Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним...
Saved in:
| Published in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http:/dspace/handle/123456789/27892 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859478997747892224 |
|---|---|
| author | Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| author_facet | Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| citation_txt | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур.
Создана установка для ионно-плазменного формирования углеродных нанотрубок и других наноструктур. Установка содержит высоковакуумную систему откачки, систему напуска рабочих газов, камеру геликонного разряда, камеру дрейфа, вакуумно-дуговые источники, источники пи тания и систему контроля с малогабаритным оптическим спектрометром. Установка интегрирует процессы плазменно-стимулированного химического парофазного осаждения, очистки и активации поверхности подложки в плазме разряда, нанесения переходных адгезионных слоев и металла-катализатора, а также процесс непосредственного формирования углеродных наноструктур.
The plant for ionic-plasma formation carbon nanotubes and other nanostructures is created. The plant contains highvacuum-pump system, working gases letting system, helicon discharge chamber, drift chamber, vacuum-arc sources, power sources and monitoring system with a small-sized optical spectrometer. The plant integrates processes plasma-enhanced chemical vapour-phase deposition, plasma clearing and activation of a substrate surface, deposition of transitive adhesive layers and metal-catalyst, direct formation process of carbon nanostructure.
|
| first_indexed | 2025-11-24T11:50:27Z |
| format | Article |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-27892 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-24T11:50:27Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. 2011-10-23T19:37:48Z 2011-10-23T19:37:48Z 2009 Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. Шамрай // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 5. — С. 5-8. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin5.05.005 http:/dspace/handle/123456789/27892 Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, вакуумно-дугові джерела, джерела живлення та систему контролю з малогабаритним оптичним спектрометром. Установка інтегрує процеси плазмово-стимульованого хімічного парофазного осадження, очищення та активації поверхні підкладки у плазмі розряду, нанесення перехідних адгезійних шарів та шарів металу-каталізатора, а також процес безпосереднього формування вуглецевих наноструктур. Создана установка для ионно-плазменного формирования углеродных нанотрубок и других наноструктур. Установка содержит высоковакуумную систему откачки, систему напуска рабочих газов, камеру геликонного разряда, камеру дрейфа, вакуумно-дуговые источники, источники пи тания и систему контроля с малогабаритным оптическим спектрометром. Установка интегрирует процессы плазменно-стимулированного химического парофазного осаждения, очистки и активации поверхности подложки в плазме разряда, нанесения переходных адгезионных слоев и металла-катализатора, а также процесс непосредственного формирования углеродных наноструктур. The plant for ionic-plasma formation carbon nanotubes and other nanostructures is created. The plant contains highvacuum-pump system, working gases letting system, helicon discharge chamber, drift chamber, vacuum-arc sources, power sources and monitoring system with a small-sized optical spectrometer. The plant integrates processes plasma-enhanced chemical vapour-phase deposition, plasma clearing and activation of a substrate surface, deposition of transitive adhesive layers and metal-catalyst, direct formation process of carbon nanostructure. uk Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок Установка для прецизионного ионно-плазменного формирования углеродных нанотрубок в едином вакуумно-технологическом цикле Plant for precision ionic-plasma formation of carbon nanotubes in the united vaсuum-technological cycle Article published earlier |
| spellingShingle | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| title | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_alt | Установка для прецизионного ионно-плазменного формирования углеродных нанотрубок в едином вакуумно-технологическом цикле Plant for precision ionic-plasma formation of carbon nanotubes in the united vaсuum-technological cycle |
| title_full | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_fullStr | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_full_unstemmed | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_short | Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| title_sort | установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок |
| topic | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| topic_facet | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| url | http:/dspace/handle/123456789/27892 |
| work_keys_str_mv | AT rudenkoem ustanovkadlâprecizíinogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT korotašív ustanovkadlâprecizíinogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT semenûkvf ustanovkadlâprecizíinogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT šamraikp ustanovkadlâprecizíinogoíonnoplazmovogoformuvannâvuglecevihnanotrubok AT rudenkoem ustanovkadlâprecizionnogoionnoplazmennogoformirovaniâuglerodnyhnanotrubokvedinomvakuumnotehnologičeskomcikle AT korotašív ustanovkadlâprecizionnogoionnoplazmennogoformirovaniâuglerodnyhnanotrubokvedinomvakuumnotehnologičeskomcikle AT semenûkvf ustanovkadlâprecizionnogoionnoplazmennogoformirovaniâuglerodnyhnanotrubokvedinomvakuumnotehnologičeskomcikle AT šamraikp ustanovkadlâprecizionnogoionnoplazmennogoformirovaniâuglerodnyhnanotrubokvedinomvakuumnotehnologičeskomcikle AT rudenkoem plantforprecisionionicplasmaformationofcarbonnanotubesintheunitedvasuumtechnologicalcycle AT korotašív plantforprecisionionicplasmaformationofcarbonnanotubesintheunitedvasuumtechnologicalcycle AT semenûkvf plantforprecisionionicplasmaformationofcarbonnanotubesintheunitedvasuumtechnologicalcycle AT šamraikp plantforprecisionionicplasmaformationofcarbonnanotubesintheunitedvasuumtechnologicalcycle |