Зображення обкладинки

Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
Дата:	2008
Автори:	Кравченко, Ю.С., Савицький, А.Ю.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Теми:	Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
за авторством: Кравченко, Ю. С., та інші
Опубліковано: (2013)

Фотоелектрические свойства диодов на основе монокристаллического теллурида кадмия с модифицированной поверхностью
за авторством: Александрюк, Т.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Оптоелектронний нейронний елемент на С-негатроні
за авторством: Лазарєв, О.О., та інші
Опубліковано: (2008)

Аналіз експериментальних та теоретичних досліджень оптичної системи атомно-абсорбційного спектрофотометра
за авторством: Лорія, М.Г.
Опубліковано: (2008)

Інтеркаляційний низькоентропійний фотосинтез та його застосування до акумулювання сонячної енергії
за авторством: Іващишин, Ф.О., та інші
Опубліковано: (2009)

Моделювання режиму роботи лідара комбінаційного розсіяння випромінювання
за авторством: Петрук, В.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Математична модель мікроелектронного частотного сенсора оптичного випромінювання
за авторством: Осадчук, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

РЕЗИСТИВНІ ДАТЧИКИ НА ОСНОВІ НАНОЦЕЛЮЛОЗИ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ
за авторством: LAPSHUDA, V., та інші
Опубліковано: (2024)

ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
за авторством: LINEVYCH, Ya., та інші
Опубліковано: (2024)

Оптичні властивості плівок Ni(OH)2 в атмосфері СО та хлору
за авторством: Fomanyuk, S. S., та інші
Опубліковано: (2015)

Аналіз стану розвитку теплових сенсорів потоку загального, біомедичного та екологічного призначення
за авторством: Павлов, С.В., та інші
Опубліковано: (2022)

Влияние ионизирующего излучения на человека и его использование в медицине
за авторством: Терещенко, Н.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
за авторством: Druzhynin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2019)

Параметричний аналіз частотно-селективного конвертера імпедансу сигнального перетворювача оптоелектронних сенсорів
за авторством: Вісьтак, М. В., та інші
Опубліковано: (2015)

Аналіз методів розповсюдження випромінювання в біологічних середовищах на основі застосування методу Монте-Карло
за авторством: Павлов, С.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Портативний пристрій неінвазивного контролю вмісту глюкози в оптико–електронній геоінформаційно–енергетичній системі
за авторством: Кожем'яко, В.П., та інші
Опубліковано: (2008)

A mobile and intelligent device for customized logopedic therapy
за авторством: Ungurean, Ioan
Опубліковано: (2009)

Комп‘ютерні технології підвищення інформативності променевих методів візуалізації внутрішніх органів
за авторством: Кожем'яко, В.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Intelligent medical robot society
за авторством: Zaharia, Mihai Horia, та інші
Опубліковано: (2008)

Спектроскопічний метод оцінювання субкон’юнктивного судинного русла ока
за авторством: Павлов, С.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Оптико-електронні методи діагностування в біомедицині
за авторством: Дмитрук, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Physical simulation of muscles and bones
за авторством: Dima, Emanuel, та інші
Опубліковано: (2009)

Особливості використання волоконно-оптичних сенсорів для дослідження тканинної мікроциркуляції
за авторством: Павлов, В. C., та інші
Опубліковано: (2023)

АВТОМАТИЗАЦІЯ ВИМІРЮВАЛЬНИХ ПРОЦЕСІВ В ОПТИЦІ НЕОДНОРІДНИХ СЕРЕДОВИЩ
за авторством: Кожем'яко, В. П., та інші
Опубліковано: (2014)

Ступінь пошкодження омелою (Viscum album L.) видів роду Celtis L. у насадженнях Національного дендрологічного парку «Софіївка» НАН України
за авторством: Рум’янков, Ю.О.
Опубліковано: (2010)

Синтез, оптичні та фотокаталітичні властивості мезопористих залізовмісних плівок діоксиду титану
за авторством: Chorna, N. A., та інші
Опубліковано: (2017)

Особливості проектування теплових сенсорів потоку біомедичного призначення
за авторством: Павлов, С.В., та інші
Опубліковано: (2023)

ОПТИЧНІ ТРАНСПОРТНІ ТЕХНОЛОГІЇ ДЛЯ РОЗПОДІЛЕНИХ ОБЧИСЛЕНЬ GRID
за авторством: Лисенко, Г. Л., та інші
Опубліковано: (2017)

Початкові етапи створення саду магнолій у Національному дендрологічному парку «Софіївка» НАН України
за авторством: Косенко, І.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Транзисторний інвертор напруги для установок індукційного нагрівання з низькочастотною імпульсною модуляцією та мікропроцесорною системою керування
за авторством: Герасименко, П.Ю.
Опубліковано: (2009)

Інтелектуальні сенсори
за авторством: Войтович, І.
Опубліковано: (2009)

Створення цифрових бібліотек періодичних видань на основі Greenstone
за авторством: Резніченко, В.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Волоконно-оптичні технології в моніторингу повітряних ліній електропередачі
за авторством: Лежнюк, П. Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Сравнительный анализ простейших схем индуктивно-емкостных преобразователей по установленной мощности реактивных элементов
за авторством: Кабан, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Защита тягового электропривода рудничного контактного электровоза от сверхнапряжений в питающей контактной сети
за авторством: Синчук, О.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Обобщенная форма представления функций тригонометрическими рядами для анализа процессов в импульсных системах
за авторством: Новский, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Моделирование процесса заряда аккумуляторной батареи
за авторством: Павлов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2009)

Трехфазные трехуровневые автономные инверторы напряжения
за авторством: Гречко, Э.Н.
Опубліковано: (2009)

Вплив температури на оптичні властивості тонких плівок Cu2ZnSnSe4
за авторством: Maystruk, E. V., та інші
Опубліковано: (2018)

Діагностування деградації замка ущільнювального кільця за втратою робочих газів двигуна внутрішнього згорання
за авторством: Балицький, О.І., та інші
Опубліковано: (2014)