Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів

Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2. The article is devoted to the prob...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
Дата:2008
Автор: Філімонов, С.О.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32191
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів / С.О. Філімонов // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 126-129. — Бібліогр.: 7 назв. — укp.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862620243353927680
author Філімонов, С.О.
author_facet Філімонов, С.О.
citation_txt Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів / С.О. Філімонов // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 126-129. — Бібліогр.: 7 назв. — укp.
collection DSpace DC
container_title Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
description Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2. The article is devoted to the problems of creation of piezoscanners. Offered and probed construction of piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements. Built and probed model of this scanner with a help the package of the program FemLab 3.2.
first_indexed 2025-12-07T13:21:17Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-32191
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1681-7893
language Ukrainian
last_indexed 2025-12-07T13:21:17Z
publishDate 2008
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Філімонов, С.О.
2012-04-13T22:47:13Z
2012-04-13T22:47:13Z
2008
Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів / С.О. Філімонов // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 126-129. — Бібліогр.: 7 назв. — укp.
1681-7893
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32191
681.586
Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2.
The article is devoted to the problems of creation of piezoscanners. Offered and probed construction of piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements. Built and probed model of this scanner with a help the package of the program FemLab 3.2.
uk
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
Article
published earlier
spellingShingle Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
Філімонов, С.О.
Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
title Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
title_full Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
title_fullStr Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
title_full_unstemmed Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
title_short Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
title_sort побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
topic Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
topic_facet Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32191
work_keys_str_mv AT fílímonovso pobudovamodelípêzokeramíčnogoskaneradlâzondovihnanomíkroskopívnaosnovíbímorfnihpêzoelementív