Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики
Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного...
Saved in:
| Published in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28110 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862728148536262656 |
|---|---|
| author | Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| author_facet | Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. |
| citation_txt | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного травлення. Установка призначена для формування структур елементної бази наноелектроніки та топології наноприладів, термоемісійних джерел, елементів перетворення сонячної та теплової енергії в електричну.
Создан вакуумно-плазменный модуль — специализированная технологическая установка прецизионного размерного травления и многофункциональной ионноплазменной обработки. В основу установки положена двухразрядная система, состоящая из источника высокоселективного плазмохимического травления и источника высокоанизотропного реактивно-ионного травления. Установка предназначена для формирования структур элементной базы наноэлектроники и топологии наноприборов, термоэмиссионных источников, элементов преобразования солнечной и тепловой энергии в электрическую.
The vacuum-plasma module — specialized technological unit of precision size etching and multifunction ion-plasma treatment is created. It is based on the two-figure system, consisting of high selective plasma-chemical and high anisotropic reactively-ionic etch sources. The module is intended for the forming of structure element base of nanoelectronics and nanodevice topology, thermal emission sources, elements converting sun and thermal energy into electrical energy.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:06:59Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-28110 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:06:59Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. 2011-10-28T22:00:55Z 2011-10-28T22:00:55Z 2010 Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin6.03.036 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28110 Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного травлення. Установка призначена для формування структур елементної бази наноелектроніки та топології наноприладів, термоемісійних джерел, елементів перетворення сонячної та теплової енергії в електричну. Создан вакуумно-плазменный модуль — специализированная технологическая установка прецизионного размерного травления и многофункциональной ионноплазменной обработки. В основу установки положена двухразрядная система, состоящая из источника высокоселективного плазмохимического травления и источника высокоанизотропного реактивно-ионного травления. Установка предназначена для формирования структур элементной базы наноэлектроники и топологии наноприборов, термоэмиссионных источников, элементов преобразования солнечной и тепловой энергии в электрическую. The vacuum-plasma module — specialized technological unit of precision size etching and multifunction ion-plasma treatment is created. It is based on the two-figure system, consisting of high selective plasma-chemical and high anisotropic reactively-ionic etch sources. The module is intended for the forming of structure element base of nanoelectronics and nanodevice topology, thermal emission sources, elements converting sun and thermal energy into electrical energy. uk Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики Вакуумно-плазменный модуль для формирования структур элементной базы наноэлектроники и микроэнергетики Vacuum-plasma module for the forming of structure element base of nanoelectronics and microenergetics Article published earlier |
| spellingShingle | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики Руденко, Е.М. Короташ, І.В. Семенюк, В.Ф. Шамрай, К.П. Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| title | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_alt | Вакуумно-плазменный модуль для формирования структур элементной базы наноэлектроники и микроэнергетики Vacuum-plasma module for the forming of structure element base of nanoelectronics and microenergetics |
| title_full | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_fullStr | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_full_unstemmed | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_short | Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| title_sort | вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики |
| topic | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| topic_facet | Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28110 |
| work_keys_str_mv | AT rudenkoem vakuumnoplazmoviimodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT korotašív vakuumnoplazmoviimodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT semenûkvf vakuumnoplazmoviimodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT šamraikp vakuumnoplazmoviimodulʹdlâformuvannâstrukturelementnoíbazinanoelektroníkitamíkroenergetiki AT rudenkoem vakuumnoplazmennyimodulʹdlâformirovaniâstrukturélementnoibazynanoélektronikiimikroénergetiki AT korotašív vakuumnoplazmennyimodulʹdlâformirovaniâstrukturélementnoibazynanoélektronikiimikroénergetiki AT semenûkvf vakuumnoplazmennyimodulʹdlâformirovaniâstrukturélementnoibazynanoélektronikiimikroénergetiki AT šamraikp vakuumnoplazmennyimodulʹdlâformirovaniâstrukturélementnoibazynanoélektronikiimikroénergetiki AT rudenkoem vacuumplasmamodulefortheformingofstructureelementbaseofnanoelectronicsandmicroenergetics AT korotašív vacuumplasmamodulefortheformingofstructureelementbaseofnanoelectronicsandmicroenergetics AT semenûkvf vacuumplasmamodulefortheformingofstructureelementbaseofnanoelectronicsandmicroenergetics AT šamraikp vacuumplasmamodulefortheformingofstructureelementbaseofnanoelectronicsandmicroenergetics |