Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

• Published in: Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
• Date: 2008
• Main Authors: Кравченко, Ю.С., Савицький, А.Ю.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
• Subjects: Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp.

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов. This paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed.