Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком
На основе кластерной и физико-статистической моделей образования частиц шлама обрабатываемого материала описаны закономерности образования микрорельефа полированной поверхности. Показано, что производительность полирования неметаллических материалов экспоненциально снижается при увеличении их энерги...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/20677 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2008. — № 1. — С. 59-66. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859614865268670464 |
|---|---|
| author | Филатов, Ю.Д. |
| author_facet | Филатов, Ю.Д. |
| citation_txt | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2008. — № 1. — С. 59-66. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | На основе кластерной и физико-статистической моделей образования частиц шлама обрабатываемого материала описаны закономерности образования микрорельефа полированной поверхности. Показано, что производительность полирования неметаллических материалов экспоненциально снижается при увеличении их энергии связи, а шероховатость полированной поверхности зависит от отношения частот собственных колебаний молекулярных фрагментов на поверхности инструмента и обрабатываемой детали.
A mechanism of the microrelief generation on a surface being polished is described based on the cluster model and the physical-statistical model of the workpiece material debris formation. It is demonstrated that the removal rate in polishing nonmetallic materials decreases exponentially with increasing bond energy in these materials and the polished surface roughness depends on the ratio of natural frequencies of molecular fragments on the tool and workpiece surfaces.
|
| first_indexed | 2025-11-28T18:02:41Z |
| format | Article |
| fulltext |
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2008, № 1 59
Исследование процессов обработки
УДК 621.623
Ю. Д. Филатов (г. Киев)
Полирование прецизионных поверхностей
деталей из неметаллических материалов
инструментом со связанным
полировальным порошком
На основе кластерной и физико-статистической моделей обра-
зования частиц шлама обрабатываемого материала описаны закономерности
образования микрорельефа полированной поверхности. Показано, что произво-
дительность полирования неметаллических материалов экспоненциально сни-
жается при увеличении их энергии связи, а шероховатость полированной по-
верхности зависит от отношения частот собственных колебаний молекулярных
фрагментов на поверхности инструмента и обрабатываемой детали.
Ключевые слова: полирование, частицы шлама, производитель-
ность полирования, микрорельеф и шероховатость поверхности.
Основными показателями, характеризующими эффектив-
ность процесса полирования прецизионных поверхностей деталей из неме-
таллических материалов (НМ), являются производительность съема обраба-
тываемого материала и интенсивность износа рабочего слоя инструмента, а
также шероховатость и чистота обработанной поверхности и точность ее гео-
метрической формы. Точность и качество (шероховатость, оптическая чисто-
та, отражающая способность, дефектность и т. п.) обработанных поверхно-
стей деталей электронной техники и оптических систем, декоративно-худо-
жественных изделий и архитектурных форм в строительной индустрии на-
прямую зависят от размеров частиц шлама и их поведения в зоне контакта
инструмента и детали. Вместе с тем механизм взаимодействия диспергиро-
ванных в процессе полирования частиц шлама и частиц износа рабочего слоя
инструмента до настоящего времени не выяснен окончательно. Этим обу-
словлено несовершенство существующих технологий финишной обработки
НМ, в особенности, полирования. Актуальность рассматриваемой проблемы
состоит в том, что повышение производительности полирования НМ инстру-
ментом со связанным полировальным порошком и улучшение качества обра-
ботки возможно лишь на основании изучения влияния физико-химических
© Ю. Д. ФИЛАТОВ, 2008
www.ism.kiev.ua; www.rql.kiev.ua/almaz_j 60
свойств обрабатываемого материала и полировального порошка в инструмен-
те на эффективность процесса полирования.
Результаты исследований механизма полирования стекла, кремнезем- и
глиноземсодержащих материалов, оптических кристаллов и керамики, полу-
ченные за последние десятилетия [1—6], позволили объяснить целый ряд
теоретически и экспериментально установленных закономерностей этого
процесса. Исходя из кластерной модели износа [1, 5] показано, что при поли-
ровании SiO2 накопление энергии в критическом объеме обрабатываемого
материала — кластере происходит до тех пор, пока его энергия Ecl не превы-
сит энергию связи Eb = k
k
k E1∑α (где E1k — энергия единичной связи Ме—О
в МехОу, αk — содержание оксида), т. е. материал может отделиться в виде
частицы шлама только при Ecl > Eb. Распределение частиц шлама по размерам
описывается распределением Пуассона с параметром ν = Eb/Ecl, а вероятность
образования частиц шлама пропорциональна exp(–ν) [6—7]. Анализ законо-
мерностей образования и удаления частиц шлама при финишной обработке
неметаллических материалов в рамках физико-статистической модели [8]
позволил установить, что размеры частиц, образующихся в процессе полиро-
вания, удовлетворяют неравенству di < Rmax, в отличие от частиц, образую-
щихся при шлифовании, размер которых di > Rmax (рис. 1). На основании
указанного можно считать, что удаление обрабатываемого материала при
полировании инструментом со связанным полировальным порошком являет-
ся результатом процессов диспергирования микро- и наночастиц. Размеры
этих частиц, их концентрация в зоне контакта инструмента и обрабатываемой
детали и характер взаимодействия с частицами износа и контактирующими
поверхностями определяют как производительность полирования и интен-
сивность износа инструмента, так и состояние этих поверхностей.
Размеры частиц шлама определяются через число ξ = [ω2
01/(ω2
01 – ω2
02)]2
молекулярных фрагментов, образующих кластер, зависящее от частот их
собственных колебаний ω01 и ω02 на поверхностях обрабатываемой детали и
инструмента соответственно [5—7]. Энергия кластера определяется суммар-
ной колебательной энергией фрагментов Ecl = ξω01h (где ħ — постоянная
Планка) [7]. Площадь поверхности i-й частицы шлама определяется как Si =
S0(i + 1) (где S0 — площадь поверхности молекулярного фрагмента, которая
зависит от структуры обрабатываемого материала и определяется в зависи-
мости от ξ и расстояний между соседними поверхностными молекулами и
между молекулярными слоями [1]). Размеры частиц определяются по значе-
ниям площади их поверхности Si, а их наиболее вероятный размер av =
,),(∑ ν
i
i ipd где p(i, ν) — распределение Пуассона [6]. Несмотря на устано-
вившиеся представления о физико-химическом характере съема материала
при полировании и его принципиальных отличиях от процессов микрореза-
ния и хрупкого разрушения, наблюдаемых при шлифовании, исследователи с
завидным упорством пытаются установить закономерности, связывающие
производительность полирования (полирующую способность) и шерохова-
тость полированной поверхности с механическими характеристиками обра-
батываемого материала и инструмента. Бурже и Пейшис связывали произво-
дительность полирования стекла с твердостью (по Моосу) полировального
порошка [9], Командури, Люка и Тейни — с твердостью (по Виккерсу) обра-
батываемого материала [2], Гильман и Якобс — с твердостью (по Шору) по-
лировального инструмента и микротвердостью (по Кнупу) обрабатываемого
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2008, № 1 61
стекла [3]. Как и следовало ожидать,
никакой корреляции между интен-
сивностью съема обрабатываемого
материала и указанными механиче-
скими характеристиками не наблюда-
ется. Шероховатость обработанной
поверхности также не коррелирует с
этими характеристиками (rms —
среднее квадратическое отклонение
профиля полированных поверхностей
деталей из оптического стекла прак-
тически не зависит от его микротвер-
дости по Кнупу [3]), а изменяется
пропорционально av [10]. Концентра-
ция частиц шлама у поверхности об-
рабатываемой детали пропорциональ-
на exp(–Eb/Ecl) [6—7], а на поверхно-
сти инструмента взаимодействующие с ней частицы шлама локализуются в
виде налета [11].
На рис. 2 представлена зависимость производительности полирования не-
металлических материалов. Экспериментальные результаты и данные Ко-
мандури, Люка, Тейни [2] и Гильмана, Якобса [3] представлены в относи-
тельных единицах (по отношению к оптическому стеклу марок К8 и BK7).
Энергия связи рассчитана исходя из данных по химическому составу в соот-
ветствии с каталогом оптического стекла по ГОСТ 3514—94 и Optical Glass
Catalog Schott. Данная зависимость в полулогарифмическом масштабе ап-
проксимирована линейной функцией (погрешность аппроксимации — 15 %),
что подтверждает активационный характер процесса удаления обрабатывае-
мого материала и экспоненциальную зависимость производительности поли-
рования от энергии связи обрабатываемого материала. Тангенс угла наклона
прямой tgα0 = 1/Ecl = 9,1⋅10–3 позволяет оценить значение энергии кластера —
Ecl = 110 ккал/моль, что практически совпадает со значением энергии еди-
ничной связи Si—O (106 ккал/моль).
60 70 80 90 100 Eb, ккал/моль
–1,0
–0,5
0
0,5
ln[Q/Q0]
SF6
BK7 К8 Гранит Обсидиан
SK2
SK16
KF2 FK1
KzF6
SF7
Silica
Kварц
ТФ10
ТК21
БФ12 КУ1
Чароит
СТК3
Габбро
Хрусталь
ТК116
Яшма
Mirage (Италия) Pamesa Ceramica (Испания)
Kentaur
(Чехия)
СТК12
ЛК3
Амазонит
СТК9
ТФ2
Рис. 2. Зависимость производительности полирования неметаллических материалов от их
энергии связи: оптического стекла (○), в том числе сверхтяжелых кронов (◊), природных
(■) и синтетических (□) кремнеземсодержащих материалов; данные [2] (●) и [3] (♦).
Шероховатость поверхности деталей из неметаллических материалов по-
сле полирования инструментом со связанными полировальными порошками
диоксида церия и оксида алюминия измеряли при профилометрировании
z
x
R
m
ax
1
2
Рис. 1. Микропрофиль обработанной по-
верхности частиц, образующихся при по-
лировании (1) и шлифовании (2).
www.ism.kiev.ua; www.rql.kiev.ua/almaz_j 62
плоских образцов на профилографах-профилометрах мод. 250, “Talysurf-5-
120” фирмы “Taylor Hobson” и “Perthometer Concept” фирмы “Mahr Federal”.
Зависимости экспериментальных значений параметра шероховатости Ra по-
лированных поверхностей деталей из НМ от расчетных величин наиболее
вероятного размера aν частиц шлама и их объема (Vν = πaν3/6), представлен-
ные в табл. 1, обусловлены зависимостью шероховатости от числа ξ молеку-
лярных фрагментов, которая может быть аппроксимирована линейной функ-
цией вида Ra = αξ +β (где α = 0,01 нм, β = 6,6 нм — коэффициенты, опреде-
ленные при помощи метода наименьших квадратов; погрешность аппрокси-
мации — 17 %).
Таблица 1. Экспериментальные значения параметра шероховатости
Ra поверхности деталей из НМ, полированных инструментами
на основе диоксида церия и оксида алюминия, в зависимости
от наиболее вероятного размера частиц шлама и их объема
Обрабатываемый
материал
Полировальный
порошок
в инструменте
aν,
нм
Vν,
нм3
Rа,
мкм
Амазонит CeO2 8,4 268 0,018±0,003
Обсидиан CeO2 7,5 180 0,020±0,007
Чароит CeO2 8,8 382 0,020±0,003
Яшма CeO2 5,6 113 0,013±0,005
Базальт CeO2 14,2 1437 0,055±0,010
Габбро CeO2 11,8 905 0,035±0,010
Гранит CeO2 11,5 905 0,030±0,005
Кentaur CeO2 11,7 905 0,040±0,006
Кentaur Аl2O3 9,7 524 0,030±0,006
Mirage Аl2O3 9,7 524 0,028±0,008
Pamesa
Ceramica
Аl2O3 9,8 524 0,035±0,010
Базальт Аl2O3 7,1 180 0,020±0,007
Габбро Аl2O3 1,5 697 0,030±0,004
Стекло К8 CeO2 3,2 14 0,004±0,001
Анализируя полученную зависимость, можно заключить, что чем меньше
отличаются частоты собственных колебаний молекулярных фрагментов ω01 и
ω02, т. е. чем ближе к единице величина их отношения β = ω02/ω01, тем больше
ξ и тем выше значение Ra. В табл. 2 приведены числа молекулярных фраг-
ментов, частот их собственных колебаний ω01, ω02 (наиболее близко располо-
женных в инфракрасных спектрах поглощения) и β, характерные для полиро-
вания кварцевого оптического стекла марки КУ при помощи различных по-
лировальных порошков. При этом учтено, что для кварцевого стекла харак-
терными частотами являются 443 и 568 см–1, которые обусловлены колеба-
ниями мостиковых атомов кислорода перпендикулярно направлению Si—Si
как в площади угла Si—O—Si, так и перпендикулярно к этой плоскости, и
частота 811 см–1, обусловленная колебаниями атома кремния [12]. Для НМ,
приведенных в табл. 1, характерные частоты определяли экспериментально
по инфракрасным спектрам отражения. Из всех частот выбирали ближайшие
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2008, № 1 63
к частотам собственных колебаний, присущим полировальным порошкам
CeO2 (ω02 = 465 см–1) и Аl2O3 (ω02 = 520 см–1, 620 см–1). На рис. 3 приведена
зависимость параметра шероховатости Ra от отношения частот собственных
колебаний фрагментов на поверхностях инструмента и обрабатываемого
материала. Для поверхностей, полированных CeO2, экспериментальное
(0,26—0,29 нм [6, 12]) значение Ra совпадает с расчетным (0,27 нм).
Таблица 2. Значения частот собственных колебаний молекулярных
фрагментов ω01, ω02 и величина их отношения β
ω01 ω02 Полировальный
порошок см–1 1013, с–1 см–1 1013, с–1 β ξ
ThO2 443 8,35 466 8,78 1,051 90
CeO2 443 8,35 465 8,77 1,050 96
MgO 811 15,29 845 15,93 1,042 137
Cr2O3 568 10,71 550 10,37 0,968 256
ZrO2 443 8,35 456 8,60 1,030 271
Fe2O3 568 10,71 550 10,38 0,969 272
0,98 1,00 1,02 1,04
0
0,02
0,04
Ra, мкм
Амазонит
Яшма
К8 (CeO
2
)
КУ
Базальт
(Al
2
O
3
)
Обсидиан
Базальт (CeO
2
)
Kentaur (Al
2
O
3
)
Pamesa Ceramica
Габбро
(Al
2
O
3
)
Kentaur
(CeO2)
Чароит
Гранит
Mirage
β
Габбро
(CeO2)
Рис. 3. Зависимость параметра шероховатости Ra от отношения частот собственных коле-
баний фрагментов на поверхности инструмента и обрабатываемого материала: экспери-
ментальные значения из табл. 1 (○), значения параметра шероховатости поверхности квар-
цевого стекла КУ, рассчитанные по формуле Ra = 0,06av [12] (●).
Анализируя полученную зависимость, можно заключить, что при умень-
шении разности частот собственных колебаний фрагментов на поверхностях
инструмента и обрабатываемого материала шероховатость полированной
поверхности резко возрастает. Это подтверждает резонансный характер
взаимодействия инструмента и обрабатываемого материала при полировании
кремнезем- и глиноземсодержащих материалов (стекла, строительного и по-
делочного камня) и согласуется с результатами исследования дефектов на
поверхности стекла [7].
При полировании полимерных оптических материалов наблюдается ана-
логичная закономерность. Наименьшая шероховатость обработанной поверх-
ности полиметилметакрилата (ПММА) по данным [13], выраженная средним
квадратичным отклонением rms профиля Rq, достигается при использовании
полировального порошка диоксида циркония. На рис. 4 представлена зависи-
мость параметра шероховатости Rq [13] полированной поверхности ПММА
www.ism.kiev.ua; www.rql.kiev.ua/almaz_j 64
(ω01 = 1172 см–1), обработанной при по-
мощи абразивных порошков ультрадис-
персного алмаза (1100 см–1 [14]), TiO2
(880 см–1), SiO2 (811 см–1), SnO2 (610 см–1),
Al2O3 (520 см–1), CeO2 и ZrO2 (см. табл. 2)
[12], от величины β (в скобках — значение
ω02).
Зависимость шероховатости полиро-
ванной поверхности деталей из НМ
(табл. 1 и 2, рис. 3 и 4) от числа молеку-
лярных фрагментов, частот собственных
колебаний ω02, ω01 и их отношения β обу-
словлена тем, что микрорельеф обрабо-
танной поверхности определяется числом
и размерами частиц шлама, которые удаляются с нее в процессе полирова-
ния. Именно величина наиболее вероятного размера частиц шлама aν опреде-
ляет высотные параметры шероховатости и их взаимосвязь [12]: Rq = kqRa,
Rmax ≈ 3Rq. Для SiO2 коэффициент kq ≈ 1,6, а минимально возможная шеро-
ховатость атомно-гладкой поверхности соответствует максимальной высоте
неровностей профиля Rmax = 1,68 нм.
При исследовании микрорельефа плоской поверхности оптической детали
из стекла марки К8 методом атомной силовой микроскопии в [15] установле-
на координатная зависимость параметров шероховатости. Анализ микропро-
филя поверхности, обработанной при помощи инструмента “Аквапол” [6] из
полировальных порошков на основе CeО2, позволил определить параметры
шероховатости Ra и Rq в зависимости от координаты исследуемой зоны.
Полученные зависимости среднего арифметического отклонения профиля Ra
и среднего квадратичного отклонения профиля Rq поверхности от координа-
ты x исследуемого участка могут быть описаны следующей формулой (рис. 5,
кривые 1 и 2):
⎟⎟
⎠
⎞
⎜⎜
⎝
⎛
+⎟⎟
⎠
⎞
⎜⎜
⎝
⎛
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛ δ−
Δ
π⎟⎟
⎠
⎞
⎜⎜
⎝
⎛
=⎟⎟
⎠
⎞
⎜⎜
⎝
⎛
m
m
q Rq
Rax
k
R
xRq
xRa
2sin
1
max
)(
)(
,
где Ram и Rqm — средние значения параметров шероховатости, Δ = 4,5 мм —
ширина круговой зоны на обработанной поверхности (период функ-
ции),
max
min
max
min
Rq
Rq
Ra
Ra ≈=δ — коэффициент (фазовый сдвиг), Ramin, Rqmin, Ramax и
Rqmax — минимальные и максимальные значения параметров шероховатости
в зоне.
x, мм12 11 10 9 8
6
4
2
0
2
1
Rq, Ra, нм
Рис. 5. Зависимость параметров шероховатости Ra (1) и Rq (2) от координаты x.
0,4 0,6 0,8
0
2,0
4,0
Rq, нм
1,0 β
CeO
2
Al
2
O
3
ZrO
2
SnO
2
SiO
2
TiO
2
УДА
Рис. 4. Зависимость параметра шеро-
ховатости Rq от отношения частот
собственных колебаний полироваль-
ных порошков и ПММА [13].
ISSN 0203-3119. Сверхтвердые материалы, 2008, № 1 65
Координатные зависимости параметров шероховатости полированной по-
верхности не могут быть объяснены только с точки зрения размеров частиц
шлама и их распределения, поскольку обусловлены концентрационными
зависимостями частиц, траекториями их перемещения, характером их взаи-
модействия между собой, с частицами износа инструмента, с поверхностью
инструмента и обрабатываемой детали в контактной зоне, а также образова-
нием налета [11]. По-видимому, здесь имеется сходство с координатной зави-
симостью шероховатости плоских прецизионных поверхностей деталей из
оптического стекла марки К8 при тонком алмазном шлифовании [16], кото-
рая объясняется на основе исследования динамики столкновений и рассеяния
частиц шлама в контактной зоне с учетом интенсивности эрозионного износа
обрабатываемой поверхности их потоком. Однако, при полировании НМ
нельзя ограничиться лишь рассмотрением потока частиц шлама, как при ал-
мазном шлифовании. Необходимо изучить поведение частиц шлама и частиц
износа полировального инструмента в контактной зоне, определить их кон-
центрацию, смоделировать траектории их перемещения с учетом особенно-
стей столкновения и рассеяния наночастиц, оценить потенциалы их взаимо-
действия и эффективные дифференциальные сечения рассеяния.
Выводы
В результате проведенных исследований установлены и обобщены зако-
номерности влияния физико-химических свойств обрабатываемого материала
и полировального порошка в инструменте на эффективность процесса поли-
рования. Показано, что определенные кластерной моделью износа поверхно-
стей и физико-статистической моделью образования и удаления частиц шла-
ма при полировании НМ зависимости производительности процесса и шеро-
ховатости обработанной поверхности от размеров частиц соответствуют экс-
периментальным данным. Эти зависимости позволяют осуществить опти-
мальный выбор полировального порошка для изготовления рабочего слоя
инструмента, при использовании которого достигается требуемое качество
полированной поверхности применительно к конкретному обрабатываемому
материалу.
Зависимости параметров микропрофиля полированной поверхности от
координаты исследуемого участка, описанные периодическими функциями
на основе результатов статистического анализа, являются выражением тон-
ких эффектов, происходящих при полировании НМ в зоне контакта инстру-
мента и детали, связанных с особенностями переноса и взаимодействия на-
ночастиц шлама и износа, направленностью или хаотичностью их взаимного
перемещения и воздействия на обрабатываемую поверхность.
1. Филатов Ю. Д., Рогов В. В. Кластерная модель механизма усталостного износа SiO2-
содержащих материалов при их полировании инструментом со связанным полироваль-
ным порошком на основе диоксида церия. Часть 1 // Сверхтв. материалы. — 1994. —
№ 3. — С. 40—43.
2. Komanduri R., Lucca D. A., Tani Y. Technological advances in fine abrasive processes //
Annals of the CIRP. — 1997. — 46, N 2. — P. 545—596.
3. Gillman B. E, Jacobs S. D. Bound-abrasive polishers for optical glass // Appl. Opt. — 1998. —
37, N 16.— Р. 3498—3505.
4. Fahnle Oliver W., van Brug Hedser. Novel approaches to generate aspherical optical sufaces
// Part of the SPIE Conf. on Optical Manufacturing and Testing, Denver, Colorado, July 1999,
SPIE. — Vol. 3782. — P. 170—176.
5. Филатов Ю. Д. Полирование алюмосиликатных материалов инструментом со связан-
ным полировальным порошком // Сверхтв. материалы. — 2001. — № 3. — С. 36—49.
www.ism.kiev.ua; www.rql.kiev.ua/almaz_j 66
6. Rogov V. V., Filatov Y. D., Kottler W., Sobol V. P. New technology of precision polishing of
glass optic // Opt. Eng. — 2001. — 40, August. — Р. 1641—1645.
7. Скрябин В. В., Филатов Ю. Д., Сидорко В.И. Закономерности полирования деталей из
алюмосиликатных материалов инструментом со связанным полировальным порошком
// Сверхтв. материалы. — 2004. — № 6. — С. 73—78.
8. Филатов Ю. Д., Сидорко В. И. Статистический подход к износу поверхностей деталей
из неметаллических материалов при полировании // Там же. — 2005. — № 1. — С. 58—
66.
9. Ходаков Г. С., Кудрявцева Н. Л. Физико-химические процессы полирования оптическо-
го стекла. — М.: Машиностроение, 1985. — 224 с.
10. Филатов Ю. Д. Механизм образования микрорельефа поверхности при обработке
стекла // Сверхтв. материалы. — 1991. — № 5. — С. 61—65.
11. Филатов Ю. Д., Рогов В. В. Особенности процесса полирования стекла инструментом
со связанным полировальным порошком // Оптика и спектроскопия. — 1993. — 74,
вып. 6. — С. 1229—1235.
12. Поперенко Л. В., Філатов Ю. Д. Технологія обробки оптичних поверхонь. Навч. по-
сібник. — Київ: Видавн.-поліграф. центр “Київський університет”, 2004. — 165 с.
13. DeGroote J. E., Jacobs S. D., Schoen J. M. Polishing of PMMA and other optical polymers
with magnetorheological finishing // LLE Review. — 2003. — 96. — P. 239—248.
14. Физические свойства алмаза: Справ. / Под ред. Н. В. Новикова. — Киев: Наук. думка,
1987. — 188 с.
15. Сидорко В. И., Филатов А. Ю. Состояние полированных поверхностей изделий из
природного и синтетического камня / Породоразрушающий и металлообрабатывающий
инструмент — техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. —
Киев: ИСМ им. В. Н. Бакуля, 2006. — Вып. 9. — С. 365—368.
16. Филатов А. Ю., Сидорко В. И., Филатов Ю. Д. Особенности формирования макро- и
микрорельефа плоских поверхностей деталей из неметаллических материалов при ал-
мазном шлифовании // Сверхтв. материалы. — 2007. — № 6. — С. 48—57.
Ин-т сверхтвердых материалов Поступила 30.07.07
им. В. Н. Бакуля НАН Украины
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-20677 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T18:02:41Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филатов, Ю.Д. 2011-06-03T20:37:14Z 2011-06-03T20:37:14Z 2008 Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2008. — № 1. — С. 59-66. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/20677 621.623 На основе кластерной и физико-статистической моделей образования частиц шлама обрабатываемого материала описаны закономерности образования микрорельефа полированной поверхности. Показано, что производительность полирования неметаллических материалов экспоненциально снижается при увеличении их энергии связи, а шероховатость полированной поверхности зависит от отношения частот собственных колебаний молекулярных фрагментов на поверхности инструмента и обрабатываемой детали. A mechanism of the microrelief generation on a surface being polished is described based on the cluster model and the physical-statistical model of the workpiece material debris formation. It is demonstrated that the removal rate in polishing nonmetallic materials decreases exponentially with increasing bond energy in these materials and the polished surface roughness depends on the ratio of natural frequencies of molecular fragments on the tool and workpiece surfaces. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Исследование процессов обработки Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком Bound-abrasive polishing of precision surfaces of nonmetallic materials Article published earlier |
| spellingShingle | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком Филатов, Ю.Д. Исследование процессов обработки |
| title | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком |
| title_alt | Bound-abrasive polishing of precision surfaces of nonmetallic materials |
| title_full | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком |
| title_fullStr | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком |
| title_full_unstemmed | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком |
| title_short | Полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком |
| title_sort | полирование прецизионных поверхностей деталей из неметаллических материалов инструментом со связанным полировальным порошком |
| topic | Исследование процессов обработки |
| topic_facet | Исследование процессов обработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/20677 |
| work_keys_str_mv | AT filatovûd polirovanieprecizionnyhpoverhnosteidetaleiiznemetalličeskihmaterialovinstrumentomsosvâzannympolirovalʹnymporoškom AT filatovûd boundabrasivepolishingofprecisionsurfacesofnonmetallicmaterials |