Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів
Наведено результати робіт по впровадженню розроблених плівкоутворюючих матеріалів (ПУМ) для інтерференційної оптики приладів ІЧ-діапазону, зокрема технологічних лазерів. Розроблено технології синтезу та технічні умови ПУМ на основі BaY₂F₈ і ZnS—Gd₂S₃, оптимізовано умови нанесення з них тонкоплівкови...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28062 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів / В.Ф. Зінченко, В.П. Антонович, І.Р. Магунов, Г.І. Кочерба, В.П. Соболь, О.В. Мозкова, Б.А. Горштейн // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 6. — С. 5-10. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860269046873718784 |
|---|---|
| author | Зінченко, В.Ф. Антонович, В.П. Магунов, І.Р. Кочерба, Г.І. Соболь, В.П. Мозкова, О.В. Горштейн, Б.А. |
| author_facet | Зінченко, В.Ф. Антонович, В.П. Магунов, І.Р. Кочерба, Г.І. Соболь, В.П. Мозкова, О.В. Горштейн, Б.А. |
| citation_txt | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів / В.Ф. Зінченко, В.П. Антонович, І.Р. Магунов, Г.І. Кочерба, В.П. Соболь, О.В. Мозкова, Б.А. Горштейн // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 6. — С. 5-10. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | Наведено результати робіт по впровадженню розроблених плівкоутворюючих матеріалів (ПУМ) для інтерференційної оптики приладів ІЧ-діапазону, зокрема технологічних лазерів. Розроблено технології синтезу та технічні умови ПУМ на основі BaY₂F₈ і ZnS—Gd₂S₃, оптимізовано умови нанесення з них тонкоплівкових покриттів. Установлено, що інтерференційні покриття на основі створених ПУМ за своїми оптичними і експлуатаційними властивостями не поступаються, а за шириною області прозорості (7,5—12,5 мкм) і механічною міцністю (0 група) перевершують покриття зі стандартних ПУМ (ZnS, YF₃, ThF₄ ).
Приведены результаты работ по внедрению разработанных пленкообразующих материалов (ПОМ) для интерференционной оптики приборов ИК-диапазона, в частности технологических лазеров. Разработаны технологии синтеза и технические условия ПОМ на основе BaY₂F₈ и ZnS—Gd₂S₃, оптимизированы условия нанесения из них тонкопленочных покрытий. Показано, что интерференционные покрытия на основе созданных ПОМ по своим оптическим и эксплуатационным свойствам не уступают, а по ширине области прозрачности (7,5—12,5 мкм) и механической прочности (0 группа) превосходят покрытия из стандартных ПОМ (ZnS, YF₃, ThF₄).
The results of the introduction of the developed filmforming materials (FFM) for interference optics for IR range devices, technological lasers, in particular, are presented. Technologies of synthesis and technical conditions for FFM based on BaY₂F₈ and ZnS–Gd₂S₃ are developed, and conditions of drawing thin-film coatings from them are optimized. It is shown, that interference coatings based on created FFМ according to their optical and operational properties do not concede, but out-perform the coatings from standard FFМ (ZnS, YF₃, ThF₄) for the transparency domain width (7,5— 12,5 microns) and mechanical durability (0 group).
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:04:41Z |
| format | Article |
| fulltext |
5
Наука та інновації. 2009. Т. 5. № 6. С. 5—10.
© В.Ф. ЗІНЧЕНКО, В.П. АНТОНОВИЧ, І.Р. МАГУНОВ,
Г.І. КОЧЕРБА, В.П. СОБОЛЬ, О.В. МОЗКОВА,
Б.А. ГОРШТЕЙН, 2009
В.Ф. Зінченко 1, В.П. Антонович 1, І.Р. Магунов 1,
Г.І. Кочерба 2, В.П. Соболь 3, О.В. Мозкова 3, Б.А. Горштейн 3
1 Фізико-хімічний інститут ім. О.В. Богатського НАН України, Одеса
2 СНВП ”Нові матеріали і технології”, Одеса
3 КП „Центральне конструкторське бюро „Арсенал”, Київ
ПЛІВКОУТВОРЮЮЧІ МАТЕРІАЛИ
ТА БАГАТОШАРОВІ ПОКРИТТЯ ІНТЕРФЕРЕНЦІЙНОЇ ОПТИКИ
ТЕХНОЛОГІЧНИХ ІЧ-ЛАЗЕРІВ
Наведено результати робіт по впровадженню розроблених плівкоутворюючих матеріалів (ПУМ) для інтерферен-
ційної оптики приладів ІЧ-діапазону, зокрема технологічних лазерів. Розроблено технології синтезу та технічні умови
ПУМ на основі BaY
2
F
8
і ZnS—Gd
2
S
3
, оптимізовано умови нанесення з них тонкоплівкових покриттів. Установлено, що
інтерференційні покриття на основі створених ПУМ за своїми оптичними і експлуатаційними властивостями не по-
ступаються, а за шириною області прозорості (7,5—12,5 мкм) і механічною міцністю (0 група) перевершують покрит-
тя зі стандартних ПУМ (ZnS, YF
3
, ThF
4
).
К л ю ч о в і с л о в а: плівкоутворюючі матеріали, технології синтезу, технічні умови, інтерференційна оптика, пара-
метри покриттів, ІЧ-лазери.
Науково-технічний прогрес нерозривно пов’я-
заний з розвитком лазерної техніки та широ-
ким застосуванням лазерних технологій, зо-
крема у медицині (офтальмологія, хірургія),
фотолітографії, приладобудуванні та маши-
нобудуванні (зварювання, різання тощо). До
технологічних лазерів відносяться лазери з
ви сокою потужністю та густиною світлового
потоку, найчастіше — безперервної дії [1]. В
найпоширеніших технологічних лазерах ви-
користовують газові речовини. Таким є CO2-
ла зер, що випромінює у середньому ІЧ-діа па зо-
ні спектру (10,6 мкм). Тому пошук матеріалів
для оптичних систем таких лазерів спирається
на зазначений робочий діапазон довжин хвиль.
Вибір матеріалів для виготовлення оп тич них
елементів лазерних систем є відносно складні-
шою проблемою порівняно з оптичними при-
ладами іншого типу. Крім основних вимог ви-
сокої оптичної прозорості у даному спектраль-
ному діапазоні (а по можливості — й у видимій
області спектру для полегшення юстировки
приладів), а також заданих значень показника
заломлення до оптичних середовищ лазер них
систем висувається така специфічна вимога
(пов’язана, безумовно, з попередніми), як не-
обхідний рівень променевої міцності. Так, для
технологічних CO2-лазерів він має становити
102÷103 Вт/см2 при безперервному режимі та
104÷107 Вт/см2 при імпульсно-пе ріо дич ному
режимі (тривалість імпульсу — 1—20 мкс) [1].
Це приводить до того, що показник оптичного
поглинання в об’ємі матеріалу (у випадку його
застосування у прохідній оптиці) не має пере-
вищувати значень порядку 10–5 см–1.
6 Наука та інновації. № 6, 2009
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Одними з найважливіших матеріалів для
прохідних (пропускаючих) оптичних елемен-
тів технологічних лазерів є плівкоутворюючі
матеріали (ПУМ) для інтерференційних пок-
риттів. Багатошарове інтерференційне покрит-
тя складається з шарів, що чергуються, з висо-
ким (nh) та низьким (nl) показниками залом-
лення. Оптимальним є виконання співвідно-
шення nh ≈ n 2
1, або nl = , що дає можливість
мінімізувати кількість шарів, а отже підвищи-
ти надійність інтерференційного покриття.
Товщини цих шарів розраховуються на базі за-
конів інтерференції та поляризації світла у
тонких плівках. Найпоширенішими способа-
ми нанесення покриттів є нанесення з розчи-
нів (піроліз); нанесення у вакуумі — термічне
(резистивне або електронно-променеве) випа-
ровування та іонно-плазмове (катодне) роз-
пилення. Застосовують також лазерну абляцію
[2]. Якість покриттів залежить від технології
на несення покриття, природи матеріалів, з яких
одержують покриття, а також сумісності по-
криття з підкладкою. Оскільки всі фактори за-
лежать прямо або опосередковано від плівкоут-
ворюючих матеріалів, то прогнозуванню їхньої
природи, оптимізації складу та створенню тех-
нологій одержання і контролю якості останнім
часом приділяється значна увага [3—6].
Для одержання шарів із низьким показни-
ком заломлення, прозорих при 10,6 мкм, най-
частіше використовують PbF2, BaF2, BiF3, YF3,
а також ThF4 [2, 5]. Останній має досить висо-
ку променеву міцність (до 20 Дж/см2) в одно-
шаровому покритті, проте він є радіоактивним,
отже екологічно небезпечним. Нещодавно [7]
розроблено перспективний складний фторид
BaY2F8. З роботи [8] відомо про утворення у
системі BaF2—YF3 сполуки BaY2F8, яка має
такі характеристики: температура топлення
960 °C, структура відповідає моноклінній син-
гонії. При утворенні складної комплексної спо-
луки, формулу якої можна записати як Ba[YF4]2,
має відбуватися збільшення довжини зв’язків
Y—F і, отже, батохромний зсув довгохвильо-
вої межі області оптичної прозорості та відпо-
Рис. 1. Принципова технологічна схема виробництва
ПУМ на основі BaY2F8
Рис. 2. Принципова технологічна схема виробництва ПУМ
на основі ZnS—Gd2S3
hn
7Наука та інновації. № 6, 2009
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
відне зменшення поглинання. Випаровуван ня
BaY2F8 відбувається конгруентно, тобто склад
конденсату відповідає складові випаровувано-
го матеріалу. Це обумовлено, по-перше, вельми
високою термічною міцністю сполуки як склад-
ного фториду, по-друге — достатньо близь кими
значеннями пружності пари BaF2 та YF3.
За базовий ПУМ з високим показником за-
ломлення обрано ZnS. Відомо, що ZnS криста-
лізується в двох основних поліморфних моди-
фікаціях (ZnS-3C — сфалерит, ZnS-2H — вюр-
т цит) і є малотоксичним (3-й клас небезпеки)
[9]. Вихідний сульфід цинку ZnS як основа
плівкоутворюючого матеріалу виготовлявся з
елементних цинку й сірки самопоширюва ним
високотемпературним синтезом (СВС) [10] в
атмосфері аргону. При цьому наявність віль-
ного кисню в технологічному ланцюзі було зве-
дено до мінімуму (проте не було виклю чено
наявність хімічно зв’язаного оксигену у фор мі
ZnO на поверхні металевого цинку). Су льфід
цинку, синтезований за СВС-методом, містить
певну кількість оксиду цинку, який утворює
твердий розчин з ZnS [11]. Його досить важко
визначити методом рентгенівського фазового
аналізу (РФА), хіба що за зміною параметрів
кристалічної комірки. Наявність домішки ZnO
у сульфіді цинку робить необхідним застосу-
вання спеціальних легуючих добавок. Основ ни-
ми вимогами до них є такі: а) вони мають сприя-
ти наближенню до стехіометрії сульфіду цинку
у покритті; б) сульфідувати домішку ZnO, зв’я-
зу ючи оксиген у нелеткі форми; в) бути мало-
леткими, аби не спотворювати властивостей
покриття з ZnS. Як показано нами раніше [4],
такими властивостями володіють сульфіди
лан танідів середини лантанідного ряду, тобто
Ln2S3 (Ln–Sm, Gd, Dy).
Плівкоутворюючий матеріал BaY2F8 синте-
зували шляхом топлення при 1 150 °С у графі-
товому тиглі протягом 3—5 хв. у печі з індук-
ційним надвисокочастотним нагріванням по-
передньо синтезованих бінарних фторидів у
співвідношенні (мас. %): BaF2 — 37,47, YF3 —
62,53. Принципову технологічну схему вироб-
ництва ПУМ наведено на рис. 1. За даними
РФА, зразки матеріалу були гомогенними і
містили тільки фазу сполуки BaY2F8.
Таблиця 1
Характеристики покриттів з розроблених плівкоутворюючих матеріалів
ПУМ
Товщина
оптична, нм
Показник
заломлення
Коефіцієнт
розсіюва ння
для 630 нм, %
Механічна міцність,
оберти
Сталість до
термоудару
BaY2F8 2 670 1,37—1,34 (1,33—12 мкм) 0,5 2 500—3 000 +
ZnS–Gd2S3 1 312 2,375 (для 500 нм) 0,052—0,054 21 000—24 500 +
Таблиця 2
Оптичні характеристики та променева міцність покриттів в ІЧ-діапазоні спектру
Матеріал
Показник заломлення (n)
при довжині хвилі (λ), мкм Область оптичної
прозорості (λ1—λ2), мкм
Оптичне поглинання
при λ = 10,6 мкм, %
(у перерахунку на
dопт. = λ/4)
Променева
міцність (Еа),
Дж/см2
0,5 10,6
ThF4 1,52 1,37 0,25—13 0,36 14,3—16,5
BaF2 1,47 1,39 0,2—14 0,12 —
YF3 1,51 1,36 0,25—11,5 0,69 —
BaY2F8 1,49 1,36 0,2—12,5 0,36 14,0—15,0
8 Наука та інновації. № 6, 2009
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Композитні ПУМ на основі системи ZnS–
Gd2S3 готували з окремих сульфідів (сульфіду
цинку ZnS та сульфіду гадолінію Gd2S3) мето-
дом високотемпературного твердофазного син-
тезу. Принципову технологічну схему вироб-
ництва ПУМ наведено на рис. 2. Основною фа-
зовою складовою продуктів синтезу є вюрт-
цит на модифікація сульфіду цинку ZnS(2H)
та ок сосульфід гадолінію Gd2O2S. У невеликій
кількості зазначені матеріали містять перехід-
ну фазу ZnS(4H). Виникнення оксосульфіду
пов’язане з перебігом обмінної реакції між до-
мішкою оксиду цинку і легуючою добавкою за
схемою
2ZnO + Ln2S3 → 2ZnS + Ln2O2S.
Матеріали після термічного випаровування
терплять суттєві зміни фазового складу. Так,
матеріал з човника-випарювача окрім BaY2F8
містить деяку кількість YF3. Дифракційний
спектр плівкового покриття містить єдине, си-
льно розмите гало сполуки BaY2F8, що вказує
на його рентгеноаморфність. Суттєві зміни
фа зового складу відбуваються й у ПУМ на ос-
нові ZnS—Gd2S3 після термічного випарову-
вання. Цілком зникає фаза ZnS (4Н), поступа-
ючись місцем сфалеритній модифікації. Слід
також відзначити суттєве зменшення вмісту
фази Gd2O2S у залишках ПУМ після випаро-
вування. Неочікуване зменшення вмісту цієї
фази у процесі випаровування, очевидно, обу-
мовлене як процесами термодеструкції та ви-
парника оксосульфіду, так і його відновленням
матеріалом випарника (танталом). Утворюва-
ний при цьому металевий лантанід розчиня-
ється у матеріалі випарника й таким чином
виводиться із залишку.
З дифракційного рентгенівського спектру
покриття, одержаного з ПУМ на основі ZnS–
Gd2S3, випливає факт суттєвого вмісту у ньо-
му аморфної компоненти. У будь-якому випад-
ку кристалічна компонента покриття скла-
дається з кубічної модифікації ZnS-3С (сфа-
лериту).
Згадані перетворення у фазовому складі
ПУМ на основі ZnS–Gd2S3 позначаються й на
спектрах дифузного відбиття залишків після
його випаровування. Найсуттєвіші зміни спо-
стерігаються в УФ-діапазоні спектру, де за-
мість слабкої смуги ZnS з’являється смуга
погли на н ня надзвичайно високої інтенсив-
ності. При цьому характерне для домішок
Gd2S3 «плече» у видимому діапазоні стає більш
похилим; зни жується загальне тло спектраль-
них кривих.
Властивості (оптичні й експлуатаційні) по-
криттів суттєво залежать від природи плівко-
утворюючого матеріалу (табл. 1) й типу під-
кладки. Так, покриття з BaY2F8 має добру адге-
зію до підкладки з оптичного скла К8, а на під-
кладках з ZnSe (ПО4) та кварцу покриття три-
мається не досить добре й за певний проміжок
часу починає відлущуватися. Покриття із за-
значеного матеріалу залишається достатньо
Рис. 3. Спектри пропускання (а) та відбиття (б) бага-
тошарових інтерференційних покриттів на підкладці з
германію, одержаних з ПУМ: 1 — BaY2F8 та ZnS—Gd2S3,
2 — YF3 та ZnS
9Наука та інновації. № 6, 2009
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
прозорим у робочому діапазоні спектру. Воно
дещо поступається покриттю з YF3 за механіч-
ною міцністю, проте має нижчий коефіцієнт
розсіювання, особливо у робочому діапазоні.
Променева міцність покриттів, отриманих із
застосуванням BaY2F8, виявилася досить бли-
зь кою до такої для покриттів на ос нові стан-
дартного матеріалу — торію тет рафториду
(табл. 2). Але зважаючи на цілковиту безпеч-
ність застосовуваного матеріалу (клас небез-
пеки 3), можна вважати його альтернативою
до базового матеріалу — ThF4.
Покриття, одержане з ПУМ на основі ZnS—
Gd2S3, виявило високі оптичні (коефіцієнт роз-
сіювання та показник заломлення) і експлуа-
таційні властивості. Покриття з ZnS—Gd2S3 не
поступається базовому матеріалу ZnS за кое-
фіцієнтом розсіювання, а оптична неоднорід-
ність при цьому значно нижча. Механічна міц-
ність значно перевищує значення для групи 0
(3 000 обертів на приладі СМ-55 до появи по-
дряпини).
Розроблені матеріали також випробувано
для створення багатошарового (інтерферен-
ційного) покриття на підкладці з германію. Як
випливає з рис. 3, а, покриття суттєво підви-
щує прозорість підкладки (зазвичай без про-
світлювання вона не перевищує 60 %) за раху-
нок зменшення френелівського відбиття. В
цілому, область задовільного пропускання ін-
терференційного покриття охоплює робочий
діапазон технологічного ІЧ-лазера (Tλ = 10,6 мкм >
> 95 %). Співставлення спектрів відбиття двох
інтерференційних покриттів — зі стандартних
ПУМ на основі YF3 і ZnS та розроблених у да-
ній роботі ПУМ на основі BaY2F8 і ZnS-Gd2S3
(рис. 3, б) — засвідчує суттєві переваги остан-
нього. Дійсно, при майже однакових значен-
нях короткохвильової межі (~7,5 мкм) довго-
хвильова межа покриття з розроблених мате-
ріалів простягається суттєво далі (аж до ~12,5
мкм) у довгохвильовий діапазон порівняно з
покриттям зі стандартних ПУМ (ZnS, YF3) —
11,5 мкм. Можливо, саме завдяки цьому від-
биття у робочому діапазоні розробленого по-
криття є дещо нижчим, ніж у стандартного і не
перевищує 4 %.
Таким чином, розроблені ПУМ для інтер-
ференційної оптики мають значно кращі оп-
тич ні й експлуатаційні параметри порівняно
зі стандартними матеріалами, що дає мож-
ливість розширити асортимент матеріалів
ІЧ-оп ти ки. Розроблені нами ПУМ рекомен-
довані для впровадження та подальшого за-
стосування.
ЛІТЕРАТУРА
1. Технологические лазеры. Справочник / Абильсиитов Г.А.,
Гонтарь В.Г., Колпаков А.А. и др. / Под общ. ред. Аби-
льсиитова Г.А. — М.: Машиностроение, 1991. — Т. 2. —
436 с.
2. Справочник технолога-оптика / Окатов М.А., Анто-
нов Э.А., Байгожин А. и др. / Под ред. Окатова М.А. —
2-е изд., перераб.и доп. — СПб.: Политехника, 2004. —
679 с.
3. Зинченко В.Ф. Научные основы прогнозирования и
создания пленкообразующих материалов для интер-
ференционной оптики / Оптич. журн. — 2006. — Т. 73,
№ 12. — С. 72—77.
4. Зінченко В.Ф., Соболь В.П., Кочерба Г.І., Тімухін Є.В.
Оптичні та експлуатаційні властивості тонкоплівко-
вих систем інтерференційної оптики (огляд) / Фіз. і
хім. тверд. тіла. — 2007. — Т. 8, № 3. — С. 441—450.
5. Friz M., Waibel F. Coating materials / Optical In ter fe ren-
ce Coatings / Kaiser N. and Pulker H.K. (Eds) — Berlin:
Springer-Verlag, 2003. — P. 105—130.
6. Handbook of Infrared Optical Materials / Klocek P. (Ed.) —
New-York. Basel. Hong Kong.: Marcel Dekker Inc.,
1991. — 613 p.
7. Кочерба Г.І., Зінченко В.Ф., Галькевич Є.П. Застосу-
вання барію октафтородіїтріату як матеріалу для оп-
тичних покриттів / Патент України на корисну мо-
дель від 11.03.2008 р. за № 30805.
8. Кузнецов Б.А., Сафонов В.В. Галогениды (Диаграммы
плавкости). Справочник. — М.: Металлургия,1991. —
С. 148.
9. Морозова Н.К., Кузнецов В.А. Сульфид цинка. Полу-
чение и оптические свойства. — М.: Наука, 1987. —
200 с.
10. Козицкий С.В., Писарский В.П., Полищук Д.Д. и др.
Химический состав и некоторые свойства суль -
фи да цин ка, синтезированного в волне горения /
Неорган. материалы. — 1980. — Т. 26, № 12. —
C. 2472—2475.
11. Томашик В.Н., Грыцив В.И. Диаграммы состояния
сис тем на основе полупроводниковых соединений
AIIBVI. — К.: Наук. думка, 1982. — 168 с.
10 Наука та інновації. № 6, 2009
Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
V.F. Zinchenko, V.P. Antonovych,
I.R. Magunov, G.I. Kocherba, V.P. Sobol’,
O.V. Mozkova, B.A. Gorshtein
FILM-FORMING MATERIALS AND MULTI-LAYER
COATINGS OF INTERFERENCE OPTICS
FOR IR-TECHNOLOGICAL LASERS
The results of the introduction of the developed film-
forming materials (FFM) for interference optics for IR range
devices, technological lasers, in particular, are presented.
Technologies of synthesis and technical conditions for FFM
based on BaY2F8 and ZnS–Gd2S3 are developed, and condi-
tions of drawing thin-film coatings from them are optimized.
It is shown, that interference coatings based on created FFМ
according to their optical and operational properties do not
concede, but out-perform the coatings from standard FFМ
(ZnS, YF3, ThF4) for the transparency domain width (7,5—
12,5 microns) and mechanical durability (0 group).
Ke y w o r d s: film-forming materials, synthesis technol-
ogies, technical conditions, interference optics, parameters
of coatings, IR-lasers.
Надійшла до редакції 10.04.09.
В.Ф. Зинченко, В.П. Антонович,
И.Р. Магунов, Г.И. Кочерба, В.П. Соболь,
О.В. Мозговая, Б.А. Горштейн
ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИЕ МАТЕРИАЛЫ
И МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ ОПТИКИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ИК-ЛАЗЕРОВ
Приведены результаты работ по внедрению разрабо-
танных пленкообразующих материалов (ПОМ) для ин-
терференционной оптики приборов ИК-диапазона, в час-
тности технологических лазеров. Разработаны техноло-
гии синтеза и технические условия ПОМ на основе BaY2F8
и ZnS—Gd2S3, оптимизированы условия нанесения из них
тонкопленочных покрытий. Показано, что интерферен-
ционные покрытия на основе созданных ПОМ по своим
оптическим и эксплуатационным свойствам не уступают,
а по ширине области прозрачности (7,5—12,5 мкм) и меха-
нической прочности (0 группа) превосходят покрытия из
стандартных ПОМ (ZnS, YF3, ThF4).
К л ю ч е в ы е с л о в а: пленкообразующие материалы,
технологии синтеза, технические условия, интерферен-
ционная оптика, параметры покрытий, ИК-лазеры.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-28062 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:04:41Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Зінченко, В.Ф. Антонович, В.П. Магунов, І.Р. Кочерба, Г.І. Соболь, В.П. Мозкова, О.В. Горштейн, Б.А. 2011-10-27T12:32:29Z 2011-10-27T12:32:29Z 2009 Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів / В.Ф. Зінченко, В.П. Антонович, І.Р. Магунов, Г.І. Кочерба, В.П. Соболь, О.В. Мозкова, Б.А. Горштейн // Наука та інновації. — 2009. — Т. 5, № 6. — С. 5-10. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin5.06.005 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28062 Наведено результати робіт по впровадженню розроблених плівкоутворюючих матеріалів (ПУМ) для інтерференційної оптики приладів ІЧ-діапазону, зокрема технологічних лазерів. Розроблено технології синтезу та технічні умови ПУМ на основі BaY₂F₈ і ZnS—Gd₂S₃, оптимізовано умови нанесення з них тонкоплівкових покриттів. Установлено, що інтерференційні покриття на основі створених ПУМ за своїми оптичними і експлуатаційними властивостями не поступаються, а за шириною області прозорості (7,5—12,5 мкм) і механічною міцністю (0 група) перевершують покриття зі стандартних ПУМ (ZnS, YF₃, ThF₄ ). Приведены результаты работ по внедрению разработанных пленкообразующих материалов (ПОМ) для интерференционной оптики приборов ИК-диапазона, в частности технологических лазеров. Разработаны технологии синтеза и технические условия ПОМ на основе BaY₂F₈ и ZnS—Gd₂S₃, оптимизированы условия нанесения из них тонкопленочных покрытий. Показано, что интерференционные покрытия на основе созданных ПОМ по своим оптическим и эксплуатационным свойствам не уступают, а по ширине области прозрачности (7,5—12,5 мкм) и механической прочности (0 группа) превосходят покрытия из стандартных ПОМ (ZnS, YF₃, ThF₄). The results of the introduction of the developed filmforming materials (FFM) for interference optics for IR range devices, technological lasers, in particular, are presented. Technologies of synthesis and technical conditions for FFM based on BaY₂F₈ and ZnS–Gd₂S₃ are developed, and conditions of drawing thin-film coatings from them are optimized. It is shown, that interference coatings based on created FFМ according to their optical and operational properties do not concede, but out-perform the coatings from standard FFМ (ZnS, YF₃, ThF₄) for the transparency domain width (7,5— 12,5 microns) and mechanical durability (0 group). uk Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів Пленкообразующие материалы и многослойные покрытия интерференционной оптики технологических ИК-лазеров Film-forming materials and multi-layer coatings of interference optics for IR-technological lasers Article published earlier |
| spellingShingle | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів Зінченко, В.Ф. Антонович, В.П. Магунов, І.Р. Кочерба, Г.І. Соболь, В.П. Мозкова, О.В. Горштейн, Б.А. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| title | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів |
| title_alt | Пленкообразующие материалы и многослойные покрытия интерференционной оптики технологических ИК-лазеров Film-forming materials and multi-layer coatings of interference optics for IR-technological lasers |
| title_full | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів |
| title_fullStr | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів |
| title_full_unstemmed | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів |
| title_short | Плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних ІЧ-лазерів |
| title_sort | плівкоутворюючі матеріали та багатошарові покриття інтерференційної оптики технологічних іч-лазерів |
| topic | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| topic_facet | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28062 |
| work_keys_str_mv | AT zínčenkovf plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT antonovičvp plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT magunovír plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT kočerbagí plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT sobolʹvp plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT mozkovaov plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT goršteinba plívkoutvorûûčímateríalitabagatošarovípokrittâínterferencíinoíoptikitehnologíčnihíčlazerív AT zínčenkovf plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT antonovičvp plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT magunovír plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT kočerbagí plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT sobolʹvp plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT mozkovaov plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT goršteinba plenkoobrazuûŝiematerialyimnogosloinyepokrytiâinterferencionnoioptikitehnologičeskihiklazerov AT zínčenkovf filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers AT antonovičvp filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers AT magunovír filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers AT kočerbagí filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers AT sobolʹvp filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers AT mozkovaov filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers AT goršteinba filmformingmaterialsandmultilayercoatingsofinterferenceopticsforirtechnologicallasers |