Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

• Veröffentlicht in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Datum: 2012
• ISSN: 1560-9189
• Hauptverfasser: Крючин, А.А., Рубіш, В.М., Костюкевич, С.О., Мінько, В.І., Шепелявий, П.Є., Лисюк, В.О., Костюкевич, К.В., Сурмач, М.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
• Schlagworte: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.