Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики

• Published in: Наука та інновації
• Date: 2010
• Main Authors: Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2010
• Subjects: Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28110
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики / Е.М. Руденко, І.В. Короташ, В.Ф. Семенюк, К.П. // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 3. — С. 36-38. — Бібліогр.: 3 назв. — укр.

Створено вакуумно-плазмовий модуль – спеціалізовану технологічну установку прецизійного розмірного травлення та багатофункціональної іонно-плазмової обробки. Модуль базується на дворозрядній системі, що складається з джерел високоселективного плазмохімічного та високоанізотропного реактивно-іонного...