Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів

• Published in: Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
• Date: 2008
• Main Author: Філімонов, С.О.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
• Subjects: Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32191
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів / С.О. Філімонов // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 126-129. — Бібліогр.: 7 назв. — укp.

Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2. The article is devoted to the prob...