Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии

Получены эпитаксиальные гетероструктуры р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых металлургическая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием дополнительного буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p⁺-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесце...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2012
Hauptverfasser: Вакив, Н.М., Круковский, С.И., Сукач, А.В., Тетёркин, В.В., Мрыхин, И.А., Михащук, Ю.С., Круковский, Р.С.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51666
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии / Н.М. Вакив, С.И. Круковский, А.В. Сукач, В.В. Тетёркин, И.А. Мрыхин, Ю.С. Михащук, Р.С. Круковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 2. — С. 27-30. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859916153178030080
author Вакив, Н.М.
Круковский, С.И.
Сукач, А.В.
Тетёркин, В.В.
Мрыхин, И.А.
Михащук, Ю.С.
Круковский, Р.С.
author_facet Вакив, Н.М.
Круковский, С.И.
Сукач, А.В.
Тетёркин, В.В.
Мрыхин, И.А.
Михащук, Ю.С.
Круковский, Р.С.
citation_txt Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии / Н.М. Вакив, С.И. Круковский, А.В. Сукач, В.В. Тетёркин, И.А. Мрыхин, Ю.С. Михащук, Р.С. Круковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 2. — С. 27-30. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Получены эпитаксиальные гетероструктуры р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых металлургическая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием дополнительного буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p⁺-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесценции таких структур имеют меньшую полуширину и более высокую мощность ИК-излучения, чем те, в которых (формируется р-п-переход в InGaAsP-слое. Гетероструктуры предназначены для создания эффективных ИК-светодиодов с длиной волны в максимуме спектра 1,06 мкм. Отримано епітаксіальні гетеро структури р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в яких металургійна та електрична границі збігаються. Це досягається вирощуванням додаткового буферного шару n-InP і зменшенням часу вирощування емітерного p⁺-InP-шару, сильно легованого цинком. Спектри електролюмінесценції таких структур мають меншу напівширину та більш високу потужність ІЧ-випромінювання, ніж ті, в яких формується n-p-перехід в InGaAsP-шарі. Гетероструктури призначені для створення ефективних ІЧ-світлодіодів з довжиною хвилі в максимумі спектра 1,06 мкм. The double epitaxial р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP heterostructures with coinciding electrical and metallurgical boundaries has been obtained. Such coincidence is achieved due to growing an additional buffer n-InP layer and decreasing the time for growing an emitter p⁺-InP layer heavily doped by zinc. Electroluminescence spectra of such structures have a smaller half-width and the infrared radiation of higher power than the structures in which the n-p-junction is formed in the InGaAsP layer. These heterostructures are designed to create efficient IRLEDs with wavelength of 1,06 μm in spectrum maximum.
first_indexed 2025-12-07T16:05:31Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� ��� ������ � !� ���������������� ���� �������������� �� ��� ��������������� ������� ��� ��������������������� ����������������� ������������������� � �������� �� ��� �� �������� �� "#���� $%% &���� '( �� ����� �)*% �+� ,� -� "�.���/�� $0$� 1234567 8494:��;<5�=4 >,?@>�,0 �,?@$AB C-�-D?%-D-B?�?, !"2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG� )KC?�?,"-$$AB L-�?�?L M)��?*0K$?@ N%)�0�>)) �����O� �� ���������PO Q���R !S2EFG# $2EFH4IJG#$2EFG ���+�� T � � ��U��������� Q��R �� ����� ������ P� �V�� ������ �� �� ������ ��W��X����O� ��V����� ��� �2 � U� �P�2 �P�� � ���� ���#��+ P����V��� ���Y��; +�+ Z�Y[\� $��]��#.�� �� ���� P� ������P�O� ��V��]� �� ���P� ��� T P���O ���� ����( ��� � ��� +�+� �� �� ��O� �� �^����� �� ��� �����2 �� � ����X���+ ������� ��V��^� ��#�O� ^ � ��2 V��� � ��� ��� # ��������#��T ����T �� V� �� ������ �P���� ���������2�� �^������ ��]�� Z[\� ?P��+ �V ����+�_�� � �� ���������P�� EFG`EFH4IJG �� � � ��V+�W��� # �V+����� .����O V����_����� V��O ���P��� ��� ���� EF%H4�a%IJ&G�a& � ��;� P� ��� �, ��� P�� � �^2 �� ����.�+ ������������ ����+� ��� ���� ��2 ��^����� ��.� �� ��� �� ���T_�� +� ������� Q� ���� ��#��� �����WP���� �� ]���� ���bR Z \� �C% !S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG ���P� ��� T �� ���� ��W� P� ��V��]� ^���� ���+�� ��� ]�VO )�2�� ����� ������� � �+���� �������� U�V�^����� ����^�� �� ������ ���������2�� �2 ^����� P� ^���� Z[\� $��+� � �� ��_�� ����O� �������� � ����2 ����� �O��_����� �C% !S2EFG#$2EFH4IJG# $2EFG � ��V��]� �� ���]���� �� �� ������� ��2 ���W��+� �� ���#�O+� �� �T � ���]��+O ���2 ����V��P�+�� � ��� ��� � ���� ��U�V�^����� ��2 ��+� ��� �� ����� EFH4IJG2�]��� �� �+��#.�2 �� ��� �� U����O� ���+���� �� ���X�� ��2 X�T ������O� ���� ���� V�� P� � ���� �O ���2 �� +�����V+�� P����P�X�� � �����PO �V]O2 �^�O� ���� Z�Y��\� ,�W��� ��������^����� ���]��+�� ��� �O2 ��_������ � ��� �� EFG#EFH4IJG �� � � ��2 ��� �������+�� ����������� X����+ �� ������2 ��XO �� � ����O ��� $2EFH4IJG ��� �O��_�2 '()*+,�-�./0�1�201)3�-,�4,�,5(2�5*��*5-�!"�6$7#$�6$89:;7#$�6$7��<��(�(5-=��,�1))*540+,2�1> 451�0?1�2(</1 1,��2�.),��50+,2�(@��A�(� (2�041,�2>�<-51B0<1�0,�� (/()�0�,)3�(4(�C*�,5�(4(�2)(> $�6$7�0�*�,�3D,�0,��<5,�,�0�<-51B0<1�0>�.�0��,5�(4(�!"�6$7�2)(>��20)3�(�),405(<1��(4(�E$���/,��5- .),��5()F�0�,2?,�?00��1�0=�2�5*��*5�0�,F���,�3D*F�/()*D050�*�0�C(),,�<-2(�*F��(B�(2�3�� � 0G)*+,�0>��+,���,��<��(�(5-=��(5�05*,�2>�!�$�/,5,=( �<�6$89:;7�2)(,��H,�,5(2�5*��*5-�/5, �1G�1+,� �-� )>�2(G 1�0>�.��,��0<�-=�� �2<,�( 0( (<�2� )0�(@�<()�-�<��1�20�*�,�2/,��51���IJ����� )F+,<-,�2)(<1K�./0�1�201)3�-,�4,�,5(2�5*��*5-��L0 �(�1G�1>�./0�1�20>��),405(<1�0,��.),��5(� )F�0�,2?,�?0>���(�(+*<2�<0�,)3�(2�3� ����� �������� �+� ������ !S2EFG2��� +� �P�+ W�P��U�V��� ��� ����� Q���R� ����� ����2 ������� �����P� � U��+�������T !Y$2����2 ��P� � �� ����� EFH4IJG2�]��� �� �]�������2 ��� P������ ��#�O� �� �^����� �� ��� )�2 �V��^��� � !2����� �P��� +����+�+� ���� �� ���� ���T+����X��X�� � ]���� P����������2 ��T �]��� # � P����� ����O λ34cd���e +�+ �+�� � �W�P��+�� λ34cd���� +�+� ���� P���� ����O ���� ���T+����X��X�� ��� �� � ��� ��2 �P�����T EFH4IJG � .������ V����_����� V��O MNd���; �, ��� �+���� ��� �d��� �� ���+� ���� ����������� �� ��������XO EFG#EFH4IJG X����+ �]���������� U��+�������� �� �����2 X� !O$2������P� � EFH4IJG ��+������������� �]��� �� ����P� ��� ̂ ��� V��^���� �����P��� ��#2 ���� ����� ������ �C% ��V��� �� ��^ � �� ��2 � P�� �� ��������T � �W�P��+O+ ���^� �O+ Z��\� f��#T ��� � _��� �����P����� ]O�� �����2 .��� ������� ��������� �O��_����� �C% !S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG +� �P�+ M*N� ���P2 ��V��^����� P� �V�� ������ �� �� ������ )�2 ��� �P��P�� � λ34cd���� +�+� � �� ��O� +� ��2 �����^���� �� ��������X� �����P��� ]O � ����2 ��^������ ������������ !"�#��$#%&�����' � N�� ������#�O� ���� EFG � EFH4IJG ����� ��� ���� �� ���+� ��� �� � ��� MNd���; �, Q�d��� �R� �O��_������# +� �P�+ M*N � ���2 U� ���� ����P����� ����� � �V �������� ��P� ^�� � �� !!�!!!! �� ��P��W��� $S2EFG � ���2 X�� ��X��� ���� ����� �⋅���e �+a� � ���� ����2 ���U�^����� ����� �X��� ��]�^�� ��������� � Q���R� ����^�� ��_��� ��P��W�� ����� ��� 2 �� � ��T_�� ���P��� ������#�O� �]��]� �� ��� ����� � �Y�e� +�+� ��+���� ��� ��^��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� ��� ����� P� ����� EFG ����� �e�g>� � P� ����� EFH4IJG Y � �g>� ���� ����V�X� ����� ���_�2 � �� ���# �V ��������WP������ ��� ����2�������� ��� ������ � ����WP��� ��eg>#+��� $��]��P�2 +O� P� �^�� �� ����� � U����O� ���+���� ���2 +�� O Y ��T+���� � � ��]�� Y P�]��� ���# � .�� � ����P V����V��� � ����� � �� +� �P���� ���P��W����� � Z;\� D������O ���O_����# U��2 U���+ � �����#V������+ �������� ����^������ EFG � ���X�� ��X��� ���� ����� Q a;R⋅��� �+a� Q�d��� �R� C�+�����V�X� ��� ����2�������� �������P��� �� ��� W���� �� Y��� ^ � � +�2 �U��� �^�_������ ̂ ���V �����P���O� ]��#�� ��2 P���P� � �^��� ���O a;�g>� $������P� ����� ����P ��^���+ ����_����� ��� $2EFG ������2 ��� # ��P��W�� ��P��� ��� ���# � ��P����O2 _����+ U��U���+ �������� ��P� � ���_��� ��2 ���� ������#�O� ����� ��� ��� �� Y; +�+� ���X�� ��X� ���� ����� ⋅���; �+a�� �� ��P��W2 ��� # ����� � �� �+�#Q,⋅�R ��� �d��� �� $� ]�U����+ �� ���� ������#��+ EFG2���� �O��_�2 ���� ���� ���P����� �$2EFH4IJG QMNd���; �,R � ���X�� ��X��� ���� ����� Q�a�R⋅���; �+a� � ��_���� �Y[ +�+� , � ��^�� � �����#V����2 .��� ����� Z��\ ��������� �V�� ������ QP�2 ��� ��(R �C% !S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG� � ��2 � � _�� ��]� � �����#V������# �V+������ ��2 ������ Q��)R� > X��#T �+��#.��� ��������2 �� X����+ $2EFH4IJG2�]��� � �V ��� !S2EFG7hF� P������ ��#�� U��+������� ]�U���O� ���� $2EFG ��_���� ����� �� +�+ � ���X�� ��X��� ���� ����� �⋅���; �+a�� ���+� ���� ���+ ����2 _����� �+� ������ !S2EFG ��� ]O�� �+��#.�2 �� � � P� �� +��� ��� � �+ ��� ��_��� ��� ��2 � �� �� +�+� � ���X�� ��X� PO��� � ��+ Y Q�Y�R⋅���e �+a�� , ��^�� �� �+�^������ ��� ��2 � � !S2EFG �����#V����� ����� EFYhF � ��2 P��W����+ X���� �b� � � $2EFG Y ^�� O� ��2 P��� ��� �� �O� ���_�P�� ���������# ��+�2 �����+�O+ +� �P�+ � �����P�T_�� ��+��]��2 ]� ��� � � +��U��� �^�_������ ��P���P� ��� �+���� ��� ����� [��g> � �^���� �Y +��� ��������� �V�� ������ �+�^������ ��� �� � � EFG � ��]� O�����# ���P���� ��#�� �� �]��V2 X�� $2 � !2 ��� �����P�+�� �� �� �V�� ����2 �� +�V�� ��� �� �����#V����� ���� ��#� ��2 � � _�� �V ��� ��� � �������� ����� � ����2 ���� ��P���P� � ��� ��.���� �7�7�� >��P� �� ���� ���_�P# �����P��+O� �]��VX�� ��� ��2 � �� [��⋅��a� �+�� P��+� � �������� ��� �� � ��� ++� � ��W��� ����O��� ��T ��������� #� )�2�V��^���� �O��P����# �V �� ����� �]��� � � ��� ��O J����V# ���� !2EFG� ��+���O� ���# 2�+����O� ����� ���� ��� Q*�+R �V+�� ���# ��� ��� � ���+ ��� ��� �+2 ���� ��� �! �� D�����P������ ������O� ����2 ���� V�� P� �� �� ��������X� �����P������# �� ������ �V+�����O� �� ^�� � � � LCX ���# 2U�2 ��P�O� ����� ���� �� Q*�+R� >��� ���#��� ������P������ �+���2�� ��� ^��� �� ��#��� � �]��VX�� �V+�� ���# ��� ��� ���� ���� V�+O2 ���� � � �� 2�+����O� ����� ���� ��� )�2���2 �P��P�� Y ��� ��� � ���+ ���� ���^�+ � ��2 ^�� �� ����+���� )�2�V��^��� �����#V����� ����]������O� ���+�����O� U� �P��P� ���,-. � ��$#%&�����' � D�����P������ ������O� ���� ���� V�� P� �� �����X� �� ��X���#���� ]��#��� ����P�� ���# �� ������ �O����^�� � �O� Q� LCXR ,*B ��� � d �! � Q��%/�(� 1R� D�V��# � O �������+�� � �������V��������# � ����P��� �� P aQaR P� �]�� �O� ���� W���� �+�_��� �iR≤�� ,� ���2 ^�+ �+��� ��� ���� W���� � ��^�� ��� ��� �� RPd���Y��e ,� ^ � ����O.��� .����� V����2 _����� V��O ���P����� EFH4IJG QMNd���; �,R ��� � d ��� � Z��\� j��#.�� V��^��� RP +��� ����P�� #� ��� ���+ ��� �����P��� ��#���� ��2 ��� ������ � �� � ���]���� X�� ���� ������V�2 ����O� � �]��� � ���� ���� ������� V�� P� �� �2 ��� ��� ��O Z��� ��\� %����P��� ��#��� �����2 ������� � �����P�����O� � ��� ���� ��� � ����P� ��� U��+������� ��+�������������� ��� �� �����X� �C%� �� ^ � ���VO��T ,*B �� ���2 ������P��� ,�2����O�� ��� �� +O� �+�_��� � QR≥��� ,R ��]�TP�� � ��P��X� V�����+�� � Pa�dSQRR � ���O_���T� ���+� ���� �� ������� ��������� �^�� �� ���U��� � �� V�����+�� � ]O�� �����P��� �X���� �UU�� ����� ���X�� ��X�� ��2 ����O� ���� ���� V�� P� � ���V���� ���#��� �]2 ��� �� %���^����� V��^���� Q�a�R⋅���� �+a� ���2 V����# �� ��� P�� +��#.� ���X�� ��X�� ����2 ���� V�� P� � $2EFH4IJG2����� ����^�� ,0B �C% ����V��� �� ���� �� C� ��� ��P�� �V �������� �� +� �� �# �P����2 ���� ��#�� �������V���� � � ����P��� �� D��� �� ,*B Q1R � ,0B QCR �C%� �V�� ��������� �� �)�� ��� ��+�� ��� �+���� ��� �� ��� �� ��� �� � � � � R� , ��� ��a� ��a[ ��a� ��ae ��a�� � �� ��� R� +, � � �R ]R �# � � � � �� � * a � 6� 0 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� 6k6YR � P����V��� ���� W���� ��� ≤R≤ ��� ,� %�� � �+ ����^�� �� ���U��� P��� �^�� ��� � ��V��^�O+� ����+� ������� ���P� ��#� ��� � ��V+�W��� �����V�X�� ��V��^�O� +�����V+�� �����WP��� ���� %�� ]���� �O����� ���� 2 W��� � �� +��� �+�_��� ,0B ����P�� � � ��2 ���P��� ��#�O+ ����� �������+ T;� , �����P�2 ����O� �C% ��� ��� ����� ����� ; ?+� N����2 ��+�� ��#�O� ,0B �P���� ���� ��#�� ������2 ��+���T � �O��W����+ ( )�� � ��l�m � �UVR 6T 6 6 VR M 6 WX −⎛ ⎞= + ⎜ ⎟β⎝ ⎠ Q�R %���� ��� ��� T_� � � �+ �O��W���� ���2 �O��� �����#�O� ��� � � ��� Y ������X���2 ��2����+]���X����O�� L����+��#�O� V��^��� ���UU�X��� � �O�� +���� ��� ��� �� Q�� Y ���R⋅��� ��� Rd�� ,� n�� ���T_�� ����� ��2 ������ �� ���� ����P�� ���# �� P�UU����X�2 ��#��+� ����� ������T �]�� ��� �� �� ,0B ��� ���� W���� �+�_��� � ,� �V+�� ���# � ���P�2 ��� Q��;Y�� R⋅��; ?+� $� ��%/�) �����P��� ���� ���#��� ������P�2 ����� U� �^��� �� ��#��� � � Q�0R �C%� �V2 �� ������O� �� ��P�X������ Q�)�R � ���P��2 ���+�� Q�)�R �������� +� ��� �� ����_���� �� � ����O !S2EFG ��� � ,�W�� � +� � #� ̂ � �� ���� � ��� ���� �� ���� !S2EFG ������������ ����W� ��#�O� ������ U� �� �� �� ̂ � �+�� � � � �� � ���+ �V+����� ��� ���� � U� �� �� � � �C% ���P� ��#� ��� � ��� U��+�������� ��2 ��T^� ��#�� �P��+ �� ��X���#�O+ ]��#���+ �� ���� �����P�����O� � ��� ����� , �C%� �V��2 ������O� �� �)�� � � ]��#�� ��V����� �� �� ��������X� !S2EFG`$2EFH4IJG� ���^�+ ����2 ���#�� V�����+�� # U� �� �� � ����� ���� P� �� ���������P��� � �� ��O� ��]�TP�� � �UU�� o.�����V������ ����p Z�[� � \� , � W� ���+ � � �C%� �V�� �������+ �� �)�� U� �� �� ����2 P�� � � !Y$2������P�+ � ���� $2EFH4IJG� ^ � �]q �� � ��� ]���� ����� ���O� ����� �� �� ��������T � �C%� �V�� ������O+ �� �)�� >��2 ��P���� P������������� �����XO ���� ��� *r � �]��� �C% ���P� ��#� ��� � ������V�X�� ��2 ����� �]��� � � ���� EFH4IJG� ?^���P��� ��2 �� ��������� �����X� � �C%� �V�� �������+ �� �)�� ����P�� � � �� �^����� ������X��� ��2 �� ���� � !2���� EFG� �� ��O� �]��V����� � ��2 V��# � � P�UU�V�� X���� �V !S2��� � ]�U��2 �O� ���� $2 ��� � �]��V������+ � ��� ��O !Sa!2EFG� N � ��P ���WP�� � �����P���O+� ��2 ���P����� +�� �� ��O� ����V���� ̂ � ���#�� ��2 ��������O� ���� !S2EFG �� �� � � U� �^��� ��2 ��#�O+� , ���^�� ���#���� ���������� !2��� ���� ��������� �����X� *r ]O�� ]O �P����2 � � �]��� # ]��#.�� V��^���� P���O ����O Q����� ��!� +�+R� � �+� W�� � ���� ��#�� .�2 ����� ���� � *r � EFG2!Y$2������P�� +�W�� �]q ��� # ��#�� U��+��������+ �� �����X� ��2 ����P� ��+������������� �]��� �� -� ����^�� ]O�� ��P ���WP��� �V+������� ,*B� NUU��2 ���� ���X�� ��X� ���� ���� � � �� �]��� � ��� ����� �⋅���� �+a�� >��� �O ���� ���T+����X��X�� �C% �����2 P��O �� ��%/�1� %�� ��� # ��� � ����� ��� ��2 � ��� �� �[�� 0#�+�� +�_��� # �V��^��� Y ���; � ��e +, P� � ��� ��� �V�� ������O� �� �)� � �)� ��� �� � ������ >��� � P� �C%� �V��2 ��������� �� �)�� �P���� � ���� ���������T �]��� # Qλ34cd���� +�+R� ����� ���V�� � +��#2 .�� ����.������ Q����� �� +�,R � �+�� ]���� ��++� ��^�O� ����� �� �� ��������T �� ����2 ��+ �C%� �V�� ��������� �� �)�� N � ��V��#2 � O �]q �� T � �^�� ��+ � ���� ���T+����2 X��X�� o���� ��p ��� ��� � ��� � ��� � ��+2 ������������� �]��� �� , �C%� �V�� �������+ �� �)�� � ����# ��+�����X��� �O.�� ��V��# �2 �+ ̂ ��� �� � � ]��#.� ����.����� ���� �� Q����� e� +�,R� >+�_���� +����+�+� ���� �� � P������������T �]��� # ��� � �+ �]��������� U��+��������+ !a$�������P� � ���� EFH4IJG � �� �^����+� �� �� +� � � �+ ����� 2�#-34�'�� ������.��� ������� ��������� �O��_����� P����O� �� ���������P�� !S2EFG#$2EFH4IJG# $2EFG ��V������ ����^� # � ��� ��O� � �� ��O� �� ��������X� �����P�� � ���� ��^������ N � P�� ���� � �O��_������+ P������ ��#���� ]�2 U������ ��� $2EFG � �+��#.����+ ���+��� �O2 ��_����� �+� ������ !S2EFG2��� � ���#�� ��2 �P� 6�� d M� Y β Y e⋅��a�� 0( 6�� d ⋅��a�� 0( ����� ���� �^���� ������ � M�d;� +�,( ���UU�X��� ���P���#��� �� βd���� D��� �� >��� �O ���� ���T+����X��X�� �C%� �V��2 ������O� �� �)� Q�R � �)� QQR� ��� ��+�� ��� �+���� ��� ��6� � �� �P� ��e ��� ��[ ��� � ��! ��� ��� ��� λ� +�+ �� � �� �P� ��� ���� ��e ��! ��� λ� +�+ D��� �� >��� ���#��� ������P������ ̂ �� �� ��#��� � �C%� �V�� ������O� �� �)� Q�R� �)� QQR� � ��W� !a$2������P� EFG QZR � � � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� ����������� X����+� >��� �O ���� ���T+����2 X��X�� ���� � ��� �� �+�T +��#.�T ����.�2 ���� �� ��������T �� � ��� ���+�� � �� ��O� U��+���� � !Y$�������P � EFH4IJG2����� � ��2 W� ]���� �O����T +�_��� # )�2�V��^��� � )V�� ������O� � ��� ��O +��� �����#V�2 �� #� P� ��VP��� �UU�� ���O� )�2��� �P�2 �P�� � λ34cd���� +�+� )>%?"sK?,0$$A- )>�?r$)�) ��n�]�� *� -� >�� �P��PO�Y L�����7 *�V+� �� � ���e� Ztu=v�9: w� 1� tx�:yz5yz{� |yJ8y}7 w5~34:65:� ���e\ ��"�.�� 0� ��� "T �X��� 0� ,�� %�� �� $� 0� � P�� L�_�O� �P��+�P��O� ��V���O� P��PO �� ������ ���� ���2 ��V+���O� EFH4IJG# EFG2�� ���� ��� �� Qλd���Y��� +�+R ## *�%�Y �����Y �� ��� � ���Y >� ��!�Y��!!� Z��Ju�y I� �=�� �{=:�:J�55 I� ��� G5�u:5F �� I� 5 z9� ## w�G� ����� �y6� ��� � ��� G� ��!�\ ��"T �X��� 0� ,�� %�� �� $� 0�� *� ����� $� ,� � P�� L�_�O� P��P�O� ��V��O Qλd��;Y��e +�+R �� ������ ���+2 +� ��^�O� ���� ���2��V+���O� EFH4IJG#EFG2 �� ���� ���2 �� ��VP��#���� �������^��� ## *�%�Y ���!�Y �� [�� � ���Y >� ��[�Y��[!� Z�{=:�:J�55 I� ��� G5�u:5F �� I�� w�:5Jyx4 �� �� 5 z9� ## w�G� ���!� �y6� [�� � ��� G� ��[�\ [�?���� ��� ?��+� � ��� ?X� L� � P�� ,��������2�� �2 ^����� P� ^����Y "�������P7 $����� �!!�� Z��yJ5 ��� ��43y:y ��� �:J= |� 5 z9� �y6y�yFFy2y�:58u�J�5� z4:8u5�5� ��F5Fk94z7 �4=�4� �!!�\ �0����� $� D�� 0�]����� ,� ,�� L������� �� L� r� O2 �����+����� �O� ���PO� ��� ���O � ��� �+� EF2H42IJ2G Y ���O� +� ����� ���� ������ ������ ## K���]�W�� ���� 2 ����� �������Y �!e�� � e Q���R�Y >� �Ye�� ZIFk5F4 �� ��� I9v�F5F4 �� ��� |465F5F4 �� |� ## h49=v�~uF4{4 �6��:9yFF4{4 :��uF5�4� �!e�� �y6� e Q���R� G� �\ �� ,����#�� $� C�� ,����#�� 0� L�� ,���� �� L� � P�� %���^���� �� ���� ��� �� EFG`EFH4IJG`EFG +� �P�+ W�P2 ��U�V��� ��� ����� � ��VP��#��� ����� ������� ��� �����2 ��������� ##�)V�� D0$� $������� +� ���Y ���;�Y �� [�� � ;�Y >� ;; Y;e�� Z�4J56��x �� H�� �4J56��x I� |�� �565J �� |� 5 z9� ## E~x� �I�� ��y9k4F� 34:�9� ���;� �y6� [�� � ;� G� ;; \ ;����������� >� )� ��+�������2����������O� ��� ��2 ����#�O� � ��� ��O EFG#EFH4IJG P� �� ����� ������ ## ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ����Y �����Y � ��Y >� �;Y��� Z�9=�yxJ�55 t� E��## ���uFy6yk5{4 5 �yFJ:9=59yx4F5� x 16��:9yFFy5 I��494:=9�� ����� � �� G� �;\ e� G9y8u4~�yx4 ��� �J}46z ��� h4x4z56 �� �: 46� �u4948:�952 ~4:5yF y� EFG 4Fz H4EFIJG 64{�9J �9��494:�z v{ 65�=5z2�u4J� ��5:4c{ =J5Fk uy635=3 zy�5Fk 4Fz k�::�95Fk ## |4:�9546 t85�F8� 4Fz 1Fk5F��95Fk� Q�R�Y �!!;�Y �y6� [[� � ��Y G� ���Y���� !� C�������� 0� ��� ��+���� 0� ,�� n+�P $� L� D�P2 ��V�+��#�O� ���+�� O � ��������� I�� � ���]���� �� �� ������ ## *�%�Y �����Y �� �;� � e�Y >� !��Y![�� ZHy9�6�Fy� I� ��� �434F5F I� ��� tu35z: �� |� ## w�G� ����� �y6� �;� � e� G� !��\ ��� ����^��X��� L� ,�� > ����� ,� 0� ���+���� $� C� ������#��2����+]���X���O� ��� � ���P���#�O� �� ���� 2 ��� ���� EFH4IJG#EFG ## *�%�Y �!![�Y �e� � ��Y >� ���;Y����� Z�4948u�x:J�x4 |� ��� t:94�uyx �� I� �I9�3�F�y �� H� ## w�G� �!![� �y6� �e� � �� G� ���;\ ��� �������#��� >� ��� >���^ 0� ,�� �� #����� ,� ,� � ��� ,��� ���� � ��P������ �� ���������P�� !"2EFG#$2EFH4IJG# $2EFG� � ��+���� V� ��V��� ��������^��� ��W�+�� ## ?� �2 ���� ������ � ���������P������ �������Y �����Y ,O�� [��Y >� ;�Y;;� Z�9=�yxJ��55 t� E�� t=�48u I� ��� ��:�y9�5F �� �� :4 5F� ## ��:y�6��:9yF5�4 5 �y6=�9yxyzF5�yx4{4 :��uF5�4� ����� EJJ� [�� G� ;�\ ��� j��+�� "� >� -+��� �O� +� �PO �����P����� ����2 �����P������Y "�7 $����� �!;�� Z��934F �� t� 13�yJ:F{� 3�:yz{ 5JJ6�zyx4F5{4 �y6=�9yxyzF5�yx� ��F5Fk94z7 �4=�4� �!;�\ ��� ���� �� ���� ?� ,�� L�V��� ?� 0� ,�� ��� �����P�2 �� ��#���� ����� ������ P��P� n� �� �� ��� �UU�� ��2 ��T �+��� # ## *�%�Y �!e��Y �� �;� � ��Y >� �� Y���� Z�yFJ:4F:5Fyx �� ��� |�~95F �� I� ## w�G� �!e�� �y6� �;� � �� G� �� \ �[� L���� 0�� *��� �� C� ���������PO � ������PO +�2 ���2���������P����Y L�����7 L��� �!; � Z|56FJ I�� wy5�u: �� H�:�9y��9��uyz{ 5 ��9��uyz{ 3�:4662�y6=�9yxyzF5�� |yJ8y}7 |59� �!; \ � � n��+� j� "�� %����� D� �� %��������P�����O� �� ���������PO�Y L�����7 >��� ���� ��P��� �!;!� Ztu4934 �� ��� G=9y�u5: �� �� Gy6=�9yxyzF5�yx{� k�:�9y��9��uyz{� |yJ2 8y}7 tyx�:J�y� 94z5y� �!;!\ �1�1�/(2�*/),�0>�5*�(/020 <�5, 1�?0F�I[�IZ�QI�Q�4� ��������������������������� �4�5x ��|�� �9=�yxJ�55 t�E�� t=�48u I���� ��:{y9�5F ����� |9{�u5F E�I�� |5�u4Ju8u=� �=�t�� �9=�yxJ�55 ��t� 567896:;9<� 7=� >7?@A9��B�CD5���CDEFG<5� ��CD5�H9:967I?DJ:;7D<�7@:F;D9>�@K�L5M�N9:H7>/ \V&]^_`;K V!ab9%a9c�dVbV_^;b_efbe_V;��cagea`�!d9;V V!ab9%&��̀ ^!a$N��VcVfb_^ceha$V;fV$fV��!d^b^;V$;abaiab&� �u� zy=v6� ��5:4c546 !S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG�u�:�9y2 J:9=8:=9�J }5:u 8y5F85z5Fk �6�8:95846�4Fz 3�:466=9k5846 vy=Fz495�J u4J v��F yv:45F�z��t=8u 8y5F85z�F8��5J 48u5�x�z�z=� :y k9y}5Fk 4F�4zz5:5yF46 v=���9�$2EFG�64{�9 4Fz z�89�4J5Fk :u� :53���y9 k9y}5Fk 4F �35::�9 !S2EFG 64{�9 u�4x56{ zy��z�v{ ~5F8� 16�8:9y6=35F�J8�F8� J��8:94�y� J=8u J:9=8:=9�J�u4x� 4 J3466�9�u46�2}5z:u 4Fz�:u� 5F�949�z 94z54:5yF y� u5ku�9 �y}�9�:u4F :u� J:9=8:=9�J�5F }u58u :u��!Y$2�=F8:5yF�5J �y93�z�5F :u��EFH4IJG�64{�9���u�J� u�:�9yJ:9=8:=9�J�49� z�J5kF�z :y 89�4:�����585�F:�E� �1�J�}5:u }4x�6�Fk:u y� �����µ3 5F J��8:9=3 34c53=3� ��945F�� �x5x� tG1 o�494:p( �5�x� �� 1� �4Ju�49{yx EFJ:5:=:� y� t�358yFz=8:y9 Gu{J58J y� �It�� ���������������������������� ,���� $� L�� �������#��� >� ��� >���^ 0� ,�� �� #2 ����� ,� ,�� L���5� �� ?�� L���_�� �� >�� ���2 ����#��� D� >� *-�% �O!% P�&!"OPQ'�R�S� ��!&���� R!"PO��B�CD5���CDEFG<5���CD5T�O�S! !O-�'�R���� !"!���P"#!U��'!V��&P �#%PV/ )F+(<j� 2)(<17 ,/j�1�2j1)3�j� 4,�,5(2�5*��*50� 5j �(�1G�1�,/j�1�2j>��),4*<1��>��,),��5()F�j�,2� ?,�?j>���(�(+*�)0<j2�3� ? ��+��� ��� ������#�� �� ���� ��� ��� !S2EFG# $2EFH4IJG#$2EFG� � ��� +� ��������� � ���� ��^2 �� �����X� V]���T #� � f� P�� ��� #� ����_����2 � + P�P� ������ ]�U������ .��� $2EFG � V+��.��2 � + ̂ ��� ����_����� �+� ������ !S2EFG2.���� ���#2 �� ���������� X����+� >��� �� ���� ���T+����2 X��X�� ���� � ��� �� +�T # +��.� �����.����� � ]��#. ������ �� �W��� # �r2�����+��T���� � ��W �� � ��� U��+�� #� !Y$2������P � EFH4IJG2.���� C� ���� ��� ��� ���V��^��� P� � ������ �U�� ��2 ��� �r2��� ��P��P�� V P��W���T ����� � +����+�+� ���� �� ���� +�+� �������� +� "#���� $,% o���� p( + ����� ��� � � U�V��� ����������P����� �+� ,� �� "�.���#��� $0$��
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51666
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T16:05:31Z
publishDate 2012
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Вакив, Н.М.
Круковский, С.И.
Сукач, А.В.
Тетёркин, В.В.
Мрыхин, И.А.
Михащук, Ю.С.
Круковский, Р.С.
2013-12-06T14:44:42Z
2013-12-06T14:44:42Z
2012
Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии / Н.М. Вакив, С.И. Круковский, А.В. Сукач, В.В. Тетёркин, И.А. Мрыхин, Ю.С. Михащук, Р.С. Круковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 2. — С. 27-30. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51666
621.315.592
Получены эпитаксиальные гетероструктуры р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых металлургическая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием дополнительного буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p⁺-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесценции таких структур имеют меньшую полуширину и более высокую мощность ИК-излучения, чем те, в которых (формируется р-п-переход в InGaAsP-слое. Гетероструктуры предназначены для создания эффективных ИК-светодиодов с длиной волны в максимуме спектра 1,06 мкм.
Отримано епітаксіальні гетеро структури р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в яких металургійна та електрична границі збігаються. Це досягається вирощуванням додаткового буферного шару n-InP і зменшенням часу вирощування емітерного p⁺-InP-шару, сильно легованого цинком. Спектри електролюмінесценції таких структур мають меншу напівширину та більш високу потужність ІЧ-випромінювання, ніж ті, в яких формується n-p-перехід в InGaAsP-шарі. Гетероструктури призначені для створення ефективних ІЧ-світлодіодів з довжиною хвилі в максимумі спектра 1,06 мкм.
The double epitaxial р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP heterostructures with coinciding electrical and metallurgical boundaries has been obtained. Such coincidence is achieved due to growing an additional buffer n-InP layer and decreasing the time for growing an emitter p⁺-InP layer heavily doped by zinc. Electroluminescence spectra of such structures have a smaller half-width and the infrared radiation of higher power than the structures in which the n-p-junction is formed in the InGaAsP layer. These heterostructures are designed to create efficient IRLEDs with wavelength of 1,06 μm in spectrum maximum.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
Властивості подвійних гетеропереходів p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, виготовлених методом рідкофазної епітаксії
Properties of double p⁺+-InP/n-InGaAsP/n-InP heterojunctions obtained by LPE method
Article
published earlier
spellingShingle Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
Вакив, Н.М.
Круковский, С.И.
Сукач, А.В.
Тетёркин, В.В.
Мрыхин, И.А.
Михащук, Ю.С.
Круковский, Р.С.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
title_alt Властивості подвійних гетеропереходів p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, виготовлених методом рідкофазної епітаксії
Properties of double p⁺+-InP/n-InGaAsP/n-InP heterojunctions obtained by LPE method
title_full Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
title_fullStr Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
title_full_unstemmed Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
title_short Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
title_sort свойства двойных гетеропереходов p⁺-inp/n-ingaasp/n-inp, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51666
work_keys_str_mv AT vakivnm svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT krukovskiisi svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT sukačav svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT teterkinvv svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT mryhinia svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT mihaŝukûs svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT krukovskiirs svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii
AT vakivnm vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT krukovskiisi vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT sukačav vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT teterkinvv vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT mryhinia vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT mihaŝukûs vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT krukovskiirs vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí
AT vakivnm propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod
AT krukovskiisi propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod
AT sukačav propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod
AT teterkinvv propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod
AT mryhinia propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod
AT mihaŝukûs propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod
AT krukovskiirs propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod