Buchumschlag

Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Кравченко, Ю.С., Савицький, А.Ю.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Schlagworte:	Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32200
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
von: Кравченко, Ю. С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Фотоелектрические свойства диодов на основе монокристаллического теллурида кадмия с модифицированной поверхностью
von: Александрюк, Т.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Оптоелектронний нейронний елемент на С-негатроні
von: Лазарєв, О.О., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Аналіз експериментальних та теоретичних досліджень оптичної системи атомно-абсорбційного спектрофотометра
von: Лорія, М.Г.
Veröffentlicht: (2008)

Інтеркаляційний низькоентропійний фотосинтез та його застосування до акумулювання сонячної енергії
von: Іващишин, Ф.О., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Моделювання режиму роботи лідара комбінаційного розсіяння випромінювання
von: Петрук, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Математична модель мікроелектронного частотного сенсора оптичного випромінювання
von: Осадчук, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

РЕЗИСТИВНІ ДАТЧИКИ НА ОСНОВІ НАНОЦЕЛЮЛОЗИ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ
von: LAPSHUDA, V., et al.
Veröffentlicht: (2024)

ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
von: LINEVYCH, Ya., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Оптичні властивості плівок Ni(OH)2 в атмосфері СО та хлору
von: Fomanyuk, S. S., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Аналіз стану розвитку теплових сенсорів потоку загального, біомедичного та екологічного призначення
von: Павлов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Влияние ионизирующего излучения на человека и его использование в медицине
von: Терещенко, Н.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
von: Druzhynin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Параметричний аналіз частотно-селективного конвертера імпедансу сигнального перетворювача оптоелектронних сенсорів
von: Вісьтак, М. В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Аналіз методів розповсюдження випромінювання в біологічних середовищах на основі застосування методу Монте-Карло
von: Павлов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Портативний пристрій неінвазивного контролю вмісту глюкози в оптико–електронній геоінформаційно–енергетичній системі
von: Кожем'яко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

A mobile and intelligent device for customized logopedic therapy
von: Ungurean, Ioan
Veröffentlicht: (2009)

Комп‘ютерні технології підвищення інформативності променевих методів візуалізації внутрішніх органів
von: Кожем'яко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Intelligent medical robot society
von: Zaharia, Mihai Horia, et al.
Veröffentlicht: (2008)

Спектроскопічний метод оцінювання субкон’юнктивного судинного русла ока
von: Павлов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Оптико-електронні методи діагностування в біомедицині
von: Дмитрук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Physical simulation of muscles and bones
von: Dima, Emanuel, et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особливості використання волоконно-оптичних сенсорів для дослідження тканинної мікроциркуляції
von: Павлов, В. C., et al.
Veröffentlicht: (2023)

АВТОМАТИЗАЦІЯ ВИМІРЮВАЛЬНИХ ПРОЦЕСІВ В ОПТИЦІ НЕОДНОРІДНИХ СЕРЕДОВИЩ
von: Кожем'яко, В. П., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Ступінь пошкодження омелою (Viscum album L.) видів роду Celtis L. у насадженнях Національного дендрологічного парку «Софіївка» НАН України
von: Рум’янков, Ю.О.
Veröffentlicht: (2010)

Синтез, оптичні та фотокаталітичні властивості мезопористих залізовмісних плівок діоксиду титану
von: Chorna, N. A., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Особливості проектування теплових сенсорів потоку біомедичного призначення
von: Павлов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2023)

ОПТИЧНІ ТРАНСПОРТНІ ТЕХНОЛОГІЇ ДЛЯ РОЗПОДІЛЕНИХ ОБЧИСЛЕНЬ GRID
von: Лисенко, Г. Л., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Початкові етапи створення саду магнолій у Національному дендрологічному парку «Софіївка» НАН України
von: Косенко, І.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Транзисторний інвертор напруги для установок індукційного нагрівання з низькочастотною імпульсною модуляцією та мікропроцесорною системою керування
von: Герасименко, П.Ю.
Veröffentlicht: (2009)

Інтелектуальні сенсори
von: Войтович, І.
Veröffentlicht: (2009)

Створення цифрових бібліотек періодичних видань на основі Greenstone
von: Резніченко, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Волоконно-оптичні технології в моніторингу повітряних ліній електропередачі
von: Лежнюк, П. Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Сравнительный анализ простейших схем индуктивно-емкостных преобразователей по установленной мощности реактивных элементов
von: Кабан, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Защита тягового электропривода рудничного контактного электровоза от сверхнапряжений в питающей контактной сети
von: Синчук, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Обобщенная форма представления функций тригонометрическими рядами для анализа процессов в импульсных системах
von: Новский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Моделирование процесса заряда аккумуляторной батареи
von: Павлов, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Трехфазные трехуровневые автономные инверторы напряжения
von: Гречко, Э.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Вплив температури на оптичні властивості тонких плівок Cu2ZnSnSe4
von: Maystruk, E. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Діагностування деградації замка ущільнювального кільця за втратою робочих газів двигуна внутрішнього згорання
von: Балицький, О.І., et al.
Veröffentlicht: (2014)