Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
Методом компьютерного моделирования определены оптимальные тепловые условия выращивания методом Чохральского монокристаллов Si, пригодного для изготовления (фотоэлектрических преобразователей энергии. Изучены зависимости характера температурных полей и формы фронта кристаллизации от диаметра кристал...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51678 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» / А.И. Кондрик, О.А. Даценко, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 21-25. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51678 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Кондрик, А.И. Даценко, О.А. Ковтун, Г.П. 2013-12-06T17:22:27Z 2013-12-06T17:22:27Z 2012 Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» / А.И. Кондрик, О.А. Даценко, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 21-25. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51678 669.762;621.315.592 Методом компьютерного моделирования определены оптимальные тепловые условия выращивания методом Чохральского монокристаллов Si, пригодного для изготовления (фотоэлектрических преобразователей энергии. Изучены зависимости характера температурных полей и формы фронта кристаллизации от диаметра кристалла, стадии и скорости его выращивания, а также от соотношения диаметра и высоты кристалла. Методом комп'ютерного моделювання визначено оптимальні теплові умови вирощування методом Чохральського монокристалів Si, придатного для виготовлення фотоелектричних перетворювачів енергії. Вивчено залежності характеру температурних полів і форми фронту кристалізації від діаметра кристала, стадії та швидкості вирощування, а також від співвідношення діаметру та висоти кристала . The optimal thermal terms for growing by Czochralski method Si single-crystals, suitable for making photoelectric energy converters, has been defined by the computer simulation method. Dependences of temperature fields character and crystallization front form on the diameter of the crystal, stage and speed of growing, and also on correlation between diameter and height of the crystal has been studied. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» Температурні поля в кристалі «сонячного кремнію», що росте Temperature fields in a growing solar silicon crystal Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» |
| spellingShingle |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» Кондрик, А.И. Даценко, О.А. Ковтун, Г.П. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title_short |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» |
| title_full |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» |
| title_fullStr |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» |
| title_full_unstemmed |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» |
| title_sort |
температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» |
| author |
Кондрик, А.И. Даценко, О.А. Ковтун, Г.П. |
| author_facet |
Кондрик, А.И. Даценко, О.А. Ковтун, Г.П. |
| topic |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
| publishDate |
2012 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Температурні поля в кристалі «сонячного кремнію», що росте Temperature fields in a growing solar silicon crystal |
| description |
Методом компьютерного моделирования определены оптимальные тепловые условия выращивания методом Чохральского монокристаллов Si, пригодного для изготовления (фотоэлектрических преобразователей энергии. Изучены зависимости характера температурных полей и формы фронта кристаллизации от диаметра кристалла, стадии и скорости его выращивания, а также от соотношения диаметра и высоты кристалла.
Методом комп'ютерного моделювання визначено оптимальні теплові умови вирощування методом Чохральського монокристалів Si, придатного для виготовлення фотоелектричних перетворювачів енергії. Вивчено залежності характеру температурних полів і форми фронту кристалізації від діаметра кристала, стадії та швидкості вирощування, а також від співвідношення діаметру та висоти кристала .
The optimal thermal terms for growing by Czochralski method Si single-crystals, suitable for making photoelectric energy converters, has been defined by the computer simulation method. Dependences of temperature fields character and crystallization front form on the diameter of the crystal, stage and speed of growing, and also on correlation between diameter and height of the crystal has been studied.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51678 |
| citation_txt |
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» / А.И. Кондрик, О.А. Даценко, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 21-25. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kondrikai temperaturnyepolâvrastuŝemkristallesolnečnogokremniâ AT dacenkooa temperaturnyepolâvrastuŝemkristallesolnečnogokremniâ AT kovtungp temperaturnyepolâvrastuŝemkristallesolnečnogokremniâ AT kondrikai temperaturnípolâvkristalísonâčnogokremníûŝoroste AT dacenkooa temperaturnípolâvkristalísonâčnogokremníûŝoroste AT kovtungp temperaturnípolâvkristalísonâčnogokremníûŝoroste AT kondrikai temperaturefieldsinagrowingsolarsiliconcrystal AT dacenkooa temperaturefieldsinagrowingsolarsiliconcrystal AT kovtungp temperaturefieldsinagrowingsolarsiliconcrystal |
| first_indexed |
2025-11-25T22:42:19Z |
| last_indexed |
2025-11-25T22:42:19Z |
| _version_ |
1850569107735314432 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
���
��� !�� "
��� ��# #��
���������� ��
��������������
�
�����������������������
��������
$$%
&'��(�������
)�*���+
����,�����
���
�
�
-
.+/0123
4567814941:; 4<0845= >0�
70;?@645941:; 4<0845= >0
�ABCADE��D$FA
CGHI
J
DEK��LAB
�DMK�EHHA
&KGH$AN$GOG
�DAB$MI-
��
�*��
������
)�
�����
��,�����
����P+
��*���
����
�������
Q���R
���P��S�T
&�����,+
�U�
���T���-
�
,��
�
��
��
��V�
#W
�
�P��S�+
XY��
T���+
���
T��(
�����
����,�����
�
���+
����
Z��
�[
���S�\����U�
�����PU
����,���
���T��
&�����,����-
��,��
��
Q]5^+]1R
�T�X
��*��X
����*��S�
��(���
(�
�������,����
����+
�U
�
S����(��
S�����
K��S�
���U��
��(
����+
���U�
���������
����,���
]5^+]1����P��
T�+
�
�
*���T��
�� T��
����
��������
���T��*�T+
��S��V�Y���
�U�(
������S�UT
����
�����
���T
�
��S��
��T�,�����
��,��
Z��
_[
�
���S�����
�������S�T
����T
T�
�S�T
T�V��
����,�
(
��+
)���������U�
���T���
�
��TT���UT
��S��V�+
���T
���T����
�����
����
::/
`))��
���UT
�
�
����
��(��
S�a��UT
�����P�T
S��(���a��
�,��
��
�� �
�
�����������
����
����*�\�
�
����,����T
�
���
��U�
���P��S�T��
S�
�*+
��
������
b`C
Z�[
C��
�
�T
��*T�V��
����+
,����
P��(a��
���
���
T���+
�
T��(
����T�� �
�*
��������,������
���\����
����X,�X
�
���+
����,����
���S�U�
�
�*�U�������U�
��Y��
���
��P��
��T��
(
����,��T��
���S��\��
���V��
�
GS���
�*
������
�U�
�����*�\��
T�
�S��
��+
����������
����
����*�\��
T�V�
���V�
(
�U��Y������
T�������
�����
��
T�
�S�
N�+
����(�����
���
��������
����S���
�U�(�
S�
����,���
T�������
�����
���T��
�
�T
T�
�+
S�T
�V�
�P��S��
��V���
,��
�
���
���
�T�
���+
���
(
�U��Y�����
T�V�
S��
���
(
���
TT�,
�
P����
J
��a�T
V�
���,��
S���U�
T�
�S
��+
���(*��
�
�
S�
����
����*�\������
�,��
��
��)������������
T�
�������,������
���T��
��
S������
�U�(
���
������
�
���
�
��Ua�
��
TT�,
T�V�
��*�����
(
����a����
�
���
�+
�U
����
�����
�U*������
���\��
��\����UT
��������VS����T
Z#[
��
���S�
���Y���
�
�+
��
���T���
�
��S
�
�
�������
��
�T
����T�+
����
����������� ��!����
�"# �$%�#&��� �
�"��'����#�%"��'�����"�$'��()"�$#&�$' %*#�
$%�#&�����
���+�, %"�)��!������� #)�%""�$�-.
�� #!�
��!��
"&�#/!���$"��#&�����0"��� #�
1�)�#,�� ��2 %/�$%��"�3�0�� !##���/(1��'�/%$#)#��)�#�,% %��� %������ %�( �',���"�3�#
�� �'�� ���%�� #)�%""#/%4##����
#%��� %�� #)�%""%
�)�%
##�#�)�� �)�#��!��$' %*#$%�#&
%��%�5�����)�����6��#&�
#%��� %�#�$')��'�� #)�%""%�
�"�1�$'��)"�$%7�)�"��1�'3�� ���#3
����"�$'����"&
�)�� �)����%� %$"����3�� #)�%""#/%4##
%/�� '�� #)�%""%�
a����� �
���Y��
�� �T���
���
���Y����
����+
����
�
T�
�S�
N�����(�����
���S�
������
(
�U��Y�����
T�V��
������(��
���U��
(
C�
�
��
���,���
��T�
�����S������(
�����U�
��+
V�TU
�U
������
��
������
T��
��
����Ua�+
XY�T�
��
TT�,
K�Y��
������
��� ���
��
���+
\���
����
����*�\������
�,��
��
���*U���
��+
V�
)��T�
)���
�
����
����*�\���
��
���
*�+
����
�
�
�S��
�
������
�
�U��Y�����
��
���������
��
�T��(����
����
���
S�))�*��
���T���
�
�������
���P��S�T�
�US��V���
(
)��T�
)���
�
����
����*�\���
P��*��X
�
����+
����
��
����
�
�S� �
�U��Y�����
���T�
����
)��T�
)���
�
����
����*�\��
T�V�
���V�
(
��*���(�UT
����T�
��T
S�
���
���
�
���
��+
����
�����a���
��
�
)��TU
���
�Y���
����
��+
��
Z��
![
%��(X
���
� Y��
��P�
U
PU��
�*�,����
�+
����U�
�����
�
������
��
�U��Y�����
T���+
����
�����
]5^+]1
��*��,�U�
S��T�
���
T�
�+
S�T
N�����(�����
��
��*�U�
�
�S� �
�U
����+
��
���
�������
���������
)��TU
)���
�
���+
�
����*�\���
P��*���
�
�������
B�
�S�T
��T+
�(X
������
T�S���������
�*�,����(
�T����+
���U�
���
�
)��T�
)���
�
����
����*�\��
�
*�����T��
�
�
S��T�
���
������
�
�
�
�S��
���+
\����
�U��Y�����
��,��
��
����,��TU�
����
�����
*�����
�
���
���
��������
�
���\�����
����+
�
T�����P+
T���
�
���
�T�
&
����(
c
����
���
c
�������-
��
���������
���\����T
�U��Y�����
���P+
��S�T�
�,�
U��
(
�����
��
��S��S�
����
�
�
����T
���
�
�����
�\�X
���
�
��a���X
�
)���
�
����
����*�\��
�
����������X
���U
V��
��
������
(
���
�
����
�����
��*T��U
��+
�
�Y���
����
����
J
�PY�T
���,��
�T����
��+
�U�
���
�
������S������
���T����
�
���T���
S��V�U
����S��
(�
�S�����T����
�
�������+
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
�����
J
��a�T
���,��
���\��
��\��
���T����
T��U�
���
����
�,����
��
��� X
��
�T����+
����
���
�T�
*�S�,�
���,�
�
�T����
���U�
�����
�
������S�����
���T����
���
������+
������
����
����*�\��
T�V��
��a�
(
�����S�+
��
��(��
�������������������
B�S����������
�T����
���U�
�����
�
���+
�T�
&����
���
c
�������-
�����S����(
�
��+
T�Y(X
������TTU�
�
������
��P�
U
��
����
��+
��V���
S��T����
T�S��(
J
�
��
T�S��(���
��+
�
�T�
��
�,����T
����
�� �
�
�������
��(�
�
�
���T
c
����VS��TU�
�
����
��T��U
��
��+
a���
*�S�,�
���
�����
�T����
���U�
�����
�
���
�Y�T
����
����
PU��
����
U
����Y�+
XY��
���S����V���
J�+����U��
���
� ���
��+
�
�TU
�,�
����(
���������UT
�
��VSU�
T�T��
���T���
J�+�
��U��
���
�T�
�T��
�����X
��T+
T�
��X3
���
����,��U
*����
��(��
�
������
����S���
U
8
�
�
��S����
9
�
�������
��
���+
���S���� ����
���
d
K��S�
��
���T
� S�
��P�
�
�����T��
Zec��[�
PU��
����S����U
��P�����
�
���,�
�T
�T��+
��
������
���
�
���
�Y�T
����
����
`
�
��+
�P��S�T��
(
�,�
�
��������
����
����
����T�
��������
�*��,���
�
���������
�
��������
�
����
�����
�PT���
�*��,����T
T�VS�
����
��+
��T
�
��������T
���V����
��������
c
� *���
���V�T��T��
V�S���
�
c
����U���
�
���������T
$��(�+
K
����
ρ:;Q∂:.�∂<;Rfρ=.gρ=.α>Q?f?�Rf∂τ.;�∂<;�
Q�R
�
��������X
Q�R
��V��
S�P���
(
���������
������U����
�
S�
���V�T��T��
V�S���
�
∂:.�∂<.�h
� Q�R
�
���������
���������S���
�
ρ@A:.∂?�∂<.
g∂B;�∂<.
h
�� Q�R
M�S���U
.
�;�*S��(������T�X
*��,���
��+
��S���
<��C�
8
��
���T
�P��*�T�
<<≡
<�
<C
≡
C�
<8
≡
8"
=.
�
:.
c
�����\��
�����������
���U
V��
�
�
������
�
��
���
��
�
��XY��
����+
S���
U
$�
���������
��
������,���XY��
��������
���P��S�T�
*�S�
(
������
(
:
���
����
τ.;D;
QD
c
���T��(
�
���������
�R
$�
��������+
�
��
���������XY���
�
����T�
:�h
�"
��
������+
���
��
���������XY���
�
����
����T�
:�h�:A
Q:A
c
������
(
�U
������
����
����R"
��
��+
�������
��
���
��
���XY��
�
��*����
���S���
τ.;D;hD.E�
QE�
c
S�������
��*�
��
���������
(
��������R
��
��������
���������S���
�
Q�R
��V�
���P��S�T�
*�S�
(
�����,�U�
������
$�
���+
������
���������
�
���
�������
��
��
BhBF
$�
�����\�
&�������
c
����
���-�
��
���
����S�� �
�
�*�
��T��
�Q9�8R
h
�G
Q�G
c
�T+
����
���
�������� R�
����a��
�
������U����
(
��������
��
����
������(��
�
�US�� �
�
���U
�
����
�
����
����*�\��
H3
I-∇?-D
f
I>∇?>D
hρ-H:AD�
�S�
�S���U
-
�
>
�
���
� �
���
��
�
������
�
����
����
�
��������
JU��V����
S�
��������
��
���
�*
������+
��
�T��
���S�XY��
��S3
I>∇?>D
h�DQ?>f?JRgεσQ?>
_f?9
_R Q_R
C�����
������T��
�
������
,��
�
��������
Q_R
����U���
�(X
��������
����VS�����
������+
\�����(���
��*���
�
T�VS�
�T����
���T�
��������
?>
�
����V�XY��
���SU
?K
J
����
������T��
�� *���
�
��,��UT
�����PT���T
iS��(
ε
c
�*��,�
��(��
�����P���
(
Q@/1??1=1;jR�
σ h
#��!⋅��fe
�VkQ�⋅T�⋅�_R�
?9
c
�))��
����
Q�
�TU���
�*��,��� R
�T����
���
����V���
N���
εσ?9
_
����U���
��
���
����Y���U�
S��+
��T�
�����
UT�
���������
T�3
����
����T�
�
����T�
��T��U
�
�
G�
S��V��
PU
(
�U��+
V��
,���*
��
�����U
Q���
��TTUR
��
���*��+
�UT
���������
T
D�*��(
���XY��
��
���
���+
��S Y��
,���*
D+�
���T��
���������
�
�
���+
�U�
�
���T�
������T�T�
�
������
,��
�
����+
����
Q_R�
�P�*��,�T
,���*
BD
L
Z��
��[
G�
��+
�
��
�*
��
���
��������
�*��,���
BI
MhεDσ?D
_
������
����
�T�XY���
�T����
���
?D�
�
��V�
�
��V������
��
����
����Y������
S����T�
��+
�������
T��
Q�fεDRNDIBI
L
��
������\�
�����+
Y������
��
���
fεINDIBI
L
iS��(
���S�������
� �
,
�
�����Y�XY�
�����P���
(
�����
�*��,�
��(+
���
J���,���
NDI
c
��
��*U���TU�
=1@l
m0n;58�
��
��U�
����U���
���T�
��,�����
�����
���+
�
���
�*��T����
�������V���
���T��
��
D
�
I3
�
��� ����
�
� �
� �
�� � �
� ��- -
� O- O-
- P
θ θ=
π∫ ∫
�S�
-D
�
-I
c
���Y�S�
���T��
��
D
�
I"
θD
�
θIf
���U
T�VS�
���T�� T�
�
���T��
�T
D
�
I
�
�������
���S�� XY��
\��
�U
�
��
���T��
��
�
�T�XY��
S����
>DI
J���,��U
BI
L
����S�� X
+
�
�*
��������
QDIBI
L
h�MDIBI
M�
�S�
QDI�h
ZδDI
f
Q�f�εIRNDI[�εD"
MDI
h δDI
�S�
@A
c
B.
c
I
c
�����T���
("
�������
��
���
B.h
fI∂?�∂<."
���))�\���
���������S���
�
���
���
(
��������
���
����
����
�T��+
��
���
?�"
������
(
���T��
�
V�S���
�"
���������
���P�S����
��S��� "
���))�\���
��������
���a����� "
��*��
���� V�����
τ.;�h
fAδ.;�g�RQ∂:.�∂<;�g
g∂:;�∂<.R"
S�������"
���))�\���
� *���
�
�S�
ρ
c
:
c
=
c
α>
c
τ.;
c
c
η
c
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
M
���
���
� ���
��������
��+
���
���*��
�
��� T�
������
�
:�
S������
�
�T����
��U
��
��+
��U�
����S�� X
�
�*
���������
Q�R�
Q�R
�
Q�R
K��
� ���
����+
����
�
��a�T
���,��
����U���
+
�
��(��
�T����
�����
��
���
����S�
�
�*
��������
�������+
��S���
�
∇QI-∇?R
f
ρ])A-:A∇?
h
�
����T
�P��*�T�
��a����
*�S�+
,�
���
�����
�T����
������
���
�
����
����
���S����(
�
��+
a���X
T�
�S�T
����,�U�
���T��+
��
��������U�
���������
�
,��
+
�UT�
����*��S�UT�
�
�������(+
�UT�
�����,�UT�
������ T�
E�����
T
,���������
��a���
���+
���
�
Z���
��[
��!"� ���#�������$�%�&������'��&���!
$�
$��(�)
���S�T���
�������
��*��(
�
���+
��S������
T�S���������
M*�
��T�
�
�T����+
����
����
�
�� �
�
�����\��
��*S���
T�VS�
��������T
�
����
����T
K
���
�����
�����a���
��
�U��Y����T���
����
����
�
���
)�*�,�����
�����
��
*����
�
)��TU
)���
�
����
����*�\���
��
��
��U�
���+
�
������
(
���
�
oU��
�����S���
�����S���+
���
��� ��
������
�
�U
������
:
�
S��T�
+
��
����
����
��
�U��Y����T���
T�
�S�T
N�+
����(������
��
�����
��
�T����
���U�
�����
�
��T
B�S����������
���
�*T������
:��
S��+
��*���
�c��
TT�,
�
�
�
e�
S�
�#�
TT
��*����+
��
��
������
(�
,
�
�
��*���
����T
:
)��T�
)���
�
��*S���
)�*
T�� �
�
�
��,
�
�������
�
�����
���
���,�T
���
����������
�U��
U
���+
�
����
�
�����,����
���
S��T�
��
�
�
�*T���+
��
�������X
�
Q�
�
T�V��
���S�
(
��
$��(�*�
�S�
�����S��U
����
��U�
�*
����,���U�
��*��(+
�
��R
M��,�
����� �
���P����
�����
�
)��T�
��P�XS��
�
�
����
����
���P��(a���
S��T�+
���
��
��U�
�U��Y����
�
�
����U�a��
�����+
�
(X
Q�T
���
��
!R
C����S���U�
�����S�����
��V�
����*����
,
�
���
�������
������\��+
���(����
�����,���
S��T�
���
����
����
�
�+
��
�
����������
������
�
���
�
)��T�
)���
�
����
����*�\��
��
��
�
���*T�����
K
����(
��� ��
������
�
����
����*�\��
�
S��T�
��
����
����
��
)��T�
)���
�
��*S���
)�*
*�����
�
�
�S��
�U��Y����� 3
��
P����
��*S���
�
����
�U��Y�����
������
(
�U
��+
����
�
S��T�
�
����
����
T��(a�
��� X
��
�����������
�����\U
��*S���
)�*
Q�T
���
�
�
D��
�
D�*��(
�
��a���
���������
���������S���
�
�
���
�+
T�
&����
���
c
�������-
T�
�S�T
����,�U�
���T��
��
S�
���+
�
����
S��T�
��T
e�
TT
Q��
�� �
���*��U
*��,���
�
TTR
�
��
_�
��
e�
�$������
���
��
��
��
���+��%
8�
TT
���
e�
_�
� ��
_�
��
����9�
TT
8�
TT
���
e�
_�
� ��
_�
��
�����9�
TT
8�
TT
���
e�
_�
� _�
e�
���
�������9�
TT
8�
TT
���
e�
_�
� _�
e�
���
�������9�
TT
D��
�
��T����
���U�
���
�
���
�T�
&����
���
c
�������-
���
����,����
����
�����
]1
�U��
��
��
TT
S��T�
��T
e�
TT
Q%�
2R
�
�#�
TT
Q$�
!R
���
������
�
�U
������
��#
TT�,
Q%�
$R
�
��
TT�,
Q2�
!R
�R
PR
�R
�R
:�h
��#
TT�,
��h
e�
TT
:�h
��
TT�,
��h
e�
TT
:�h
��#
TT�,
��h
�#�
TT
:�h
��
TT�,
��h
�#�
TT
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
$��(�,R
C�
�
��
���,���
��
��,��(���
�
�S��
������
(
�U��Y�����
��
S��V��
����Ua�
(
�c
�
TT�,
$�
P����
��*S���
�
�S� �
������
(
T�V+
��
���
������
�����,���
(�
S���S
S�
*��,�����
��
��U�
T���
������,���
(�
����,�����
����+
S�� XY���
���\��
��\���
���T����
�
����S+
��T
�U�(�
M����S�����
��V�
����*����
,
�
���
���*+
T�����
������
�
�U��Y�����
)��T�
)���
�
����
����*�\���
������S������
�����U�
�����
�
�T����
���U�
���S���
��
�P��*�
�����\U
��*S���
)�*
*����
�
�������T
�
���
��a���
S��T�
��
�
�U��
U
����
����
̀
�
������S����
�
���,���
���S�
���
�*T������
S��T�
��
���+
�
����
������\�����(��
�*T�� �
�
�
�Pp�T
���+
�����
K��S��
�
T�
�
(�
,
�
��P��T�
)��T�
)���+
�
����
����*�\��
*�����
�
����
�������)�+
,������
����������
�U��Y�����
T�������
��+
���
�S����
�
P��(a���
��
���,���
��
S��V��
PU
(
P��*��
�
������T�
K�����
(
�U��Y���+
��
\������P��*��
*�S���
(
����S
�*
�����U�
�������
�P��*�
)���
�
�
��,��(�U�
�������
����
����*�\������
�,��
��
�
������
�U�
���+
T����
�
���
��
�
���
�
��P����� T��
��
��U�
���Sp �� X
�
�
,��
�
�
&�����,����
���T�� -
C����S�����
T�S����������
�����U�
�����
�
���
�Y�T
����
����
��*��� �
�
S��(���a�T
�U�����
(
���,�
������S�����
����
��,����
��+
���U�
���T����
��
�Pp�T�
����
�����
��*�U�
��*T�����
�U��Y����TU�
�
��*�UT�
������
T�
MKCGHqiGJE$$FA
MK�GN$M�M
� $���T� Y��
E M
���T���
S�
�����,���
������
���
��
M*���
�
��T�����
����
����,������
��������
�
� c
���� c
�
����
�U�
� c
K
�!�c���
ZW@:5/6j0?<n<14<
r s
��
sd=@?;1j0
t5/?45u5
:521;@4<61n<@?45u5
>61=@8?1;@;0
����
v52
����
1??
�
w
�!�[
� $�T,�����
$
J �
��x\
J
` �
$���T� Y��
E
M
�
S�
C��T���
�
���T���
&�����,����-
��,��
��
�
��
�
��
�S�+
����
��
B�
��
s
B�VS����
���, +����
���)
&A���+
����(��
�����
yys
�
��1
3
�
��
���
1
�������
���
��*��
+
��- c
����z���
T
��1�����
����(��
���� c
�
�� c
K
#c�
ZW@/n<165=0
W
v �
{2j5;?
v
. �
W@:5/6j0?<n<14<
r
s
1
78
w81/@?1
=
48@/611
&?526@n<65u5-
40n<@?;=0
1
:>;1
14<
>702@61j0
��
|0;@8
s
|@d<7>608
60>n< +:804;
456m
&.=85:@1?}40
60>40
yys
?;521;;j03
?;80;@u1j0
1
:@8?:@4;1=1
85d=1;4>-
~48016@�
�61:85:@;85=?}4�
����
v52
��
w
#[
� $�T,������$
J�
��x\
J
̀
G�
�T�*�\�
���P�
��+
T�,������
���\����
����,���
���T��
�
����
��S����U�
��,��
��
B�
��
B�VS����
���, +����
���)
&B�
�������
\��
+
�U�
T�
�����
C��P��TU
�
�������
��U- c
D���� �
�
B��+
��� c
���� c
K
���c���
ZW@/n<165=0
W
v �
{2j5;?
v
.
�:;1/1d0;?1j0
408�5;@8/1n<@?45u5
:85;?@??0
:52>n<@61j0
48@/61j0
=
@2@4;857>u5=j4<
:@n<04<
��
|0;@8
|@d<7>608
60>n< +:804;
456m
&|@;022>8u1j0
;?=@;6j4<
/@;0225=
w85�2@/j
1
:@8?:@4;1=j-
�>??10�
|5?4=0
����
w
���[
_ W@/n<165=0
W
v �
�@2?4j
]
] �
{80?16
�
r
�1u<+
:>81;j
/@;022>8u1n02
?121n56
0?
�0?@
@2@/@6;
m58
?5208
@6@8uj
��
.>85:@06
�5>8602
5m
W0;>802
�1?;58j�
|0;@8
5m
;<@
n56m@8
&�21/0;@
067
@6=1856/@6;- c
W@;<@82067?�
r/?;@870/ c
���� c
D
�#c��
# K��U,��
C
C �
$���T� Y��
E
M �
��������
K
B
JU��Y������
����
�����
T��(
����T��
T�
�S�T
o��SVT�+
��
�
������ �TUT
��V�T�T
������\��
��
vs
B�VS����
���)��
�
v
a����
T���SU�
�,��U�
�
���\�����
��
&���T+
���+����- c
D���� �
�
$�����P���� c
���� c
<;;:3��
?121n56���� 611n 6?n 8>�8>?�6@l?8 <;/
Z]08jn<@=
w
w �
W@:5/6j0?<n<14<
r
s �
t080?5=0
]
|
vj80?<n<1=061@
481?;0225=
/>2};148@/61j0
/@;575/
�817d</@60
?
>:80=2j0@/j/
8@d<1/5/
456=@4;?11
��
vs
|@d<7>608
456m@8
1
v
?<4520
/5257j4<
>n<@6j4<
1
?:@;?1021?;5=
&{8@/611+����-
�>??10�
W5=5?1�18?4
����
<;;:3��?121n56���� 611n 6?n 8>�8>?�6@l?8 <;/[
� b��(����,
`
K �
C��(���
`
G �
N�����U�
M
b
�
S�
���������
���������S��������
���T�� c
B�����3
B�+
������� �
����
Z�02}4@=1n<
.
] �
w>2}6@8
.
� �
�<@8=56j1
s
�
1
78
t@4<6525u1j0
:52>:85=576145=5u5
48@/61j0
|5?n5l
|@;022>8u1j0�
����[
! �����
�
$ �
��\���
J
i �
N�����U�
M
b
�
S�
C��������S�����U�
���T���
����
�
��������
����*��S+
�
�� c
i�����V(�3
iOME�
���_
Zt0806
�>
W �
{>;?5=0
v
� �
�<@8=56j1
s
�
1
78
w52>:85=576145=j1
48@/611
;@581j0
1
;@4<6525u1j0
:851d=57?;=0
�0:585d<}@
�^sr�
���_[
e |@75>j@
^
� �
�0n56
�
� �
.=06?
{
.
�5/:>;@8
/57@2216u
5m
;@/:@80;>8@
067
?;8@??
71?;81�>;156?
16
�.�+u85l6
^0r?
n8j?;02?
��
�
�8j?;
^85l;< c
���� c
v52
��e c
w
��!c���
8�
TT
���
���
���
� ��
_�
��
������e�
9�
TT
�R
8�
TT
���
���
���
�
PR
��
_�
��
������e�
9�
TT
:�h
��#
TT�,
:�h
��
TT�,
D��
�
��T����
���U�
���
�
���
�T�
&����
���
c
�������-
���
������
�
�U
������
��#
�
��
TT�,
��
��*S���
�
�S��
�U��Y�����
����
����
�U��
��
�_�
TT
�
S��T�
��T
���
TT
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������ �� ����� ���������
�
v18d1
r
�5/:>;@8
/57@2216u
5m
<@0;
;806?m@8
16
�d5n<802?41
?121n56
n8j?;02
u85l;<
��
�
�8j?;
̂ 85l;< c
���� c
v52
��� c
w
���c!��
��
r;@08n56
�
^ �
�@8�j
�
� �
�85l6
�
r
�0710;1=@
<@0;
@�n<06u@
16
�d5n<802?41
n8j?;02
u85l;<
��
�
�8j?;
^85l;< c
��e! c
v52
e_ c
w
#!c!e
��
W1n57@/@
w �
�>:8@;
� �
�85n<@;
|
�
@;
02
W>/@81n02
?1/>20;156
5m
;806?m@8
16
�.�
u85l;<
5m
u0221>/
08?@617@
��
w85n
5m
#+;<
s6;
�56m
56
]@/1+s6?>20;156
sss+v
|0;@8102? c
]l@7@6�
|02/5 c
��ee c
w
_!�c_!�
��
C�������
J
B �
C���V���
J
M �
N�S��
H
E
N��+
������
T�S����������
���\�����
����+
�
T�����PT��� c
B�����3
$�����
��e_
Zw0?4565=
v
| �
w52@d<0@=
v
s �
�<>75=
�
r
�<1?2@665@
/57@2185=061@
:85;?@??5=
;@:25+
1
/0??55�/@60
|5?n5l
W0>40�
��e_[
�%�%���)�(�"��#&� (���#)#
$� �
%�4#��ST�TU�UTSU�!�
���������������������������
{567814
r
s �
�0;?@645
�
r �
{5=;>6
̂
w
-./0.�
12341.�56.789�6:�2�;1<=6:;�9<721�9676><:�>1?9327(
VWCXY9�F7� FY�Z9� F.�.@YD
� [RW9GZ�� N.W��F
� 9Z[W� YN
�.9W@[.YDZ��@9CF[Z��.8Z[.YD
�@9CF[Z��F.8W�
t<@
5:;1/02
;<@8/02
;@8/?
m58
u85l16u
�j
�d5n<802?41
/@;<57
]1
?16u2@+n8j?;02?�
?>1;0�2@
m58
/0416u
:<5;5+
@2@n;81n
@6@8uj
n56=@8;@8?�
<0?
�@@6
7@m16@7
�j
;<@
n5/:>;@8
?1/>20;156
/@;<57
�@:@67@6n@?
5m
;@/:@+
80;>8@
m1@27?
n<080n;@8
067
n8j?;0221d0;156
m856;
m58/
56
;<@
710/@;@8
5m
;<@
n8j?;02�
?;0u@
067
?:@@7
5m
u85l16u�
067
02?5
56
n588@20;156
�@;l@@6
710/@;@8
067
<@1u<;
5m
;<@
n8j?;02
<0?
�@@6
?;>71@7
~48016@�
W]�
�{<0845=
s6?;1;>;@
5m
w<j?1n?
067
t@n<6525uj�
����������������������������
���S���
E
� �
��\����
G
E �
���
��
O
C
���+��
$��"$&@�+����%��$�����@�A��&��&�B���$��&@CDE�F�
$����(
�"�1�$\� )"�$%7� )��&1�#3� � ���\3
� ���"�$\� ��"&
6$#
�\)��� )� &��$%��]� � #)�%"\/%4\]
� �/�\ #
� #)�%"%�
B�
�S�T
��T��X
������
T�S��X����
��*��,���
��
�T��(��
������
�T���
����Y�����
T�
�S�T
N�����(�(����
T�������
����
]1�
���S�
����
S�
����
������
)�
�����
��,���
����
���X��,��
������z
J��,���
*���V���
�
�����
���
�T����
��+
���
�����
�
)��T�
)���
�
����
���*�\�z
��S
S��T�
+
��
����
����
�
�S�z
�
a��S���
�
����Y����� �
�
���V
��S
������S��a���
S��T�
��
�
����
�
���+
�
���
����z���
$$%
&'������(���
)�*���+
����,���
���
�
�
-
%
�+
�
$
�G
�
�
�
�$
�
�
�
�
H
�
�
�%
�+
�
$
�G
�
�
�
�$
�
�
�
�
H
�
�
�%
�+
�
$
�G
�
�
�
�$
�
�
�
�
H
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H��
%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H���%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H�� %
�+
�
$
�G
�
�
�
�$
�
�
�
�
H
�
�
�%
�+
�
$
�G
�
�
�
�$
�
�
�
�
H
�
�
�%
�+
�
$
�G
�
�
�
�$
�
�
�
�
H
�
�
M����S������
�T����
�����
*�����T��
�
���
��
����
�����
������
�T�,�����
���
��
��
�
s6w
Q��������
�
����R
`))��
�����
(
�P���
*�� S��
�
S�
,����
γ+�*��,����
�
��*��,���
���)�����+
\���
����
��S��
Q��������
�
'��(���R
B�����������U�
���
U
�
���
������,���
����T�����
�*�� \���
QD���� �
�
E�*�T��R
M�S��
�����
(�
����
��,����
�����
������T�
���������S�������
�
���
����
QD���� �
�
K���
��R
J�� ���
������S�����
���T���
�
P�*�
��
)�
�����
��,�����
�����
��
��������+
�
��+P��(���U�
��(
��)����
��U�
)�
�����T�����
Q��������
�
����R
K�������*�\�
��
����
S���U�
�
T���������(�U�
���
�T��
\�)�����
�P��P�
+
��
��������
�
�����
������T��
�
���
����
Q��������
�
GS����R
C��Ua����
��S�V���
�
S��S��
��
��
���
��*S���
���
��*� S��
�
�
����
��,�+
�
��
Qo������(�
�
B����R
M����(*������
)��T���*�����U�
����*�
����
S�
�\����
��,��
��
���
�����
�+
�������
��S��
����,�����
���
�T
�����U
����T�
���
����
�����(��+������S�+
����U�
�Pp��
��
Q��������
�
'��(���R
JU����
�T����
���U�
S�
,���
S������
�
��*���*��
���T�
��
������
��
���S+
�U�
����
�����
���T��
Q��������
�
H(���R
b�
�S��S
�
���Ua�����
,���
��
��(���
(X
�
����
��+
��������
�P���
�
�b
����
��
��
������
)��)�S�
�����
Q��������
�
N�����\UR
C���,����
�
�����
��
a�����*���U�
���(������S�U�
�\��
���
����
��
������
���S������
E��Jvs
Q��������
�
'��(���R
b�
�����
��,�����
�����
��
��
���������S��
D+]1��D+]1
Q��������
�
'��(���R
�
�
�
|