Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»

Методом компьютерного моделирования определены оптимальные тепловые условия выращивания методом Чохральского монокристаллов Si, пригодного для изготовления (фотоэлектрических преобразователей энергии. Изучены зависимости характера температурных полей и формы фронта кристаллизации от диаметра кристал...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2012
Main Authors: Кондрик, А.И., Даценко, О.А., Ковтун, Г.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51678
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» / А.И. Кондрик, О.А. Даценко, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 21-25. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51678
record_format dspace
spelling Кондрик, А.И.
Даценко, О.А.
Ковтун, Г.П.
2013-12-06T17:22:27Z
2013-12-06T17:22:27Z
2012
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» / А.И. Кондрик, О.А. Даценко, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 21-25. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51678
669.762;621.315.592
Методом компьютерного моделирования определены оптимальные тепловые условия выращивания методом Чохральского монокристаллов Si, пригодного для изготовления (фотоэлектрических преобразователей энергии. Изучены зависимости характера температурных полей и формы фронта кристаллизации от диаметра кристалла, стадии и скорости его выращивания, а также от соотношения диаметра и высоты кристалла.
Методом комп'ютерного моделювання визначено оптимальні теплові умови вирощування методом Чохральського монокристалів Si, придатного для виготовлення фотоелектричних перетворювачів енергії. Вивчено залежності характеру температурних полів і форми фронту кристалізації від діаметра кристала, стадії та швидкості вирощування, а також від співвідношення діаметру та висоти кристала .
The optimal thermal terms for growing by Czochralski method Si single-crystals, suitable for making photoelectric energy converters, has been defined by the computer simulation method. Dependences of temperature fields character and crystallization front form on the diameter of the crystal, stage and speed of growing, and also on correlation between diameter and height of the crystal has been studied.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
Температурні поля в кристалі «сонячного кремнію», що росте
Temperature fields in a growing solar silicon crystal
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
spellingShingle Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
Кондрик, А.И.
Даценко, О.А.
Ковтун, Г.П.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title_short Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
title_full Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
title_fullStr Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
title_full_unstemmed Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
title_sort температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
author Кондрик, А.И.
Даценко, О.А.
Ковтун, Г.П.
author_facet Кондрик, А.И.
Даценко, О.А.
Ковтун, Г.П.
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
publishDate 2012
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Температурні поля в кристалі «сонячного кремнію», що росте
Temperature fields in a growing solar silicon crystal
description Методом компьютерного моделирования определены оптимальные тепловые условия выращивания методом Чохральского монокристаллов Si, пригодного для изготовления (фотоэлектрических преобразователей энергии. Изучены зависимости характера температурных полей и формы фронта кристаллизации от диаметра кристалла, стадии и скорости его выращивания, а также от соотношения диаметра и высоты кристалла. Методом комп'ютерного моделювання визначено оптимальні теплові умови вирощування методом Чохральського монокристалів Si, придатного для виготовлення фотоелектричних перетворювачів енергії. Вивчено залежності характеру температурних полів і форми фронту кристалізації від діаметра кристала, стадії та швидкості вирощування, а також від співвідношення діаметру та висоти кристала . The optimal thermal terms for growing by Czochralski method Si single-crystals, suitable for making photoelectric energy converters, has been defined by the computer simulation method. Dependences of temperature fields character and crystallization front form on the diameter of the crystal, stage and speed of growing, and also on correlation between diameter and height of the crystal has been studied.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51678
citation_txt Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния» / А.И. Кондрик, О.А. Даценко, Г.П. Ковтун // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 21-25. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kondrikai temperaturnyepolâvrastuŝemkristallesolnečnogokremniâ
AT dacenkooa temperaturnyepolâvrastuŝemkristallesolnečnogokremniâ
AT kovtungp temperaturnyepolâvrastuŝemkristallesolnečnogokremniâ
AT kondrikai temperaturnípolâvkristalísonâčnogokremníûŝoroste
AT dacenkooa temperaturnípolâvkristalísonâčnogokremníûŝoroste
AT kovtungp temperaturnípolâvkristalísonâčnogokremníûŝoroste
AT kondrikai temperaturefieldsinagrowingsolarsiliconcrystal
AT dacenkooa temperaturefieldsinagrowingsolarsiliconcrystal
AT kovtungp temperaturefieldsinagrowingsolarsiliconcrystal
first_indexed 2025-11-25T22:42:19Z
last_indexed 2025-11-25T22:42:19Z
_version_ 1850569107735314432
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� ��� ��� !�� " ��� ��# #�� ���������� �� �������������� � ����������������������� �������� $$% &'��(������� )�*���+ ����,����� ��� � � - .+/0123 4567814941:; 4<0845= >0� 70;?@645941:; 4<0845= >0 �ABCADE��D$FA CGHI J DEK��LAB �DMK�EHHA &KGH$AN$GOG �DAB$MI- �� �*�� ������ )� ����� ��,����� ����P+ ��*��� ���� ������� Q���R ���P��S�T &�����,+ �U� ���T���- � ,�� � �� �� ��V� #W � �P��S�+ XY�� T���+ ��� T��( ����� ����,����� � ���+ ���� Z�� �[ ���S�\����U� �����PU ����,��� ���T�� &�����,����- ��,�� �� Q]5^+]1R �T�X ��*��X ����*��S� ��(��� (� �������,���� ����+ �U � S����(�� S����� K��S� ���U�� ��( ����+ ���U� ��������� ����,��� ]5^+]1����P�� T�+ � � *���T�� �� T�� ���� �������� ���T��*�T+ ��S��V�Y��� �U�( ������S�UT ���� ����� ���T � ��S�� ��T�,����� ��,�� Z�� _[ � ���S����� �������S�T ����T T� �S�T T�V�� ����,� ( ��+ )���������U� ���T��� � ��TT���UT ��S��V�+ ���T ���T���� ����� ���� ::/ `))�� ���UT � � ���� ��(�� S�a��UT �����P�T S��(���a�� �,�� �� �� � � ����������� ���� ����*�\� � ����,����T � ��� ��U� ���P��S�T�� S� �*+ �� ������ b`C Z�[ C�� � �T ��*T�V�� ����+ ,���� P��(a�� ��� ��� T���+ � T��( ����T�� � �* ��������,������ ���\���� ����X,�X � ���+ ����,���� ���S�U� � �*�U�������U� ��Y�� ��� ��P�� ��T�� ( ����,��T�� ���S��\�� ���V�� � GS��� �* ������ �U� �����*�\�� T� �S�� ��+ ���������� ���� ����*�\�� T�V� ���V� ( �U��Y������ T������� ����� �� T� �S� N�+ ����(����� ��� �������� ����S��� �U�(� S� ����,��� T������� ����� ���T�� � �T T� �+ S�T �V� �P��S�� ��V��� ,�� � ��� ��� �T� ���+ ��� ( �U��Y����� T�V� S�� ��� ( ��� TT�, � P���� J ��a�T V� ���,�� S���U� T� �S ��+ ���(*�� � � S� ���� ����*�\������ �,�� �� ��)������������ T� �������,������ ���T�� �� S������ �U�( ��� ������ � ��� � ��Ua� �� TT�, T�V� ��*����� ( ����a���� � ��� �+ �U ���� ����� �U*������ ���\�� ��\����UT ��������VS����T Z#[ �� ���S� ���Y��� � �+ �� ���T��� � ��S � � ������� �� �T ����T�+ ���� ����������� ��!���� �"# �$%�#&��� � �"��'����#�%"��'�����"�$'��()"�$#&�$' %*#� $%�#&����� ���+�, %"�)��!������� #)�%""�$�-. �� #!� ��!�� "&�#/!���$"��#&�����0"��� #� 1�)�#,�� ��2 %/�$%��"�3�0�� !##���/(1��'�/%$#)#��)�#�,% %��� %������ %�( �',���"�3�# �� �'�� ���%�� #)�%""#/%4##���� #%��� %�� #)�%""% �)�% ##�#�)�� �)�#��!��$' %*#$%�#& %��%�5�����)�����6��#&� #%��� %�#�$')��'�� #)�%""%� �"�1�$'��)"�$%7�)�"��1�'3�� ���#3 ����"�$'����"& �)�� �)����%� %$"����3�� #)�%""#/%4## %/�� '�� #)�%""%� a����� � ���Y�� �� �T��� ��� ���Y���� ����+ ���� � T� �S� N�����(����� ���S� ������ ( �U��Y����� T�V�� ������(�� ���U�� ( C� � �� ���,��� ��T� �����S������( �����U� ��+ V�TU �U ������ �� ������ T�� �� ����Ua�+ XY�T� �� TT�, K�Y�� ������ ��� ��� �� ���+ \��� ���� ����*�\������ �,�� �� ���*U��� ��+ V� )��T� )��� � ���� ����*�\��� �� ��� *�+ ���� � � �S�� � ������ � �U��Y����� �� ��������� �� �T��(���� ���� ��� S�))�*�� ���T��� � ������� ���P��S�T� �US��V��� ( )��T� )��� � ���� ����*�\��� P��*��X � ����+ ���� �� ���� � �S� � �U��Y����� ���T� ���� )��T� )��� � ���� ����*�\�� T�V� ���V� ( ��*���(�UT ����T� ��T S� ��� ��� � ��� ��+ ���� �����a��� �� � )��TU ��� �Y��� ���� ��+ �� Z�� ![ %��(X ��� � Y�� ��P� U PU�� �*�,���� �+ ����U� ����� � ������ �� �U��Y����� T���+ ���� ����� ]5^+]1 ��*��,�U� S��T� ��� T� �+ S�T N�����(����� �� ��*�U� � �S� � �U ����+ �� ��� ������� ��������� )��TU )��� � ���+ � ����*�\��� P��*��� � ������� B� �S�T ��T+ �(X ������ T�S��������� �*�,����( �T����+ ���U� ��� � )��T� )��� � ���� ����*�\�� � *�����T�� � � S��T� ��� ������ � � � �S�� ���+ \���� �U��Y����� ��,�� �� ����,��TU� ���� ����� *����� � ��� ��� �������� � ���\����� ����+ � T�����P+ T��� � ��� �T� & ����( c ���� ��� c �������- �� ��������� ���\����T �U��Y����� ���P+ ��S�T� �,� U�� ( ����� �� ��S��S� ���� � � ����T ��� � ����� �\�X ��� � ��a���X � )��� � ���� ����*�\�� � ����������X ���U V�� �� ������ ( ��� � ���� ����� ��*T��U ��+ � �Y��� ���� ���� J �PY�T ���,�� �T���� ��+ �U� ��� � ������S������ ���T���� � ���T��� S��V�U ����S�� (� �S�����T���� � �������+ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� ����� J ��a�T ���,�� ���\�� ��\�� ���T���� T��U� ��� ���� �,���� �� ��� X �� �T����+ ���� ��� �T� *�S�,� ���,� � �T���� ���U� ����� � ������S����� ���T���� ��� ������+ ������ ���� ����*�\�� T�V�� ��a� ( �����S�+ �� ��(�� ������������������� B�S���������� �T���� ���U� ����� � ���+ �T� &���� ��� c �������- �����S����( � ��+ T�Y(X ������TTU� � ������ ��P� U �� ���� ��+ ��V��� S��T���� T�S��( J � �� T�S��(��� ��+ � �T� �� �,����T ���� �� � � ������� ��(� � � ���T c ����VS��TU� � ���� ��T��U �� ��+ a��� *�S�,� ��� ����� �T���� ���U� ����� � ��� �Y�T ���� ���� PU�� ���� U ����Y�+ XY�� ���S����V��� J�+����U�� ��� � ��� ��+ � �TU �,� ����( ���������UT � ��VSU� T�T�� ���T��� J�+� ��U�� ��� �T� �T�� �����X ��T+ T� ��X3 ��� ����,��U *���� ��(�� � ������ ����S��� U 8 � � ��S���� 9 � ������� �� ���+ ���S���� ���� ��� d K��S� �� ���T � S� ��P� � �����T�� Zec��[� PU�� ����S����U ��P����� � ���,� �T �T��+ �� ������ ��� � ��� �Y�T ���� ���� ` � ��+ �P��S�T�� ( �,� � �������� ���� ���� ����T� �������� �*��,��� � ��������� � �������� � ���� ����� �PT��� �*��,����T T�VS� ���� ��+ ��T � ��������T ���V���� �������� c � *��� ���V�T��T�� V�S��� � c ����U��� � ���������T $��(�+ K ���� ρ:;Q∂:.�∂<;Rfρ=.gρ=.α>Q?f?�Rf∂τ.;�∂<;� Q�R � ��������X Q�R ��V�� S�P��� ( ��������� ������U���� � S� ���V�T��T�� V�S��� � ∂:.�∂<.�h � Q�R � ��������� ���������S��� � ρ@A:.∂?�∂<. g∂B;�∂<. h �� Q�R M�S���U . �;�*S��(������T�X *��,��� ��+ ��S��� <��C� 8 �� ���T �P��*�T� <<≡ <� <C ≡ C� <8 ≡ 8" =. � :. c �����\�� ����������� ���U V�� � � ������ � �� ��� �� � ��XY�� ����+ S��� U $� ��������� �� ������,���XY�� �������� ���P��S�T� *�S� ( ������ ( : ��� ���� τ.;D; QD c ���T��( � ��������� �R $� ��������+ � �� ���������XY��� � ����T� :�h �" �� ������+ ��� �� ���������XY��� � ���� ����T� :�h�:A Q:A c ������ ( �U ������ ���� ����R" �� ��+ ������� �� ��� �� ���XY�� � ��*���� ���S��� τ.;D;hD.E� QE� c S������� ��*� �� ��������� ( ��������R �� �������� ���������S��� � Q�R ��V� ���P��S�T� *�S� ( �����,�U� ������ $� ���+ ������ ��������� � ��� ������� �� �� BhBF $� �����\� &������� c ���� ���-� �� ��� ����S�� � � �*� ��T�� �Q9�8R h �G Q�G c �T+ ���� ��� �������� R� ����a�� � ������U���� ( �������� �� ���� ������(�� � �US�� � � ���U � ���� � ���� ����*�\�� H3 I-∇?-D f I>∇?>D hρ-H:AD� �S� �S���U - � > � ��� � � ��� �� � ������ � ���� ���� � �������� JU��V���� S� �������� �� ��� �* ������+ �� �T�� ���S�XY�� ��S3 I>∇?>D h�DQ?>f?JRgεσQ?> _f?9 _R Q_R C����� ������T�� � ������ ,�� � �������� Q_R ����U��� �(X �������� ����VS����� ������+ \�����(��� ��*��� � T�VS� �T���� ���T� �������� ?> � ����V�XY�� ���SU ?K J ���� ������T�� �� *��� � ��,��UT �����PT���T iS��( ε c �*��,� ��(�� �����P��� ( Q@/1??1=1;jR� σ h #��!⋅��fe �VkQ�⋅T�⋅�_R� ?9 c �))�� ���� Q� �TU��� �*��,��� R �T���� ��� ����V��� N��� εσ?9 _ ����U��� �� ��� ����Y���U� S��+ ��T� ����� UT� ��������� T�3 ���� ����T� � ����T� ��T��U � � G� S��V�� PU ( �U��+ V�� ,���* �� �����U Q��� ��TTUR �� ���*��+ �UT ��������� T D�*��( ���XY�� �� ��� ���+ ��S Y�� ,���* D+� ���T�� ��������� � � ���+ �U� � ���T� ������T�T� � ������ ,�� � ����+ ���� Q_R� �P�*��,�T ,���* BD L Z�� ��[ G� ��+ � �� �* �� ��� �������� �*��,��� BI MhεDσ?D _ ������ ���� �T�XY��� �T���� ��� ?D� � ��V� � ��V������ �� ���� ����Y������ S����T� ��+ ������� T�� Q�fεDRNDIBI L �� ������\� �����+ Y������ �� ��� fεINDIBI L iS��( ���S������� � � , � �����Y�XY� �����P��� ( ����� �*��,� ��(+ ��� J���,��� NDI c �� ��*U���TU� =1@l m0n;58� �� ��U� ����U��� ���T� ��,����� ����� ���+ � ��� �*��T���� �������V��� ���T�� �� D � I3 � ��� ���� � � � � � �� � � � ��- - � O- O- - P θ θ= π∫ ∫ �S� -D � -I c ���Y�S� ���T�� �� D � I" θD � θIf ���U T�VS� ���T�� T� � ���T�� �T D � I � ������� ���S�� XY�� \�� �U � �� ���T�� �� � �T�XY�� S���� >DI J���,��U BI L ����S�� X + � �* �������� QDIBI L h�MDIBI M� �S� QDI�h ZδDI f Q�f�εIRNDI[�εD" MDI h δDI �S� @A c B. c I c �����T��� (" ������� �� ��� B.h fI∂?�∂<." ���))�\��� ���������S��� � ��� ��� ( �������� ��� ���� ���� �T��+ �� ��� ?�" ������ ( ���T�� � V�S��� �" ��������� ���P�S���� ��S��� " ���))�\��� �������� ���a����� " ��*�� ���� V����� τ.;�h fAδ.;�g�RQ∂:.�∂<;�g g∂:;�∂<.R" S�������" ���))�\��� � *��� � �S� ρ c : c = c α> c τ.; c c η c ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� M ��� ��� � ��� �������� ��+ ��� ���*�� � ��� T� ������ � :� S������ � �T���� ��U �� ��+ ��U� ����S�� X � �* ��������� Q�R� Q�R � Q�R K�� � ��� ����+ ���� � ��a�T ���,�� ����U��� + � ��(�� �T���� ����� �� ��� ����S� � �* �������� �������+ ��S��� � ∇QI-∇?R f ρ])A-:A∇? h � ����T �P��*�T� ��a���� *�S�+ ,� ��� ����� �T���� ������ ��� � ���� ���� ���S����( � ��+ a���X T� �S�T ����,�U� ���T��+ �� ��������U� ��������� � ,�� + �UT� ����*��S�UT� � �������(+ �UT� �����,�UT� ������ T� E����� T ,��������� ��a��� ���+ ��� � Z��� ��[ ��!"� ���#�������$�%�&������'��&���! $� $��(�) ���S�T��� ������� ��*��( � ���+ ��S������ T�S��������� M*� ��T� � �T����+ ���� ���� � �� � � �����\�� ��*S��� T�VS� ��������T � ���� ����T K ��� ����� �����a��� �� �U��Y����T��� ���� ���� � ��� )�*�,����� ����� �� *���� � )��TU )��� � ���� ����*�\��� �� �� ��U� ���+ � ������ ( ��� � oU�� �����S��� �����S���+ ��� ��� �� ������ � �U ������ : � S��T� + �� ���� ���� �� �U��Y����T��� T� �S�T N�+ ����(������ �� ����� �� �T���� ���U� ����� � ��T B�S���������� ��� �*T������ :�� S��+ ��*��� �c�� TT�, � � � e� S� �#� TT ��*����+ �� �� ������ (� , � � ��*��� ����T : )��T� )��� � ��*S��� )�* T�� � � � ��, � ������� � ����� ��� ���,�T ��� ���������� �U�� U ���+ � ���� � �����,���� ��� S��T� �� � � �*T���+ �� �������X � Q� � T�V�� ���S� ( �� $��(�*� �S� �����S��U ���� ��U� �* ����,���U� ��*��(+ � ��R M��,� ����� � ���P���� ����� � )��T� ��P�XS�� � � ���� ���� ���P��(a��� S��T�+ ��� �� ��U� �U��Y���� � � ����U�a�� �����+ � (X Q�T ��� �� !R C����S���U� �����S����� ��V� ����*���� , � ��� ������� ������\��+ ���(���� �����,��� S��T� ��� ���� ���� � �+ �� � ���������� ������ � ��� � )��T� )��� � ���� ����*�\�� �� �� � ���*T����� K ����( ��� �� ������ � ���� ����*�\�� � S��T� �� ���� ���� �� )��T� )��� � ��*S��� )�* *����� � � �S�� �U��Y����� 3 �� P���� ��*S��� � ���� �U��Y����� ������ ( �U ��+ ���� � S��T� � ���� ���� T��(a� ��� X �� ����������� �����\U ��*S��� )�* Q�T ��� � � D�� � D�*��( � ��a��� ��������� ���������S��� � � ��� �+ T� &���� ��� c �������- T� �S�T ����,�U� ���T�� �� S� ���+ � ���� S��T� ��T e� TT Q�� �� � ���*��U *��,��� � TTR � �� _� �� e� �$������ ��� �� �� �� ���+��% 8� TT ��� e� _� � �� _� �� ����9� TT 8� TT ��� e� _� � �� _� �� �����9� TT 8� TT ��� e� _� � _� e� ��� �������9� TT 8� TT ��� e� _� � _� e� ��� �������9� TT D�� � ��T���� ���U� ��� � ��� �T� &���� ��� c �������- ��� ����,���� ���� ����� ]1 �U�� �� �� TT S��T� ��T e� TT Q%� 2R � �#� TT Q$� !R ��� ������ � �U ������ ��# TT�, Q%� $R � �� TT�, Q2� !R �R PR �R �R :�h ��# TT�, ��h e� TT :�h �� TT�, ��h e� TT :�h ��# TT�, ��h �#� TT :�h �� TT�, ��h �#� TT ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� $��(�,R C� � �� ���,��� �� ��,��(��� � �S�� ������ ( �U��Y����� �� S��V�� ����Ua� ( �c � TT�, $� P���� ��*S��� � �S� � ������ ( T�V+ �� ��� ������ �����,��� (� S���S S� *��,����� �� ��U� T��� ������,��� (� ����,����� ����+ S�� XY��� ���\�� ��\��� ���T���� � ����S+ ��T �U�(� M����S����� ��V� ����*���� , � ��� ���*+ T����� ������ � �U��Y����� )��T� )��� � ���� ����*�\��� ������S������ �����U� ����� � �T���� ���U� ���S��� �� �P��*� �����\U ��*S��� )�* *���� � �������T � ��� ��a��� S��T� �� � �U�� U ���� ���� ̀ � ������S���� � ���,��� ���S� ��� �*T������ S��T� �� ���+ � ���� ������\�����(�� �*T�� � � � �Pp�T ���+ ����� K��S�� � T� � (� , � ��P��T� )��T� )���+ � ���� ����*�\�� *����� � ���� �������)�+ ,������ ���������� �U��Y����� T������� ��+ ��� �S���� � P��(a��� �� ���,��� �� S��V�� PU ( P��*�� � ������T� K����� ( �U��Y���+ �� \������P��*�� *�S��� ( ����S �* �����U� ������� �P��*� )��� � � ��,��(�U� ������� ���� ����*�\������ �,�� �� � ������ �U� ���+ T���� � ��� �� � ��� � ��P����� T�� �� ��U� ���Sp �� X � � ,�� � � &�����,���� ���T�� - C����S����� T�S���������� �����U� ����� � ��� �Y�T ���� ���� ��*��� � � S��(���a�T �U����� ( ���,� ������S����� ���� ��,���� ��+ ���U� ���T���� �� �Pp�T� ���� ����� ��*�U� ��*T����� �U��Y����TU� � ��*�UT� ������ T� MKCGHqiGJE$$FA MK�GN$M�M � $���T� Y�� E M ���T��� S� �����,��� ������ ��� �� M*��� � ��T����� ���� ����,������ �������� � � c ���� c � ���� �U� � c K �!�c��� ZW@:5/6j0?<n<14< r s �� sd=@?;1j0 t5/?45u5 :521;@4<61n<@?45u5 >61=@8?1;@;0 ���� v52 ���� 1?? � w �!�[ � $�T,����� $ J � ��x\ J ` � $���T� Y�� E M � S� C��T��� � ���T��� &�����,����- ��,�� �� � �� � �� �S�+ ���� �� B� �� s B�VS���� ���, +���� ���) &A���+ ����(�� ����� yys � ��1 3 � �� ��� 1 ������� ��� ��*�� + ��- c ����z��� T ��1����� ����(�� ���� c � �� c K #c� ZW@/n<165=0 W v � {2j5;? v . � W@:5/6j0?<n<14< r s 1 78 w81/@?1 = 48@/611 &?526@n<65u5- 40n<@?;=0 1 :>;1 14< >702@61j0 �� |0;@8 s |@d<7>608 60>n< +:804; 456m &.=85:@1?}40 60>40 yys ?;521;;j03 ?;80;@u1j0 1 :@8?:@4;1=1 85d=1;4>- ~48016@� �61:85:@;85=?}4� ���� v52 �� w #[ � $�T,������$ J� ��x\ J ̀ G� �T�*�\� ���P� ��+ T�,������ ���\���� ����,��� ���T�� � ���� ��S����U� ��,�� �� B� �� B�VS���� ���, +���� ���) &B� ������� \�� + �U� T� ����� C��P��TU � ������� ��U- c D���� � � B��+ ��� c ���� c K ���c��� ZW@/n<165=0 W v � {2j5;? v . �:;1/1d0;?1j0 408�5;@8/1n<@?45u5 :85;?@??0 :52>n<@61j0 48@/61j0 = @2@4;857>u5=j4< :@n<04< �� |0;@8 |@d<7>608 60>n< +:804; 456m &|@;022>8u1j0 ;?=@;6j4< /@;0225= w85�2@/j 1 :@8?:@4;1=j- �>??10� |5?4=0 ���� w ���[ _ W@/n<165=0 W v � �@2?4j ] ] � {80?16 � r �1u<+ :>81;j /@;022>8u1n02 ?121n56 0? �0?@ @2@/@6; m58 ?5208 @6@8uj �� .>85:@06 �5>8602 5m W0;>802 �1?;58j� |0;@8 5m ;<@ n56m@8 &�21/0;@ 067 @6=1856/@6;- c W@;<@82067?� r/?;@870/ c ���� c D �#c�� # K��U,�� C C � $���T� Y�� E M � �������� K B JU��Y������ ���� ����� T��( ����T�� T� �S�T o��SVT�+ �� � ������ �TUT ��V�T�T ������\�� �� vs B�VS���� ���)�� � v a���� T���SU� �,��U� � ���\����� �� &���T+ ���+����- c D���� � � $�����P���� c ���� c <;;:3�� ?121n56���� 611n 6?n 8>�8>?�6@l?8 <;/ Z]08jn<@= w w � W@:5/6j0?<n<14< r s � t080?5=0 ] | vj80?<n<1=061@ 481?;0225= />2};148@/61j0 /@;575/ �817d</@60 ? >:80=2j0@/j/ 8@d<1/5/ 456=@4;?11 �� vs |@d<7>608 456m@8 1 v ?<4520 /5257j4< >n<@6j4< 1 ?:@;?1021?;5= &{8@/611+����- �>??10� W5=5?1�18?4 ���� <;;:3��?121n56���� 611n 6?n 8>�8>?�6@l?8 <;/[ � b��(����, ` K � C��(��� ` G � N�����U� M b � S� ��������� ���������S�������� ���T�� c B�����3 B�+ ������� � ���� Z�02}4@=1n< . ] � w>2}6@8 . � � �<@8=56j1 s � 1 78 t@4<6525u1j0 :52>:85=576145=5u5 48@/61j0 |5?n5l |@;022>8u1j0� ����[ ! ����� � $ � ��\��� J i � N�����U� M b � S� C��������S�����U� ���T��� ���� � �������� ����*��S+ � �� c i�����V(�3 iOME� ���_ Zt0806 �> W � {>;?5=0 v � � �<@8=56j1 s � 1 78 w52>:85=576145=j1 48@/611 ;@581j0 1 ;@4<6525u1j0 :851d=57?;=0 �0:585d<}@ �^sr� ���_[ e |@75>j@ ^ � � �0n56 � � � .=06? { . �5/:>;@8 /57@2216u 5m ;@/:@80;>8@ 067 ?;8@?? 71?;81�>;156? 16 �.�+u85l6 ^0r? n8j?;02? �� � �8j?; ^85l;< c ���� c v52 ��e c w ��!c��� 8� TT ��� ��� ��� � �� _� �� ������e� 9� TT �R 8� TT ��� ��� ��� � PR �� _� �� ������e� 9� TT :�h ��# TT�, :�h �� TT�, D�� � ��T���� ���U� ��� � ��� �T� &���� ��� c �������- ��� ������ � �U ������ ��# � �� TT�, �� ��*S��� � �S�� �U��Y����� ���� ���� �U�� �� �_� TT � S��T� ��T ��� TT ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������ �� ����� ��������� � v18d1 r �5/:>;@8 /57@2216u 5m <@0; ;806?m@8 16 �d5n<802?41 ?121n56 n8j?;02 u85l;< �� � �8j?; ̂ 85l;< c ���� c v52 ��� c w ���c!�� �� r;@08n56 � ^ � �@8�j � � � �85l6 � r �0710;1=@ <@0; @�n<06u@ 16 �d5n<802?41 n8j?;02 u85l;< �� � �8j?; ^85l;< c ��e! c v52 e_ c w #!c!e �� W1n57@/@ w � �>:8@; � � �85n<@; | � @; 02 W>/@81n02 ?1/>20;156 5m ;806?m@8 16 �.� u85l;< 5m u0221>/ 08?@617@ �� w85n 5m #+;< s6; �56m 56 ]@/1+s6?>20;156 sss+v |0;@8102? c ]l@7@6� |02/5 c ��ee c w _!�c_!� �� C������� J B � C���V��� J M � N�S�� H E N��+ ������ T�S���������� ���\����� ����+ � T�����PT��� c B�����3 $����� ��e_ Zw0?4565= v | � w52@d<0@= v s � �<>75= � r �<1?2@665@ /57@2185=061@ :85;?@??5= ;@:25+ 1 /0??55�/@60 |5?n5l W0>40� ��e_[ �%�%���)�(�"��#&� (���#)# $� � %�4#��ST�TU�UTSU�!� ��������������������������� {567814 r s � �0;?@645 � r � {5=;>6 ̂ w -./0.� 12341.�56.789�6:�2�;1<=6:;�9<721�9676><:�>1?9327( VWCXY9�F7� FY�Z9� F.�.@YD � [RW9GZ�� N.W��F � 9Z[W� YN �.9W@[.YDZ��@9CF[Z��.8Z[.YD �@9CF[Z��F.8W� t<@ 5:;1/02 ;<@8/02 ;@8/? m58 u85l16u �j �d5n<802?41 /@;<57 ]1 ?16u2@+n8j?;02?� ?>1;0�2@ m58 /0416u :<5;5+ @2@n;81n @6@8uj n56=@8;@8?� <0? �@@6 7@m16@7 �j ;<@ n5/:>;@8 ?1/>20;156 /@;<57 �@:@67@6n@? 5m ;@/:@+ 80;>8@ m1@27? n<080n;@8 067 n8j?;0221d0;156 m856; m58/ 56 ;<@ 710/@;@8 5m ;<@ n8j?;02� ?;0u@ 067 ?:@@7 5m u85l16u� 067 02?5 56 n588@20;156 �@;l@@6 710/@;@8 067 <@1u<; 5m ;<@ n8j?;02 <0? �@@6 ?;>71@7 ~48016@� W]� �{<0845= s6?;1;>;@ 5m w<j?1n? 067 t@n<6525uj� ���������������������������� ���S��� E � � ��\���� G E � ��� �� O C ���+�� $��"$&@�+����%��$�����@�A��&��&�B���$��&@CDE�F� $����( �"�1�$\� )"�$%7� )��&1�#3� � ���\3 � ���"�$\� ��"& 6$# �\)��� )� &��$%��]� � #)�%"\/%4\] � �/�\ # � #)�%"%� B� �S�T ��T��X ������ T�S��X���� ��*��,��� �� �T��(�� ������ �T��� ����Y����� T� �S�T N�����(�(���� T������� ���� ]1� ���S� ���� S� ���� ������ )� ����� ��,��� ���� ���X��,�� ������z J��,��� *���V��� � ����� ��� �T���� ��+ ��� ����� � )��T� )��� � ���� ���*�\�z ��S S��T� + �� ���� ���� � �S�z � a��S��� � ����Y����� � � ���V ��S ������S��a��� S��T� �� � ���� � ���+ � ��� ����z��� $$% &'������(��� )�*���+ ����,��� ��� � � - % �+ � $ �G � � � �$ � � � � H � � �% �+ � $ �G � � � �$ � � � � H � � �% �+ � $ �G � � � �$ � � � � H � � � � � � � � � � � %�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H�� %�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H���%�+�$�G����$����H����%�+�$�G����$����H�� % �+ � $ �G � � � �$ � � � � H � � �% �+ � $ �G � � � �$ � � � � H � � �% �+ � $ �G � � � �$ � � � � H � � M����S������ �T���� ����� *�����T�� � ��� �� ���� ����� ������ �T�,����� ��� �� �� � s6w Q�������� � ����R `))�� ����� ( �P��� *�� S�� � S� ,���� γ+�*��,���� � ��*��,��� ���)�����+ \��� ���� ��S�� Q�������� � '��(���R B�����������U� ��� U � ��� ������,��� ����T����� �*�� \��� QD���� � � E�*�T��R M�S�� ����� (� ���� ��,���� ����� ������T� ���������S������� � ��� ���� QD���� � � K��� ��R J�� ��� ������S����� ���T��� � P�*� �� )� ����� ��,����� ����� �� ��������+ � ��+P��(���U� ��( ��)���� ��U� )� �����T����� Q�������� � ����R K�������*�\� �� ���� S���U� � T���������(�U� ��� �T�� \�)����� �P��P� + �� �������� � ����� ������T�� � ��� ���� Q�������� � GS����R C��Ua���� ��S�V��� � S��S�� �� �� ��� ��*S��� ��� ��*� S�� � � ���� ��,�+ � �� Qo������(� � B����R M����(*������ )��T���*�����U� ����*� ���� S� �\���� ��,�� �� ��� ����� �+ ������� ��S�� ����,����� ��� �T �����U ����T� ��� ���� �����(��+������S�+ ����U� �Pp�� �� Q�������� � '��(���R JU���� �T���� ���U� S� ,��� S������ � ��*���*�� ���T� �� ������ �� ���S+ �U� ���� ����� ���T�� Q�������� � H(���R b� �S��S � ���Ua����� ,��� �� ��(��� (X � ���� ��+ �������� �P��� � �b ���� �� �� ������ )��)�S� ����� Q�������� � N�����\UR C���,���� � ����� �� a�����*���U� ���(������S�U� �\�� ��� ���� �� ������ ���S������ E��Jvs Q�������� � '��(���R b� ����� ��,����� ����� �� �� ���������S�� D+]1��D+]1 Q�������� � '��(���R � � �