Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-32200 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. 2012-04-13T23:24:14Z 2012-04-13T23:24:14Z 2008 Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp. 1681-7893 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200 621.38 Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов. This paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed. uk Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| spellingShingle |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу |
| title_short |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_full |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_fullStr |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_full_unstemmed |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| title_sort |
оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| author |
Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. |
| author_facet |
Кравченко, Ю.С. Савицький, А.Ю. |
| topic |
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу |
| topic_facet |
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу |
| publishDate |
2008 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов.
This paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed.
|
| issn |
1681-7893 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200 |
| citation_txt |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp. |
| work_keys_str_mv |
AT kravčenkoûs optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku AT savicʹkiiaû optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku |
| first_indexed |
2025-12-07T13:11:32Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:11:32Z |
| _version_ |
1850855226001588224 |