The effect of ion implantation on structural damage in compositionally graded AlGaN layers
Compositionally graded AlₓGa₁₋ₓN alloys with the Al concentration in the (7 ≤ x ≤ 32) range were implanted with Ar+ ions to study the structural and strain changes (strain engineering). It was shown that ion implantation leads to ~0.3…0.46% hydrostatic strains and a relatively low damage of the crys...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2019 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2019
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/215418 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The effect of ion implantation on structural damage in compositionally graded AlGaN layers / O.I. Liubchenko, V.P. Kladko, H.V. Stanchu, T.M. Sabov, V.P. Melnik, S.B. Kryvyi, A.Ye. Belyaev // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2019. — Т. 22, № 1. — С. 119-129. — Бібліогр.: 40 назв. — англ. |