Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters

In this paper, novel cold electron emitters based on nanostructured SiC layers covering the Si(001) substrate have been proposed. Their main advantage is an extremely simple, cost-effective manufacturing process based on standard microelectronics-grade silicon wafers, with no ultra-high vacuum requi...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Date:2021
Main Authors: Goriachko, A.M., Strikha, M.V.
Format: Article
Language:English
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2021
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/216303
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters / A.M. Goriachko, M.V. Strikha // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2021. — Т. 24, № 4. — С. 355-361. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862619160031264768
author Goriachko, A.M.
Strikha, M.V.
author_facet Goriachko, A.M.
Strikha, M.V.
citation_txt Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters / A.M. Goriachko, M.V. Strikha // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2021. — Т. 24, № 4. — С. 355-361. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
description In this paper, novel cold electron emitters based on nanostructured SiC layers covering the Si(001) substrate have been proposed. Their main advantage is an extremely simple, cost-effective manufacturing process based on standard microelectronics-grade silicon wafers, with no ultra-high vacuum required and no complicated chemical deposition processes or toxic chemicals involved. It integrates within a single technological step both the SiC growth and nanostructuring of the surface in the form of nanosized protrusions, which is extremely beneficial for cathode applications. A simple mathematical model predicts field emission current densities and turn-on electric fields, which would allow practical device applications. According to our estimations, emission currents in the milli-Amp range can be harvested from one square centimeter of the cathode surface with an electric field close to 10⁷ V/m. So, the nanostructured SiC can be a promising material for the cold electron emitters. У цій роботі запропоновано нові холодні польові електронні емітери на основі наноструктурованих шарів SiC на підкладці Si(001). Їхньою головною перевагою є надзвичайно простий і низьковитратний процес виготовлення на стандартних кремнієвих пластинах, що використовуються у мікроелектроніці. Він поєднує в одному простому кроці як вирощування SiC, так і наноструктурування поверхні у формі нанорозмірних голок, які є надзвичайно вигідними з погляду застосування у катодах. При цьому не потрібно ні надвисокого вакууму, ні складного процесу хімічного осадження з використанням токсичних хімічних речовин. Проста математична модель передбачає густини струмів емісії та порогові значення електричних полів, які дозволяють практичне застосування таких пристроїв. Згідно з нашими оцінками, для порогового поля порядку 4,5×10⁷ В/м можуть бути отримані емісійні струми з поверхні катода порядку міліамперів на квадратний сантиметр. Таким чином, наноструктурований SiC може бути перспективним матеріалом для холодних електронних емітерів.
first_indexed 2026-04-16T09:34:14Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-216303
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1560-8034
language English
last_indexed 2026-04-16T09:34:14Z
publishDate 2021
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Goriachko, A.M.
Strikha, M.V.
2026-04-13T09:16:39Z
2021
Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters / A.M. Goriachko, M.V. Strikha // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2021. — Т. 24, № 4. — С. 355-361. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.
1560-8034
PACS: 79.70.+q, 81.07.–b, 81.16.–c, 81.40.–z, 85.45.Db
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/216303
https://doi.org/10.15407/spqeo24.04.355
In this paper, novel cold electron emitters based on nanostructured SiC layers covering the Si(001) substrate have been proposed. Their main advantage is an extremely simple, cost-effective manufacturing process based on standard microelectronics-grade silicon wafers, with no ultra-high vacuum required and no complicated chemical deposition processes or toxic chemicals involved. It integrates within a single technological step both the SiC growth and nanostructuring of the surface in the form of nanosized protrusions, which is extremely beneficial for cathode applications. A simple mathematical model predicts field emission current densities and turn-on electric fields, which would allow practical device applications. According to our estimations, emission currents in the milli-Amp range can be harvested from one square centimeter of the cathode surface with an electric field close to 10⁷ V/m. So, the nanostructured SiC can be a promising material for the cold electron emitters.
У цій роботі запропоновано нові холодні польові електронні емітери на основі наноструктурованих шарів SiC на підкладці Si(001). Їхньою головною перевагою є надзвичайно простий і низьковитратний процес виготовлення на стандартних кремнієвих пластинах, що використовуються у мікроелектроніці. Він поєднує в одному простому кроці як вирощування SiC, так і наноструктурування поверхні у формі нанорозмірних голок, які є надзвичайно вигідними з погляду застосування у катодах. При цьому не потрібно ні надвисокого вакууму, ні складного процесу хімічного осадження з використанням токсичних хімічних речовин. Проста математична модель передбачає густини струмів емісії та порогові значення електричних полів, які дозволяють практичне застосування таких пристроїв. Згідно з нашими оцінками, для порогового поля порядку 4,5×10⁷ В/м можуть бути отримані емісійні струми з поверхні катода порядку міліамперів на квадратний сантиметр. Таким чином, наноструктурований SiC може бути перспективним матеріалом для холодних електронних емітерів.
en
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Semiconductor physics
Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
Наноструктурований SiC як перспективний матеріал для холодної емісії електронів
Article
published earlier
spellingShingle Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
Goriachko, A.M.
Strikha, M.V.
Semiconductor physics
title Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
title_alt Наноструктурований SiC як перспективний матеріал для холодної емісії електронів
title_full Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
title_fullStr Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
title_full_unstemmed Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
title_short Nanostructured SiC as a promising material for the cold electron emitters
title_sort nanostructured sic as a promising material for the cold electron emitters
topic Semiconductor physics
topic_facet Semiconductor physics
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/216303
work_keys_str_mv AT goriachkoam nanostructuredsicasapromisingmaterialforthecoldelectronemitters
AT strikhamv nanostructuredsicasapromisingmaterialforthecoldelectronemitters
AT goriachkoam nanostrukturovaniisicâkperspektivniimateríaldlâholodnoíemísííelektronív
AT strikhamv nanostrukturovaniisicâkperspektivniimateríaldlâholodnoíemísííelektronív