хімічних речовин;
• за цією технологією можна обробляти
практично будь-які матеріали.
У 2018 р. на базі цієї технології завдяки го-
лові Ради директорів та співзасновнику ком-
панії «SoftServe» Ярославу Любінцю та CEO
компанії «SoftServe» Крісу Бейкеру було
створено стартап з венчурними інвестиціями
1,8 млн євро, і відтоді наша лабораторія «Но-
віНано Лаб» успішно працює і розвиваєть-
ся у Львові. Ми виграли конкурси на чотири
досить великі європейські гранти, один аме-
риканський грант та один грант за програ-
мою НАТО «Наука заради миру та безпеки».
Останній наш європейський проєкт LaserPro,
в якому беруть участь Україна, Литва та Че-
хія, має на меті створення у Львові хабу фото-
ніки. Усі наші наукові здобутки опубліковано
у високорейтингових профільних наукових
журналах. Ми також активно розширюємо
взаємовигідне співробітництво з провідними
університетами та установами Національної
академії наук України, оскільки наша техноло-
гія є універсальною і може мати дуже широкий
спектр застосувань.
Дякую за увагу!
За матеріалами засідання
підготувала О.О. Мележик
REFERENCES
1. Vorobyev A.Y., Guo Ch. Enhanced absorptance of gold following multipulse femtosecond laser ablation. Phys. Rev. B.
2005. 72(19): 195422. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.72.195422
2. Gurevich E.L., Gurevich S.V. Laser Induced Periodic Surface Structures induced by surface plasmons coupled via
roughness. Applied Surface Science. 2014. 302: 118—123. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.10.141
3. Gnilitskyi I., Derrien T.J.-Y., Levy Y., Bulgakova N.M., Mocek T., Orazi L. High-speed manufacturing of highly regular
femtosecond laser-induced periodic surface structures: physical origin of regularity. Sci. Rep. 2017. 7: 8485.
https://doi.org/10.1038/s41598-017-08788-z
4. Patent European Union WO/2018/010707. Gnilitskyi I., Orazi L., Derrien T.J.-Y., Bulgakova N.M., Mocek T. Method
and System of Ultrafast Laser Writing of Highly-Regular Periodic Structures. 2018.
5. Shugaev M.V., Gnilitskyi I., Bulgakova N.M., Zhigilei L.V. Mechanism of single-pulse ablative generation of laser-in-
duced periodic surface structures. Phys. Rev. B. 2017. 96(20): 205429. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.96.205429
6. Shih C.Y., Gnilitskyi I., Shugaev M.V., Skoulas E., Stratakis E., Zhigilei L.V. Effect of a liquid environment on single-
pulse generation of laser induced periodic surface structures and nanoparticles. Nanoscale. 2020. 12(14): 7674—7687.
https://doi.org/10.1039/D0NR00269K
7. Pogorielov M., Kyrylenko S., Gogotsi O., Baginskiy I., Balitskyi V., Zahorodna V., Husak Y., Yanko I., Pernakov M.,
Roshchupkin A., Lyndin M., Singer B.B., Buranych V., Sulaieva O., Solodovnyk O., Pogrebnjak A., Gogotsi Y. Pulsed
NIR laser for photo-thermal ablation of MXene-loaded cells. In: Proc. Int. Conf. Yucomat-2022.
68 ISSN 1027-3239. Visn. Nac. Acad. Nauk Ukr. 2024. (11)
З КАФЕДРИ ПРЕЗИДІЇ НАН УКРАЇНИ
8. Gnilitskyi I., Rymar S., Lungin O., Vyshnevskyy O., Parisse P., Potters G., Zayats A.V., Moshynets O. Femtosecond
laser modified metal surfaces alter biofilm architecture and reduce bacterial biofilm formation. Nanoscale Advanced.
2023. 5(23): D3NA00599B. https://doi.org/10.1039/D3NA00599B
9. Lys A., Gnilitskyi I., Coy E., Jancelewicz M., Gogotsi O., Iatsunskyi I. Highly regular laser-induced periodic silicon
surface modified by MXene and ALD TiO2 for organic pollutants degradation. Applied Surface Science. 2023. 640:
158336. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158336
Iaroslav M. Gnilitskyi
Lviv Polytechnic National University, Lviv, Ukraine
NoviNano Lab, Lviv, Ukraine
ORCID: https://orcid.org/0000-0001-8718-1526
FEMTOSECOND LASER-INDUCED NANO AND MICROSTRUCTURING
OF THE SURFACE: THEORY AND APPLICATION
Transcript of scientific report at the meeting of the Presidium of NAS of Ukraine, September 18, 2024
The report presents the results of fundamental and applied research related to the femtosecond laser-induced generation
of surface nano and microstructures, which have been used to develop the newest technologies for surface treatment of
materials. These technologies are universal, environmentally friendly, and have a high processing speed. In addition,
these technologies do not require consumables and have significant potential for further development and use.
Cite this article: Gnilitskyi I.M. Femtosecond laser-induced nano and microstructuring of the surface: theory and ap-
plication. Visn. Nac. Akad. Nauk Ukr. 2024. (11): 63—68. https://doi.org/10.15407/visn2024.11.063
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-202074 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-3239 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:13:46Z |
| publishDate | 2024 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гніліцький, Я.М. 2025-02-25T10:35:24Z 2024 Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) / Я.М. Гніліцький // Вісник Національної академії наук України. - 2024. - № 11. - С. 63-68. — Бібліогр.: 9 назв. — укр. 1027-3239 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/202074 DOI: doi.org/10.15407/visn2024.11.063 У доповіді наведено результати фундаментальних і прикладних досліджень, пов’язаних з фемтосекундною лазерно-індукованою генерацією поверхневих нано/мікроструктур, на основі яких розроблено новітні технології оброблення поверхні матеріалів. Створені технології є універсальними, екологічно чистими, з високою швидкістю обробки. Крім того, зазначені технології не потребують витратних матеріалів і мають значний потенціал подальшого розвитку та використання. The report presents the results of fundamental and applied research related to the femtosecond laser-induced generation of surface nano and microstructures, which have been used to develop the newest technologies for surface treatment of materials. These technologies are universal, environmentally friendly, and have a high processing speed. In addition, these technologies do not require consumables and have significant potential for further development and use. uk Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Вісник НАН України З кафедри Президії НАН України Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) Femtosecond laser-induced nano and microstructuring of the surface: theory and application (Transcript of scientific report at the meeting of the Presidium of NAS of Ukraine, September 18, 2024) Article published earlier |
| spellingShingle | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) Гніліцький, Я.М. З кафедри Президії НАН України |
| title | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) |
| title_alt | Femtosecond laser-induced nano and microstructuring of the surface: theory and application (Transcript of scientific report at the meeting of the Presidium of NAS of Ukraine, September 18, 2024) |
| title_full | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) |
| title_fullStr | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) |
| title_full_unstemmed | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) |
| title_short | Фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні Президії НАН України 18 вересня 2024 р.) |
| title_sort | фемтосекундне лазерно-індуковане нано/мікроструктурування поверхні: теорія та застосування (стенограма доповіді на засіданні президії нан україни 18 вересня 2024 р.) |
| topic | З кафедри Президії НАН України |
| topic_facet | З кафедри Президії НАН України |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/202074 |
| work_keys_str_mv | AT gnílícʹkiiâm femtosekundnelazernoíndukovanenanomíkrostrukturuvannâpoverhníteoríâtazastosuvannâstenogramadopovídínazasídanníprezidíínanukraíni18veresnâ2024r AT gnílícʹkiiâm femtosecondlaserinducednanoandmicrostructuringofthesurfacetheoryandapplicationtranscriptofscientificreportatthemeetingofthepresidiumofnasofukraineseptember182024 |