Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

• Published in: Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
• Date: 2008
• Main Authors: Кравченко, Ю.С., Савицький, А.Ю.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
• Subjects: Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp.

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов....