Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

• Опубліковано в: : Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Дата: 2012
• Автори: Крючин, А.А., Рубіш, В.М., Костюкевич, С.О., Мінько, В.І., Шепелявий, П.Є., Лисюк, В.О., Костюкевич, К.В., Сурмач, М.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
• Теми: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.