Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии
Получены эпитаксиальные гетероструктуры р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых металлургическая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием дополнительного буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p⁺-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесце...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51666 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии / Н.М. Вакив, С.И. Круковский, А.В. Сукач, В.В. Тетёркин, И.А. Мрыхин, Ю.С. Михащук, Р.С. Круковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 2. — С. 27-30. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859916153178030080 |
|---|---|
| author | Вакив, Н.М. Круковский, С.И. Сукач, А.В. Тетёркин, В.В. Мрыхин, И.А. Михащук, Ю.С. Круковский, Р.С. |
| author_facet | Вакив, Н.М. Круковский, С.И. Сукач, А.В. Тетёркин, В.В. Мрыхин, И.А. Михащук, Ю.С. Круковский, Р.С. |
| citation_txt | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии / Н.М. Вакив, С.И. Круковский, А.В. Сукач, В.В. Тетёркин, И.А. Мрыхин, Ю.С. Михащук, Р.С. Круковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 2. — С. 27-30. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Получены эпитаксиальные гетероструктуры р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых металлургическая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием дополнительного буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p⁺-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесценции таких структур имеют меньшую полуширину и более высокую мощность ИК-излучения, чем те, в которых (формируется р-п-переход в InGaAsP-слое. Гетероструктуры предназначены для создания эффективных ИК-светодиодов с длиной волны в максимуме спектра 1,06 мкм.
Отримано епітаксіальні гетеро структури р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в яких металургійна та електрична границі збігаються. Це досягається вирощуванням додаткового буферного шару n-InP і зменшенням часу вирощування емітерного p⁺-InP-шару, сильно легованого цинком. Спектри електролюмінесценції таких структур мають меншу напівширину та більш високу потужність ІЧ-випромінювання, ніж ті, в яких формується n-p-перехід в InGaAsP-шарі. Гетероструктури призначені для створення ефективних ІЧ-світлодіодів з довжиною хвилі в максимумі спектра 1,06 мкм.
The double epitaxial р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP heterostructures with coinciding electrical and metallurgical boundaries has been obtained. Such coincidence is achieved due to growing an additional buffer n-InP layer and decreasing the time for growing an emitter p⁺-InP layer heavily doped by zinc. Electroluminescence spectra of such structures have a smaller half-width and the infrared radiation of higher power than the structures in which the n-p-junction is formed in the InGaAsP layer. These heterostructures are designed to create efficient IRLEDs with wavelength of 1,06 μm in spectrum maximum.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:05:31Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
���
������ � !�
����������������
����
��������������
��
���
��������������� �������
���
���������������������
����������������� ������������������� �
��������
��
���
��
��������
��
"#����
$%%
&����
'(
��
�����
�)*%
�+�
,�
-�
"�.���/��
$0$�
1234567
8494:��;<5�=4
>,?@>�,0
�,?@$AB
C-�-D?%-D-B?�?,
!"2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG�
)KC?�?,"-$$AB
L-�?�?L
M)��?*0K$?@
N%)�0�>))
�����O�
��
���������PO
Q���R
!S2EFG#
$2EFH4IJG#$2EFG
���+�� T
�
�
��U���������
Q��R
��
�����
������
P�
�V��
������
��
��
������
��W��X����O�
��V�����
���
�2
�
U�
�P�2
�P��
�
����
���#��+
P����V���
���Y��;
+�+
Z�Y[\�
$��]��#.��
��
����
P�
������P�O�
��V��]�
��
���P�
��� T
P���O
����
����(
���
�
���
+�+�
��
��
��O�
��
�^�����
��
���
�����2
��
�
����X���+
�������
��V��^�
��#�O�
^
�
��2
V��� �
���
���
#
��������#��T
����T
�� V�
��
������
�P����
���������2��
�^������
��]��
Z[\�
?P��+
�V
����+�_��
�
��
���������P��
EFG`EFH4IJG
�� �
�
��V+�W���
#
�V+�����
.����O
V����_�����
V��O
���P���
���
����
EF%H4�a%IJ&G�a&
�
��;�
P�
���
�,
���
P��
�
�^2
��
����.�+
������������
����+�
���
����
��2
��^�����
��.�
��
���
��
���T_��
+�
�������
Q�
����
��#���
�����WP����
��
]����
���bR
Z \�
�C%
!S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG
���P�
��� T
��
����
��W�
P�
��V��]�
^����
���+��
���
]�VO
)�2��
�����
�������
�
�+����
��������
U�V�^�����
����^��
��
������
���������2��
�2
^�����
P�
^����
Z[\�
$��+�
�
��
��_��
����O�
��������
�
����2
�����
�O��_�����
�C%
!S2EFG#$2EFH4IJG#
$2EFG
�
��V��]�
��
���]����
��
��
�������
��2
���W��+�
��
���#�O+�
��
�T
�
���]��+O
���2
����V��P�+��
�
���
���
�
����
��U�V�^�����
��2
��+�
���
��
�����
EFH4IJG2�]���
��
�+��#.�2
��
��� ��
U����O�
���+����
��
���X��
��2
X�T
������O�
����
����
V�� P�
�
����
�O ���2
��
+�����V+��
P����P�X��
�
�����PO
�V]O2
�^�O�
����
Z�Y��\�
,�W���
��������^�����
���]��+��
���
�O2
��_������
�
���
��
EFG#EFH4IJG
�� �
�
��2
���
�������+��
�����������
X����+
��
������2
��XO
��
�
����O
���
$2EFH4IJG
���
�O��_�2
'()*+,�-�./0�1�201)3�-,�4,�,5(2�5*��*5-�!"�6$7#$�6$89:;7#$�6$7��<��(�(5-=��,�1))*540+,2�1>
451�0?1�2(</1
1,��2�.),��50+,2�(@��A�(�
(2�041,�2>�<-51B0<1�0,��
(/()�0�,)3�(4(�C*�,5�(4(�2)(>
$�6$7�0�*�,�3D,�0,��<5,�,�0�<-51B0<1�0>�.�0��,5�(4(�!"�6$7�2)(>��20)3�(�),405(<1��(4(�E$���/,��5-
.),��5()F�0�,2?,�?00��1�0=�2�5*��*5�0�,F���,�3D*F�/()*D050�*�0�C(),,�<-2(�*F��(B�(2�3��
�
0G)*+,�0>��+,���,��<��(�(5-=��(5�05*,�2>�!�$�/,5,=(
�<�6$89:;7�2)(,��H,�,5(2�5*��*5-�/5,
�1G�1+,�
�-�
)>�2(G
1�0>�.��,��0<�-=��
�2<,�(
0(
(<�2�
)0�(@�<()�-�<��1�20�*�,�2/,��51���IJ�����
)F+,<-,�2)(<1K�./0�1�201)3�-,�4,�,5(2�5*��*5-��L0
�(�1G�1>�./0�1�20>��),405(<1�0,��.),��5(�
)F�0�,2?,�?0>���(�(+*<2�<0�,)3�(2�3�
�����
��������
�+�
������
!S2EFG2���
+�
�P�+
W�P��U�V���
���
�����
Q���R�
�����
����2
�������
�����P�
�
U��+�������T
!Y$2����2
��P�
�
��
�����
EFH4IJG2�]���
��
�]�������2
���
P������
��#�O�
��
�^�����
��
���
)�2
�V��^���
�
!2�����
�P���
+����+�+�
����
��
����
���T+����X��X��
�
]����
P����������2
��T
�]���
#
�
P�����
����O
λ34cd���e
+�+
�+��
�
�W�P��+��
λ34cd����
+�+�
����
P����
����O
����
���T+����X��X��
���
��
�
���
��2
�P�����T
EFH4IJG
�
.������
V����_�����
V��O
MNd���;
�,
���
�+����
���
�d���
��
���+�
����
�����������
��
��������XO
EFG#EFH4IJG
X����+
�]����������
U��+��������
��
�����2
X�
!O$2������P�
�
EFH4IJG
��+�������������
�]���
��
����P�
���
̂ ���
V��^����
�����P���
��#2
����
�����
������
�C%
��V���
��
��^
�
��
��2
� P��
��
��������T
�
�W�P��+O+
���^�
�O+
Z��\�
f��#T
���
� _���
�����P�����
]O��
�����2
.���
�������
���������
�O��_�����
�C%
!S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG
+�
�P�+
M*N�
���P2
��V��^�����
P�
�V��
������
��
��
������
)�2
���
�P��P��
�
λ34cd����
+�+�
�
��
��O�
+�
��2
�����^����
��
��������X�
�����P���
]O
�
����2
��^������
������������ !"�#��$#%&�����' �
N��
������#�O�
����
EFG
�
EFH4IJG
�����
���
����
��
���+�
���
��
�
���
MNd���;
�,
Q�d���
�R�
�O��_������#
+�
�P�+
M*N
�
���2
U�
����
����P�����
�����
�
�V
��������
��P�
^��
�
��
!!�!!!!
��
��P��W���
$S2EFG
�
���2
X��
��X���
����
�����
�⋅���e
�+a�
�
����
����2
���U�^�����
�����
�X���
��]�^��
���������
�
Q���R�
����^��
��_���
��P��W��
�����
���
2
��
�
��T_��
���P���
������#�O�
�]��]�
��
���
�����
� �Y�e�
+�+�
��+����
���
��^���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
���
�����
P�
�����
EFG
�����
�e�g>�
�
P�
�����
EFH4IJG
Y
� �g>�
����
����V�X�
�����
���_�2
�
�� ���#
�V
��������WP������
���
����2��������
���
������
�
����WP���
��eg>#+���
$��]��P�2
+O�
P�
�^��
��
�����
�
U����O�
���+����
���2
+��
O
Y
��T+����
�
�
��]��
Y
P�]��� ���#
�
.��
�
����P
V����V���
�
�����
�
��
+�
�P����
���P��W�����
�
Z;\�
D������O
���O_����#
U��2
U���+
�
�����#V������+
��������
����^������
EFG
�
���X��
��X���
����
�����
Q a;R⋅���
�+a�
Q�d���
�R�
C�+�����V�X�
���
����2��������
�������P���
��
���
W����
�� Y���
^
�
�
+�2
�U���
�^�_������
̂ ���V
�����P���O�
]��#��
��2
P���P�
�
�^���
���O
a;�g>�
$������P�
�����
����P
��^���+
����_�����
���
$2EFG
������2
���
#
��P��W��
��P���
��� ���#
�
��P����O2
_����+
U��U���+
��������
��P� �
���_���
��2
����
������#�O�
�����
���
��� ��
Y;
+�+�
���X��
��X�
����
�����
⋅���;
�+a��
��
��P��W2
���
#
�����
� ��
�+�#Q,⋅�R
���
�d���
��
$�
]�U����+
��
����
������#��+
EFG2����
�O��_�2
����
����
���P����� �$2EFH4IJG
QMNd���;
�,R
�
���X��
��X���
����
�����
Q�a�R⋅���;
�+a�
�
��_����
�Y[
+�+�
,
�
��^��
�
�����#V����2
.���
�����
Z��\
���������
�V��
������
QP�2
���
��(R
�C%
!S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG�
�
��2
�
� _��
��]�
�
�����#V������#
�V+������
��2
������
Q��)R�
>
X��#T
�+��#.���
��������2
��
X����+
$2EFH4IJG2�]���
�
�V
���
!S2EFG7hF�
P������
��#��
U��+�������
]�U���O�
����
$2EFG
��_����
�����
��
+�+
�
���X��
��X���
����
�����
�⋅���;
�+a��
���+�
����
���+
����2
_�����
�+�
������
!S2EFG
���
]O��
�+��#.�2
��
�
�
P�
��
+���
���
�
�+
���
��_���
���
��2
� ��
��
+�+�
�
���X��
��X�
PO���
�
��+
Y
Q�Y�R⋅���e
�+a��
,
��^��
��
�+�^������
���
��2
�
�
!S2EFG
�����#V�����
�����
EFYhF
�
��2
P��W����+
X����
�b�
�
�
$2EFG
Y
^��
O�
��2
P���
���
��
�O�
���_�P��
���������#
��+�2
�����+�O+
+�
�P�+
�
�����P�T_��
��+��]��2
]�
���
�
�
+��U���
�^�_������
��P���P�
���
�+����
���
�����
[��g>
�
�^����
�Y
+���
���������
�V��
������
�+�^������
���
��
�
�
EFG
�
��]�
O�����#
���P����
��#��
��
�]��V2
X��
$2
�
!2
���
�����P�+��
��
��
�V��
����2
��
+�V��
���
��
�����#V�����
����
��#�
��2
�
� _��
�V
��� ���
�
��������
�����
�
����2
����
��P���P�
�
���
��.����
�7�7��
>��P�
��
����
���_�P#
�����P��+O�
�]��VX��
���
��2
� ��
[��⋅��a�
�+��
P��+�
�
��������
���
��
�
���
++�
�
��W���
����O���
��T
���������
#�
)�2�V��^����
�O��P����#
�V
��
�����
�]���
�
�
���
��O
J����V#
����
!2EFG�
��+���O�
���#
2�+����O�
�����
����
���
Q*�+R
�V+�� ���#
���
���
� ���+
���
���
�+2
����
���
�!
��
D�����P������
������O�
����2
����
V�� P�
��
��
��������X�
�����P������#
��
������
�V+�����O�
��
^��
�
�
�
LCX
���#
2U�2
��P�O�
�����
����
��
Q*�+R�
>���
���#���
������P������
�+���2��
���
^���
��
��#���
�
�]��VX��
�V+�� ���#
���
���
����
����
V�+O2
���� �
�
��
2�+����O�
�����
����
���
)�2���2
�P��P��
Y
���
���
� ���+
����
���^�+
�
��2
^��
��
����+����
)�2�V��^���
�����#V�����
����]������O�
���+�����O�
U�
�P��P�
���,-. � ��$#%&�����' �
D�����P������
������O�
����
����
V�� P�
��
�����X�
��
��X���#����
]��#���
����P�� ���#
��
������
�O����^��
�
�O�
Q�
LCXR
,*B
���
�
d
�!
�
Q��%/�(�
1R�
D�V��#
�
O
�������+��
�
�������V��������#
�
����P���
��
P aQaR
P�
�]��
�O�
���� W����
�+�_���
�iR≤��
,�
���2
^�+
�+���
���
���� W����
�
��^��
���
��� ��
RPd���Y��e
,�
^
�
����O.���
.�����
V����2
_�����
V��O
���P�����
EFH4IJG
QMNd���;
�,R
���
�
d
���
�
Z��\�
j��#.��
V��^���
RP
+���
����P��
#�
��� ���+
���
�����P���
��#����
��2
���
������ �
��
�
���]����
X��
����
������V�2
����O�
�
�]���
�
����
����
�������
V�� P�
��
�2
���
���
��O
Z���
��\�
%����P���
��#���
�����2
�������
�
�����P�����O�
�
���
����
���
�
����P�
���
U��+�������
��+��������������
���
��
�����X�
�C%�
��
^
�
���VO��T
,*B
��
���2
������P���
,�2����O��
���
�� +O�
�+�_��� �
QR≥���
,R
��]�TP��
�
��P��X�
V�����+��
�
Pa�dSQRR
�
���O_���T�
���+�
����
��
�������
���������
�^��
��
���U���
�
��
V�����+��
�
]O��
�����P���
�X����
�UU��
�����
���X��
��X��
��2
����O�
����
����
V�� P�
�
���V����
���#���
�]2
���
��
%���^�����
V��^����
Q�a�R⋅����
�+a�
���2
V����#
��
��� P��
+��#.�
���X��
��X��
����2
����
V�� P�
�
$2EFH4IJG2�����
����^��
,0B
�C%
����V���
��
����
��
C�
���
��P��
�V
��������
�� +�
��
�#
�P����2
����
��#��
�������V����
�
�
����P���
��
D���
��
,*B
Q1R
�
,0B
QCR
�C%�
�V��
���������
��
�)��
���
��+��
���
�+����
���
��
���
��
���
��
�
�
�
�
R�
,
���
��a�
��a[
��a�
��ae
��a��
�
��
���
R�
+,
�
�
�R
]R
�#
�
� �
�
��
�
*
a
�
6�
0
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
6k6YR
�
P����V���
���� W����
��� ≤R≤
���
,�
%��
�
�+
����^��
��
���U���
P���
�^��
���
�
��V��^�O+�
����+�
�������
���P�
��#�
���
�
��V+�W���
�����V�X��
��V��^�O�
+�����V+��
�����WP���
����
%��
]����
�O�����
���� 2
W��� �
�� +���
�+�_���
,0B
����P�� �
�
��2
���P���
��#�O+
�����
�������+
T;�
,
�����P�2
����O�
�C%
���
���
�����
�����
;
?+�
N����2
��+��
��#�O�
,0B
�P����
����
��#��
������2
��+���T
�
�O��W����+
( )�� � ��l�m � �UVR 6T
6 6 VR M 6
WX
−⎛ ⎞= + ⎜ ⎟β⎝ ⎠
Q�R
%����
���
��� T_�
�
�
�+
�O��W����
���2
�O���
�����#�O�
���
�
�
���
Y
������X���2
��2����+]���X����O��
L����+��#�O�
V��^���
���UU�X���
�
�O�� +����
���
��� ��
Q�� Y
���R⋅���
���
Rd��
,�
n��
���T_��
�����
��2
������
��
����
����P�� ���#
��
P�UU����X�2
��#��+�
�����
������T
�]��
���
��
��
,0B
���
���� W����
�+�_���
�
,�
�V+�� ���#
�
���P�2
���
Q��;Y�� R⋅��;
?+�
$�
��%/�)
�����P���
����
���#���
������P�2
�����
U�
�^���
��
��#���
�
�
Q�0R
�C%�
�V2
��
������O�
��
��P�X������
Q�)�R
�
���P��2
���+��
Q�)�R
�������� +�
���
��
����_����
��
�
����O
!S2EFG
��� �
,�W��
�
+�
�
#�
̂
�
��
����
�
���
����
��
����
!S2EFG
������������
����W�
��#�O�
������
U�
��
��
��
̂
�
�+��
�
�
�
��
�
���+
�V+�����
��� ����
�
U�
��
��
�
�
�C%
���P�
��#�
���
�
���
U��+��������
��2
��T^�
��#��
�P��+
��
��X���#�O+
]��#���+
��
����
�����P�����O�
�
���
�����
,
�C%�
�V��2
������O�
��
�)��
�
�
]��#��
��V�����
��
��
��������X�
!S2EFG`$2EFH4IJG�
���^�+
����2
���#��
V�����+��
#
U�
��
��
�
�����
����
P�
��
���������P���
�
��
��O�
��]�TP��
�
�UU��
o.�����V������
����p
Z�[�
� \�
,
�
W�
���+ �
�
�C%�
�V��
�������+
��
�)��
U�
��
��
����2
P�� �
�
!Y$2������P�+
�
����
$2EFH4IJG�
^
�
�]q �� �
���
]����
�����
���O�
�����
��
��
��������T
�
�C%�
�V��
������O+
��
�)��
>��2
��P����
P�������������
�����XO
����
���
*r
�
�]���
�C%
���P�
��#�
���
�
������V�X��
��2
�����
�]���
�
�
����
EFH4IJG�
?^���P���
��2
��
���������
�����X�
�
�C%�
�V��
�������+
��
�)��
����P�� �
�
��
�^�����
������X���
��2
��
����
�
!2����
EFG�
��
��O�
�]��V�����
�
��2
V��#
�
�
P�UU�V��
X����
�V
!S2���
�
]�U��2
�O�
����
$2
���
�
�]��V������+
�
���
��O
!Sa!2EFG�
N
�
��P
���WP��
�
�����P���O+�
��2
���P����� +��
��
��O�
����V����
̂
�
���#��
��2
��������O�
����
!S2EFG
��
�� �
�
U�
�^���
��2
��#�O+�
,
���^��
���#����
����������
!2���
����
���������
�����X�
*r
]O��
]O
�P����2
�
�
�]���
#
]��#.��
V��^����
P���O
����O
Q�����
��!�
+�+R�
�
�+�
W��
�
����
��#��
.�2
�����
����
�
*r
�
EFG2!Y$2������P��
+�W��
�]q ���
#
��#��
U��+��������+
��
�����X�
��2
����P�
��+�������������
�]���
��
-�
����^��
]O��
��P
���WP���
�V+�������
,*B�
NUU��2
����
���X��
��X�
����
����
�
�
��
�]���
�
���
�����
�⋅����
�+a��
>���
�O
����
���T+����X��X��
�C%
�����2
P��O
��
��%/�1�
%��
���
#
���
� �����
���
��2
�
��� ��
�[��
0#�+��
+�_���
#
�V��^���
Y
���;
�
��e
+,
P�
�
���
���
�V��
������O�
��
�)�
�
�)�
���
��
�
������
>���
�
P�
�C%�
�V��2
���������
��
�)��
�P����
�
����
���������T
�]���
#
Qλ34cd����
+�+R�
�����
���V��
�
+��#2
.��
����.������
Q�����
��
+�,R
�
�+��
]����
��++�
��^�O�
�����
��
��
��������T
��
����2
��+
�C%�
�V��
���������
��
�)��
N
�
��V��#2
�
O
�]q �� T
�
�^��
��+
�
����
���T+����2
X��X��
o����
��p
���
���
�
���
� ���
�
��+2
�������������
�]���
��
,
�C%�
�V��
�������+
��
�)��
�
����#
��+�����X���
�O.��
��V��#
�2
�+
̂ ���
�� �
�
]��#.�
����.�����
����
��
Q�����
e�
+�,R�
>+�_����
+����+�+�
����
��
�
P������������T
�]���
#
���
�
�+
�]���������
U��+��������+
!a$�������P�
�
����
EFH4IJG
�
��
�^����+�
��
�� +�
�
�
�+
�����
2�#-34�'��
������.���
�������
���������
�O��_�����
P����O�
��
���������P��
!S2EFG#$2EFH4IJG#
$2EFG
��V������
����^�
#
�
���
��O�
�
��
��O�
��
��������X�
�����P��
�
����
��^������
N
�
P��
����
�
�O��_������+
P������
��#����
]�2
U������
���
$2EFG
�
�+��#.����+
���+���
�O2
��_�����
�+�
������
!S2EFG2��� �
���#��
��2
�P�
6��
d
M�
Y
β Y
e⋅��a��
0(
6��
d
⋅��a��
0(
�����
����
�^����
������ �
M�d;�
+�,(
���UU�X���
���P���#���
��
βd����
D���
��
>���
�O
����
���T+����X��X��
�C%�
�V��2
������O�
��
�)�
Q�R
�
�)�
QQR�
���
��+��
���
�+����
���
��6�
�
��
�P�
��e
���
��[
���
�
��!
���
���
���
λ�
+�+
��
�
��
�P�
���
����
��e
��!
���
λ�
+�+
D���
��
>���
���#���
������P������
̂ ��
��
��#���
�
�C%�
�V��
������O�
��
�)�
Q�R�
�)�
QQR�
�
��W�
!a$2������P�
EFG
QZR
�
�
�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
�����������
X����+�
>���
�O
����
���T+����2
X��X��
����
�
���
��
�+�T
+��#.�T
����.�2
����
��
��������T
��
�
���
���+��
�
��
��O�
U��+����
�
!Y$�������P
�
EFH4IJG2�����
�
��2
W�
]����
�O����T
+�_���
#
)�2�V��^��� �
)V��
������O�
�
���
��O
+���
�����#V�2
��
#�
P�
��VP���
�UU��
���O�
)�2���
�P�2
�P��
�
λ34cd����
+�+�
)>%?"sK?,0$$A-
)>�?r$)�)
��n�]��
*�
-�
>��
�P��PO�Y
L�����7
*�V+�
��
�
���e�
Ztu=v�9:
w�
1�
tx�:yz5yz{�
|yJ8y}7
w5~34:65:�
���e\
��"�.��
0�
���
"T
�X���
0�
,��
%��
��
$�
0�
�
P��
L�_�O�
�P��+�P��O�
��V���O�
P��PO
��
������
����
���2
��V+���O�
EFH4IJG#
EFG2��
����
���
��
Qλd���Y���
+�+R
##
*�%�Y
�����Y
��
���
�
���Y
>�
��!�Y��!!�
Z��Ju�y
I�
�=��
�{=:�:J�55
I�
���
G5�u:5F
��
I�
5
z9�
##
w�G�
�����
�y6�
���
�
���
G�
��!�\
��"T
�X���
0�
,��
%��
��
$�
0��
*�
�����
$�
,�
�
P��
L�_�O�
P��P�O�
��V��O
Qλd��;Y��e
+�+R
��
������
���+2
+�
��^�O�
����
���2��V+���O�
EFH4IJG#EFG2
��
����
���2
��
��VP��#����
�������^���
##
*�%�Y
���!�Y
��
[��
�
���Y
>�
��[�Y��[!�
Z�{=:�:J�55
I�
���
G5�u:5F
��
I��
w�:5Jyx4
��
��
5
z9�
##
w�G�
���!�
�y6�
[��
�
���
G�
��[�\
[�?����
���
?��+�
�
���
?X�
L�
�
P��
,��������2��
�2
^�����
P�
^����Y
"�������P7
$�����
�!!��
Z��yJ5
���
��43y:y
���
�:J=
|�
5
z9�
�y6y�yFFy2y�:58u�J�5�
z4:8u5�5�
��F5Fk94z7
�4=�4�
�!!�\
�0�����
$�
D��
0�]�����
,�
,��
L�������
��
L�
r�
O2
�����+�����
�O�
���PO�
���
���O
�
���
�+�
EF2H42IJ2G
Y
���O�
+�
�����
����
������
������
##
K���]�W��
����
2
�����
�������Y
�!e��
�
e
Q���R�Y
>�
�Ye��
ZIFk5F4
��
���
I9v�F5F4
��
���
|465F5F4
��
|�
##
h49=v�~uF4{4
�6��:9yFF4{4
:��uF5�4�
�!e��
�y6�
e
Q���R�
G�
�\
��
,����#��
$�
C��
,����#��
0�
L��
,����
��
L�
�
P��
%���^����
��
����
���
��
EFG`EFH4IJG`EFG
+�
�P�+
W�P2
��U�V���
���
�����
�
��VP��#���
�����
�������
���
�����2
���������
##�)V��
D0$�
$�������
+�
���Y
���;�Y
��
[��
�
;�Y
>�
;; Y;e��
Z�4J56��x
��
H��
�4J56��x
I�
|��
�565J
��
|�
5
z9�
##
E~x�
�I��
��y9k4F�
34:�9�
���;�
�y6�
[��
�
;�
G�
;; \
;�����������
>�
)�
��+�������2����������O�
���
��2
����#�O�
�
���
��O
EFG#EFH4IJG
P�
��
�����
������
##
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����Y
�����Y
�
��Y
>�
�;Y���
Z�9=�yxJ�55
t�
E��##
���uFy6yk5{4
5
�yFJ:9=59yx4F5�
x
16��:9yFFy5
I��494:=9��
�����
�
��
G�
�;\
e�
G9y8u4~�yx4
���
�J}46z
���
h4x4z56
��
�:
46�
�u4948:�952
~4:5yF
y�
EFG
4Fz
H4EFIJG
64{�9J
�9��494:�z
v{
65�=5z2�u4J�
��5:4c{
=J5Fk
uy635=3
zy�5Fk
4Fz
k�::�95Fk
##
|4:�9546
t85�F8�
4Fz
1Fk5F��95Fk�
Q�R�Y
�!!;�Y
�y6�
[[�
�
��Y
G�
���Y����
!�
C��������
0�
���
��+����
0�
,��
n+�P
$�
L�
D�P2
��V�+��#�O�
���+��
O
�
���������
I��
�
���]����
��
��
������
##
*�%�Y
�����Y
��
�;�
�
e�Y
>�
!��Y![��
ZHy9�6�Fy�
I�
���
�434F5F
I�
���
tu35z:
��
|�
##
w�G�
�����
�y6�
�;�
�
e�
G�
!��\
���
����^��X���
L�
,��
>
�����
,�
0�
���+����
$�
C�
������#��2����+]���X���O�
���
�
���P���#�O�
��
����
2
���
����
EFH4IJG#EFG
##
*�%�Y
�!![�Y
�e�
�
��Y
>�
���;Y�����
Z�4948u�x:J�x4
|�
���
t:94�uyx
��
I�
�I9�3�F�y
��
H�
##
w�G�
�!![�
�y6�
�e�
�
��
G�
���;\
���
�������#���
>�
���
>���^
0�
,��
��
#�����
,�
,�
�
���
,���
����
�
��P������
��
���������P��
!"2EFG#$2EFH4IJG#
$2EFG�
�
��+����
V�
��V���
��������^���
��W�+��
##
?�
�2
����
������
�
���������P������
�������Y
�����Y
,O��
[��Y
>�
;�Y;;�
Z�9=�yxJ��55
t�
E��
t=�48u
I�
���
��:�y9�5F
��
��
:4
5F�
##
��:y�6��:9yF5�4
5
�y6=�9yxyzF5�yx4{4
:��uF5�4�
�����
EJJ�
[��
G�
;�\
���
j��+��
"�
>�
-+���
�O�
+�
�PO
�����P�����
����2
�����P������Y
"�7
$�����
�!;��
Z��934F
��
t�
13�yJ:F{�
3�:yz{
5JJ6�zyx4F5{4
�y6=�9yxyzF5�yx�
��F5Fk94z7
�4=�4�
�!;�\
���
����
��
����
?�
,��
L�V���
?�
0�
,�� ���
�����P�2
��
��#����
�����
������
P��P�
n�
��
��
���
�UU��
��2
��T
�+���
#
##
*�%�Y
�!e��Y
��
�;�
�
��Y
>�
�� Y����
Z�yFJ:4F:5Fyx
��
���
|�~95F
��
I�
##
w�G�
�!e��
�y6�
�;�
�
��
G�
�� \
�[�
L����
0��
*���
��
C�
���������PO
�
������PO
+�2
���2���������P����Y
L�����7
L���
�!; �
Z|56FJ
I��
wy5�u:
��
H�:�9y��9��uyz{
5
��9��uyz{
3�:4662�y6=�9yxyzF5��
|yJ8y}7
|59�
�!; \
� �
n��+�
j�
"��
%�����
D�
��
%��������P�����O�
��
���������PO�Y
L�����7
>���
����
��P���
�!;!�
Ztu4934
��
���
G=9y�u5:
��
��
Gy6=�9yxyzF5�yx{�
k�:�9y��9��uyz{�
|yJ2
8y}7
tyx�:J�y�
94z5y�
�!;!\
�1�1�/(2�*/),�0>�5*�(/020
<�5,
1�?0F�I[�IZ�QI�Q�4�
���������������������������
�4�5x
��|��
�9=�yxJ�55
t�E��
t=�48u
I����
��:{y9�5F
�����
|9{�u5F
E�I��
|5�u4Ju8u=�
�=�t��
�9=�yxJ�55
��t�
567896:;9<� 7=� >7?@A9��B�CD5���CDEFG<5�
��CD5�H9:967I?DJ:;7D<�7@:F;D9>�@K�L5M�N9:H7>/
\V&]^_`;K
V!ab9%a9c�dVbV_^;b_efbe_V;��cagea`�!d9;V
V!ab9%&��̀ ^!a$N��VcVfb_^ceha$V;fV$fV��!d^b^;V$;abaiab&�
�u�
zy=v6�
��5:4c546
!S2EFG#$2EFH4IJG#$2EFG�u�:�9y2
J:9=8:=9�J
}5:u
8y5F85z5Fk
�6�8:95846�4Fz
3�:466=9k5846
vy=Fz495�J
u4J
v��F
yv:45F�z��t=8u
8y5F85z�F8��5J
48u5�x�z�z=�
:y
k9y}5Fk
4F�4zz5:5yF46
v=���9�$2EFG�64{�9
4Fz
z�89�4J5Fk
:u�
:53���y9
k9y}5Fk
4F
�35::�9
!S2EFG
64{�9
u�4x56{
zy��z�v{
~5F8�
16�8:9y6=35F�J8�F8�
J��8:94�y�
J=8u
J:9=8:=9�J�u4x�
4
J3466�9�u46�2}5z:u
4Fz�:u�
5F�949�z
94z54:5yF
y�
u5ku�9
�y}�9�:u4F
:u�
J:9=8:=9�J�5F
}u58u
:u��!Y$2�=F8:5yF�5J
�y93�z�5F
:u��EFH4IJG�64{�9���u�J�
u�:�9yJ:9=8:=9�J�49�
z�J5kF�z
:y
89�4:�����585�F:�E�
�1�J�}5:u
}4x�6�Fk:u
y�
�����µ3
5F
J��8:9=3
34c53=3�
��945F��
�x5x�
tG1
o�494:p(
�5�x�
��
1�
�4Ju�49{yx
EFJ:5:=:�
y�
t�358yFz=8:y9
Gu{J58J
y�
�It��
����������������������������
,����
$�
L��
�������#���
>�
���
>���^
0�
,��
��
#2
�����
,�
,��
L���5�
��
?��
L���_��
��
>��
���2
����#���
D�
>�
*-�% �O!% P�&!"OPQ'�R�S� ��!&����
R!"PO��B�CD5���CDEFG<5���CD5T�O�S! !O-�'�R����
!"!���P"#!U��'!V��&P �#%PV/
)F+(<j� 2)(<17
,/j�1�2j1)3�j� 4,�,5(2�5*��*50�
5j
�(�1G�1�,/j�1�2j>��),4*<1��>��,),��5()F�j�,2�
?,�?j>���(�(+*�)0<j2�3�
?
��+���
���
������#��
��
����
���
���
!S2EFG#
$2EFH4IJG#$2EFG�
�
���
+�
���������
�
����
��^2
��
�����X�
V]���T
#� �
f�
P�� ���
#�
����_����2
� +
P�P�
������
]�U������
.���
$2EFG
�
V+��.��2
� +
̂ ���
����_�����
�+�
������
!S2EFG2.����
���#2
��
����������
X����+�
>���
��
����
���T+����2
X��X��
����
�
���
��
+�T
#
+��.�
�����.�����
�
]��#.
������
��
�W���
#
�r2�����+��T���� �
��W
��
�
���
U��+��
#�
!Y$2������P
�
EFH4IJG2.����
C�
����
���
���
���V��^���
P�
�
������
�U��
��2
���
�r2���
��P��P��
V
P��W���T
�����
�
+����+�+�
����
��
����
+�+�
��������
+�
"#����
$,%
o����
p(
+
�����
���
�
�
U�V���
����������P�����
�+�
,�
��
"�.���#���
$0$��
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51666 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:05:31Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Вакив, Н.М. Круковский, С.И. Сукач, А.В. Тетёркин, В.В. Мрыхин, И.А. Михащук, Ю.С. Круковский, Р.С. 2013-12-06T14:44:42Z 2013-12-06T14:44:42Z 2012 Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии / Н.М. Вакив, С.И. Круковский, А.В. Сукач, В.В. Тетёркин, И.А. Мрыхин, Ю.С. Михащук, Р.С. Круковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 2. — С. 27-30. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51666 621.315.592 Получены эпитаксиальные гетероструктуры р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в которых металлургическая граница совпадает с электрической. Это достигается выращиванием дополнительного буферного слоя n-InP и уменьшением времени выращивания эмиттерного p⁺-InP-слоя, сильно легированного Zn. Спектры электролюминесценции таких структур имеют меньшую полуширину и более высокую мощность ИК-излучения, чем те, в которых (формируется р-п-переход в InGaAsP-слое. Гетероструктуры предназначены для создания эффективных ИК-светодиодов с длиной волны в максимуме спектра 1,06 мкм. Отримано епітаксіальні гетеро структури р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, в яких металургійна та електрична границі збігаються. Це досягається вирощуванням додаткового буферного шару n-InP і зменшенням часу вирощування емітерного p⁺-InP-шару, сильно легованого цинком. Спектри електролюмінесценції таких структур мають меншу напівширину та більш високу потужність ІЧ-випромінювання, ніж ті, в яких формується n-p-перехід в InGaAsP-шарі. Гетероструктури призначені для створення ефективних ІЧ-світлодіодів з довжиною хвилі в максимумі спектра 1,06 мкм. The double epitaxial р⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP heterostructures with coinciding electrical and metallurgical boundaries has been obtained. Such coincidence is achieved due to growing an additional buffer n-InP layer and decreasing the time for growing an emitter p⁺-InP layer heavily doped by zinc. Electroluminescence spectra of such structures have a smaller half-width and the infrared radiation of higher power than the structures in which the n-p-junction is formed in the InGaAsP layer. These heterostructures are designed to create efficient IRLEDs with wavelength of 1,06 μm in spectrum maximum. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии Властивості подвійних гетеропереходів p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, виготовлених методом рідкофазної епітаксії Properties of double p⁺+-InP/n-InGaAsP/n-InP heterojunctions obtained by LPE method Article published earlier |
| spellingShingle | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии Вакив, Н.М. Круковский, С.И. Сукач, А.В. Тетёркин, В.В. Мрыхин, И.А. Михащук, Ю.С. Круковский, Р.С. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии |
| title_alt | Властивості подвійних гетеропереходів p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, виготовлених методом рідкофазної епітаксії Properties of double p⁺+-InP/n-InGaAsP/n-InP heterojunctions obtained by LPE method |
| title_full | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии |
| title_fullStr | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии |
| title_full_unstemmed | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии |
| title_short | Свойства двойных гетеропереходов p⁺-InP/n-InGaAsP/n-InP, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии |
| title_sort | свойства двойных гетеропереходов p⁺-inp/n-ingaasp/n-inp, изготовленных методом жидкофазной эпитаксии |
| topic | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51666 |
| work_keys_str_mv | AT vakivnm svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT krukovskiisi svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT sukačav svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT teterkinvv svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT mryhinia svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT mihaŝukûs svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT krukovskiirs svoistvadvoinyhgeteroperehodovpinpningaaspninpizgotovlennyhmetodomžidkofaznoiépitaksii AT vakivnm vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT krukovskiisi vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT sukačav vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT teterkinvv vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT mryhinia vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT mihaŝukûs vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT krukovskiirs vlastivostípodvíinihgeteroperehodívpinpningaaspninpvigotovlenihmetodomrídkofaznoíepítaksíí AT vakivnm propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod AT krukovskiisi propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod AT sukačav propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod AT teterkinvv propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod AT mryhinia propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod AT mihaŝukûs propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod AT krukovskiirs propertiesofdoublepinpningaaspninpheterojunctionsobtainedbylpemethod |