Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства

Исследования показали, что пленки фталоцианина меди, обладая совокупностью уникальных свойств, могут успешно применяться в качестве газочувствительных покрытий резистивных структур. Толщина пленки, в отличие от температуры, не является определяющим фактором для получения высокой чувствительности. От...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2012
Автор: Алиева, Х.С.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51682
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства / Х.С. Алиева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 42-45. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859537741817053184
author Алиева, Х.С.
author_facet Алиева, Х.С.
citation_txt Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства / Х.С. Алиева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 42-45. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследования показали, что пленки фталоцианина меди, обладая совокупностью уникальных свойств, могут успешно применяться в качестве газочувствительных покрытий резистивных структур. Толщина пленки, в отличие от температуры, не является определяющим фактором для получения высокой чувствительности. Относительно низкая рабочая температура таких структур позволяет эксплуатировать газодетекторы в экономичном режиме. Дослідження показали, що плівки фталоціаніну міді, володіючи сукупністю унікальних властивостей, можуть з успіхом застосовуватися як газочутливі покриття резистивних структур. Товщина плівки, на відміну від температури, не є визначальним чинником для отримання високої чутливості. Відносно низька робоча температура таких структур дозволяє експлуатувати газодетектори у економічному режимі. The research has shown that copper phthalocyanine films, having a set of unique properties, can be successfully used as gas-sensitive coating of resistive structures. The thickness of the film, in contrast to its temperature, is not the determining factor for high sensitivity. Low operating temperature of structures with copper phthalocyanine films allows to exploit them in economy mode.
first_indexed 2025-11-25T23:50:44Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� ��� ��� �!� ���������� � "#��$��%&��� � '���� (�)�����*��� �������+�,����� ���� � �� - ./0-122230-45 1/ 6789(8: �;7<8(= 8 �:>?:@"��@= ?7:(;� A�"7;B8"(8(" >:�8 (" 8C D6;ED�6" � �� ������������������������������������������� ������� ��� �������� �� ���������!" ��# ������$���� ��%����&������� �������� ����$������ ��������!"����&!��#�&��� ����!" �&����&��'��(������������������������������&���&!����������� ����&� ��� (��������&�� ��������������! ���#���� ��������� ����)��� ���������������&������������&���&������" �&����&�����������*� ������&������$��� ������&!����*�����������&�+���� ,� ���!�� ����-�$������ ��������!#�*��������&��� ������� �&����&������!������������� ������&� (���"�&����&� �������������������� �� D ��� ��F� �����$�F� �#+���� * ���G ���H ��%�+�� * ��% %��� ���+ ���I��� J�� ���� I�H ���� ���+�� G � � ��,�� �� ,��� �� ��*�F� ���+�� �� K� L ��#�%� �� ���� M � � �������+ +� �������%�F� ���������%���� (�� %� � ��+� $��*I�� �� ���� ���%� ��� G NM �� ��H ���� �����% O�� ����+����� �����*#��+F� � ��,�� �� �������� �����%�+�� � ����� +� ���H ��F� ��� ����������� �����+�%F� J ���)��H ���F� � ���� ��*�� ����� ���F� ��$� �G ��� $���� ��#��� �� ��������G � +� �������%�F+� ���������%����+� �+���� ���� N�O� ����� � ��,�� �� NM � ����+���F+� ����F � +� ���H �+� ����G � ��#�� ���F� ���+�� F � J ���)�H ������F+� ������+� ?��%�� �$����&��� � ���� ���+�� �� +�&� %�� ��� * %���� �� P�Q A ���)�����F +�%� ���+���G � � �� ���H ��� ��� ���$���� ������� ���F� � �� �����F� +� �����F %� �����*#����� � ��#�,��� �� ��*H �F� ���+�� �� M � �$R �� � � �� �F����� ��+�H � ��+�� ����� *G� � ���� ��*��� %�� ����� *G� ���� ����F+ ���+ �����%�+�� �� ��#��� ��H $�,�� �+���� ���� M��� ��J�#�,����� � ��%���)����F� ����H � �� J ���)������� +�%�� ��� � %����� ����H +���F� +� �������� ���*�� #���� � ������� � ��&�+�� �� ����,��� � ��+��$��$� ��� ��H &�+�� �#+����� � +����� %����� J�� ���� 6 ��� � O�� ��$� � �#�,����* ��� ��� �+H ���� ��F � ��O��F ������ J ���)������ +�%� K � ��H�H�� �%�)�����*J�+��� J ���)������ +�%�L �� ����� �� NM �� �� ������ �� ��#%��� ��#�� ���F� NM ���+�� ���* +�������� ����� �������� (� ���������H ��� � %��� � ���� �#�����GO�� ��%��&�� �# ���J��� +� �%�+ %���� ������� J� ��� ����H J�� � �%��� � ����F J��+������� ��#�� ��H �F� ������� ��*� �� ��F� �%�����+���� �F���H � � � ���* %� ,��� �+���� ��F� � � %����� S �� ��,��HI F����� ���$��,� F� ��#�� �� @��� �H ��� +�&%� �����%�O�+� %���&��+� S �� +�+ �� +� ����#�)�� �� ��,��H���G,���F� ���$�IH ��� � ������� �� �����*#����� �����* � ��%H ����+ ����%� ���O��� ��� +� ����#�)�� S ���S��2 +�+ (� ���$�I�� +� �%�+ �����+���� ��+�,�H ����� ���F���� �������� ������ J ���)����H �� +�%� �� ��� ��� �� ��O��F � ��+��� ��+�O��� ����)��F� +�������F ?����� ����H �����* �%�����+���� �� �$��#�) � �� ���� ��� ����)����� ��#��� ��� ����� ���O��� ������ ���*��������* � %����#��� ���!S��! +�+ 6 ��%� ���%���� ��*�F� �������+�� �� $F�� �F$���F �� �+��*�F� ��&�+F ����,��� ���H ��� K �+���� ��� ��%��&��� �+���� ��� ����H �� �� � � ����* �����+�L � ���$���� �F����� �������#��%�+�� *G �� ����� ���� �� @�� � T�����+�� * ����� ������ ������ J ���)��H ���� +�%� � �� ��O��F ��� ��#��� �+���� ��� .� ;+ ���� ���� ��U ��! ��V � ���2 ��2 ��V2 /� +�+ �2�WX ���WX ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� 8����%����� ���� ��,����� ����+� ��� ���H ��� �����%��� ��� ���� &���� 0 +���� �� 6� ������*�� ��� 0Y�� 6 ��$�G%��� ���*�F� ���+����� %���J ����� ������ . ?���,���F� �������+�� ��*�F� ��#��* � F ����#���� , � #�����+�� * .�� ��O��F �$��#H )� ���� ��������F� ����� �� K���� �L 'F�� ��&� �� ��������� , � ���+����� %���J �����H ������ ��$�G%�� � � ��� ���� &��� � +�H ��� �� 6� ���,�+ ����,��� %���J� #����� � �+���� ��F (� ���� � �����%��F �+���� ���F� #�����H +�� � ���+������ %���J� ����� ������ ������ ��#��,��� ��O��F� �#+�����F� ��� 0Z2 6 K.�'� .'�S ����� ������� ������ ��� �+��H �� ��� 1� ��� �� � ������ ���#� ����� �� �� ����H ���� � ,���# �� +��[ K.'\.�'L2.�'��S ���+��H ��� %���J ����� ������ ��� �+���� ��� 1L ��� ��%�� �# �������� � �+��*I����+ ��O��F ������ ����,��� %���J� �����,���� � ?���H �,���� �� ���+ �����%������+ �+���� ����+ %����#��� %���J ����&� ����� � .'Y.�' K����� ������� �� ���+���+ ��� � L ;%���� � ��� �+ ' %���J �+��*I�� � � � ��� ����%�H ������ �+���� ��� ��� #��� +�� � � �� ��� �H ������&�F�� � �%���� .'].�'�K����� ����H ��� �+��*I�� � L ��+���� ���� ��� �� ���� �������%� ������� #���� %���J�� +��*I� %� $���� ��� F� ������ D��%�� � +� � * ��,�H � ������ �#+������ ����� ������ ������ ��H O���� ���! +�+� �� ���� ��$�G%�� � ��� �+H ���� ��� �FI� ����D ?� ���� ���� ��� �� ��� �� #��� � ��#�F��+� ������ �� ���*�J�� � ���H ��F� � ��#��)� +�&%� ��O���� ��� +�H ����#�)�� � ��O���� �����%��+�� ������ %�� � �,�� ������ "������,�F� ��#��* � F $F�� ����,��F � %� ������ J ���)������ ���+�� � P�Q 8# �+���� ���F� #�����+�� �� $F�� ����%�H ���� #��,���� ������� �� ���)�� �����%�+�� � �� ������ ��O���� ��� %�� ���! +�+� ���&H %���F� � � +��J��� � ���FI���F+ ��%��&����+ �������%�� ������ �� ���)�� �����%�+�� � ��H � ��� �� ���S��� �6 �� $���� ��� F� ������� ���&%���F� � �����+� � ��\2 ++ � � � #��,�H �� ������� �� ���)�� ��� ��� �� ��!S��� �6 � ��#��� ��� ����� �F���� �+���� ����� ��+�H �$��$� �� �� ̂ ���&������ ������F�_ �$��#)�� ��#��H ���F� � ��� �� ����� ���� �F���� ,��� ��H ��*��� * � ����%�+ �#� � K`a3L ?���� �� � ��#%��� �� ��#� %�&� ��� ��+�� ��� �+����H ��� ����� ������� +���� ,�+ #� +��� � ���� �H �������� � �� !�b � ����%���� #��,��� � %� ������ &� %����$)�� ���$��%�+� �����,� * �+H ���� ��� ;%���� ����� ��+��$��$� �� ��� �+H ���� ��� �!�WD ��,���G �������%� * ��,�� ���H �F� �#+����� ����� � ������c �+��*I�� � ,��H � �� ��*��� *� �����,���� � ����� �������� � ���+ ��� ���� �������� ��� � K�+ ���� �� �%� 4� S �� %� ��#%��� �� ��#�� 4 S �� ��� ��#H %��� ��� `a3L ���+��$��$� �� ��� ���WD ��H &� �� �����%� � �+��*I���G ���+��� ���� �H ������� � �� ��� � �+ �O� $��*I� �����,���� H � ����� ������� �$��#)� D��%�� � +� � *� , � �������� P�Q� ��� ��H +��$��$� �� %�&� %� ���WD � ��#��* � � � ���H ���F� �#+������ ��$�G%�G � �#+����� ����� � ������ J ���)������ +�%� S �����,���� ���H +��� � ������ �+��*I���� ����� ������ � ,��H � �� ��*��� � � `a� 6�� ��� �+���� ��F �� ����� �� ������ J ���)������ +�%� ����+� ��H �����* � � P�Qc ��� �+���� ���� �FI� ���WD ��$�G%��� ������% +� ������ �# αHJ�#F � βH J�#�� ��� �� � ����� �#+�� ���* � ����� �� ����H �� S �����,����� ��#+�� #����� �����,���H ���* ����� �������� �+��*I��� %���J ����H +� ��� 6 P2Q ��$�G%����* �#+����� ����� � ���� ������ ��� �+���� ��� �FI� ��2WDc ���%I����* ,��� �� ��*��� *� �� �+��*I����* ���+ ���� �������� ����� ��#%��� �� ����H %�� �#� � 6 P�Q $F�� �� ��������� , � ��� �+H ���� ���� ��� � � ��I�+ ���,��� �FI� �!�WD �������%��� ��,�� ����F� �#+����� ����� � @�� � ����+��� ���)����� �%���$)�� K5L � %����$H )�� K6L ̀ a3�%� ��+��$��$� �� K�L � ����� ��+�H �$��$� �� ������ ��� �!�WD K�L 424� ��� ��� ��� ��� � �� �� 6��+ � � � �� 6��+ � � � � @�� � ��+���� ���� #�����+�� * %���J� �����H ������ ������ ��#��� ��O��F K� +�+L ��� ��� ��� � \��� 2� ��� �2� ��� '�WD ���! +�+ ����2 ��! K. ' \ . �' L2 . �' �L 424� ��� ��� ��� ��� � � $L ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� ������ J ���)������ +�%� S �#+�� ���* J�H ������%�+�� * � ������ �� ���)�� �����%�H +�� � 6 ���)���� �����%������ � ��+�O*G ����)�H �F� +��������� �� �#+�����G ��#�������� ,��H � F ���� ��F $F�� #�J���������� �+���� �H ��� ��� �� ���� ��,����� �������%� * �#+���H ��� +���F ������ J ���)������ +�%� �� ����H ��� M � �+���� ��� ���#����* ��� %�� �V2WD ?�����*�� � ����J��+�#+�+ +� ������ � � �� �� #��� K��� ���� �+���� ��� J ���)����� �� ����� � � L� +�&�� ���%����&� *� , � �������H %� ���% ���$� �� #����� � �������+ � ��� ��H ��� J��+��F ���*J�+���*��� �����F K���� �L� ��� �+� � �#+�� G � ����� �� ������ ?�H��H %�+�+�� �+���� � � �� ������� �� #��F ��#��� ����� ������� � �F���� ,��� �� ��*��� * � ��H ��%�+ �#� �� � �� ���% �����%� � �#+�����G �����%�+�� �� ���%I���G ,��� �� ��*��� � � %����+ ��,�� ����F+ �#+����� + ������ ���� %� � ��H �� H$� ��HJ ���)������ +�%� ����� ���%� ��� �� � ��GO�� ����J�����F� ����� ,��H � �� ��*��� * � ����� � ���� �,���� �� ��� H %�� +��*I�� � ����� ������� ������ ��� ���#H +����� ��O��� S � ������*�� ��# $��*I� 6 ���)���� ���F���� ������ $F�� ����$�H ���F %�� ��&�+� 6 �����+ ���,�� ���F����� +� ������ �� ��%��&�� �����%����* ���� �,�H ��� ���#� 6� � ���+ ���,�� %��&� ��* � ��%H ��&��� ���,��� $F� #���F #��������� � ����H �� ��* � J ���)������+ � �,���� ������*��� +��� ���������� ��� �F����� �+���� ��� K�2�WDL ?� �� �,���� ���� ����� ���+��� #�H ������ � ��F����� � ����#��%��� ���F����� J ���)������ �� ��%��&�� 6 �$��� ���,� � �+���� ��� ��%��&�� $F�� ��+�� ��� ?������ ����,���F� � �����+ ���,��� $F�� $���� ,��� �� ��*�F � ����%�+ �#� � � �+��� +��*I�� ����� �������� ,�+ �� � ���+ M � ��%H ���&%�� ���%����&����� , � �+���� ���*J�H +���*��� ������� �$��������� �F���� ,��� ��H ��*��� * � ��#��� ����� �������c ��� ���+ ���F����� J ���)������ �� ������ ��#��&� *H � � �+�� � � ����J������� ������� ���&%�� � �� ��%��&�� ?�� � ���+ �����$� ���F���� ��� �F����� �+���� ��� � � ������ ����� � H � � � �� ��%��&�� ����%�� J ���)����� +�%� $�# ����J�����F� ����� N��� �� ��*��� * �$��#)�� � ����%�+ �#� � � ��� �+ �+���� ��F ��#�� �+��*I�� � M � ��%H �� �� ���� � �� ������� ���I�%I�� ��+��$H ��$� �� ��� �+���� ��� �� �FI� ���S�V�WD � �,���� ������*��� ,����� ����� ���� �F���� ,��� �� ��*��� * � ����%�+ �#� � ��� ���� �H ,���� � �� � ��GO�+ � ����� �� %����� ��#F ���+��$��$� �� ���$��%�+� %� ���%� ���O�H �� �#+����� ����� � ������ � ���)���� ��$�H F� ���%� ���FI�G �+���� ��� %� ������H �� %����$)�� �� ������ ��O���� ���! +�+� ���&%���F� � � +��J��� � ���FI���F+ ��%��&����+ �����H ��%�� �� �������� �����$��� * �$����&��� * ���%F �#� � �� ������ +���� � ��0 8����%����� ����#���� , � ��#�,��� �� ��*H ��� * +��� #����� � ��O��F ������ � , � � �����,����+ ��O��F ������*�� �����,���� � ���+ %����$)�� ����� ��#%��� �� ����%�� �#�H �� �%���� ��� � �+ ���,I�G � � �$��*��� * � �������#��%�+�� * ����+� ��� ��� 8����%����� � ��H�H�� �%�)�����*J�+��� J ���)������ +�%� ����#���� , � � � +� ������ �$��%� ���������� *G ������*�F� ����� � S ��#��+ ����� �������+� �F����� ,��� �� ��*H ��� *G � ����� ����� *G � ����%�+ �#� �� +�H &� ����I�� ���+�� *� � ��,�� �� ��#�,��H � �� ��*�F� ����F �� ��#�� ���F� � ��� �� ���O��� ������� � � ��,�� � �+���� �H �F� �� �� � � ����%�� GO�+ J�� ���+ %� ����,��� �F����� ,��� �� ��*��� � � ����H %�+ �#� �� �%���� %� ����,��� � �$��*�F� � ������#��%�+F� ��#��* � ��� � ���� ��*�� +�H ���� ���+��� %����$)��� �%�$� �� ��������H ,����� ���)����� K�� �#$�&���� ��#�F��� ����H @�� � D ��� ���� J��+��� � ��H�H�� �%�)�����*J�H +��� J ���)������ +�%� >\X/� d�Zea�\`f\X�!f�V d� @�� 2 T�����+�� * ��#�,��� �� ��*��� � ������ ��O���� ���! +�+ � �+���� ��F ��� ���)�� ��H )�� `a3 � gg0 424� ��� ��� ��� � ��� �2� '�WD ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �2 ��������� ������ ��� �� �� �����,�F� �,�� ���L ��� %��&�� ��� ��H � * � ��2 %� ��V +�+ ��+���� ��� ������� �)�� ��#�� ���F� ���H +�� �� �� ������ ����+� ����F� ������ �� %��H &�� $F * �FI� �V�WD S , �$F �� �������%�� ���% ����J������� �����F� �$���������GO�� ��#��� ����� ������� � �F����G ��#�,��� ��H ��*��� *� �� �� ��&� ��WD S , �$F ����G,� * ��� ��� ����� �� ,��� �� �*�F� ���+�� ����� ��#��� %����#�� ��$�,�� �+���� �� J ���)�H ����� +�%�� � � ��,�� � %����� J ���)����H ���� %���� �����*#������ ,��� �� ��*�F� ���H +�� �� �� ������ � ��� +� ����� � ��#�%� �� �H ��� �����+�,�F+ � �,�� #���� �������� ��$H ���� D�������� ����,���F� ��#��* � �� � ���$H ��������F+� %���F+� �� J ���)������+ +�%� ���#F��� �� �� , � � ��&%�+ ������ ��+ ���H ,�� � %� ��&%��� ��� J ���)������ ���$��H %�+� ��%$��� * ���� �� �+��*�F� ��&�+ ����H ,��� ������ � ������ �F� ������ ��$� F � ��� ��� ,��� �� ��*���� ���+�� � 8D?;7hT;6"((=: 8D�;N(8�8 � i1/jkl m � n-11- o-1p4- q � n-/5r s kl -5 sj tgl404ukv w-u ukjut1 04p1turulk0 xt1 -pp/1-lk -jv 1k-5Hl40k 0k-u/1k0kjl tx j4l1twkj v4t.4vk -l ggy 5kzk5 22 ekjut1u -jv spl/-lt1uc i X{k04p-5 S ���! S qt5 ���� 4uu � 7 n ���S��U � "����� C D � D����+���� X X � >��I�%�� > ( |�#�,��� �� ��*�F� ���+�� F �� ������ ������ e4npX5� 22 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ��� S ���� S � � S D 2!S�� Ps54kz- f e � e/5kr0-jtz e e � }/1u{/v54 } ` 22 ~k�{jt5tw4r- 4 �tjul1/41tz-j4k z �5k�H l1tjjt4 sgg-1-l/1k ���� ̀ � n 2!Q � �/{H�-jw �kk� X{4Hfu4/ X{-jw ̀ a� ukju4jw p{-1-plk14ul4pu tx ptggk1 g{l{-5tpr-j4jk x450uc kxxkplu tx 5t� lk0gk1-l/1k -jjk-54jw -jv vtg4jw l40k 22 ekjut1u -jv spl/-lt1uc i X{k04p-5 S ���V S qt5 ��U� 4uu � S n �V�S�VU � n-v0- ` � sv4lkk mtu{4� s�-r e4jw{ kl -5 `a� ukjut1u �4l{ 1tt0 lk0gk1-l/1k tgk1-l4tj -jv 5tjw lk10 ul-y454lr /u4jw ptggk1 g{l{-5tpr-j4jk l{4j x450u 22 ekjut1u -jv spl/-lt1uc i X{k04p-5 S ���U S qt5 ���� 4uu � S n ���S�2� 2 �/{H�-jw �kk� X{/-jH�4 fu4-t� d/jwHf�- fu4-t sjjk-54jw kxxkplu tj l{k w-u ukju4jw g1tgk1l4ku tx ptggk1 g{l{-5tpr-j4jk x450u 22 ~{4j et54v �450u S ���� S qt5 ��!� 4uu �S� S n �!�S�!� � ~trt{4vk ~-j-�-� }4lu/-�4 }-l-�/0-� drt f41t{-u{4 }tv/5-lkv g{tltp/11kjl tx kz-gt1-lkv ptggk1 g{l{-5tpr-j4jk l{4j x450u �� ~{4j et54v �450u S �UU! S qt5 ���� 4uu �S � S n �U�S�UV 8������ ���������&����� � ��&� ���� �69�:9�6:56�$� ��������������������������� s54kz- f e ������ �� �� �!"�## $"% ��&'�($�)(� �� ��''�( '���$*��+$" "� � *&# �" ��� ( '(�'�(� �#� ;<=>?@/A- BCADA<EAFGFH<�<I<J<EG��@<AFAGFH<�AG@KLGK@<� L?CGFEB� MFIJA�� /<G<LGFEB� LNC@CLG<@FAGFLA� ?M� L?OO<@ ONGNCI?L=CEFE<� ~{k 1kuk-1p{ {-u u{t�j l{-l ptggk1 g{l{-5tpr-j4jk x450u� {-z4jw - ukl tx /j4�/k g1tgk1l4ku� p-j yk u/ppkuux/55r /ukv -u w-uHukju4l4zk pt-l4jw tx 1ku4ul4zk ul1/pl/1ku ~{k l{4p�jkuu tx l{k x450� 4j ptjl1-ul lt 4lu lk0gk1-l/1k� 4u jtl l{k vklk104j4jw x-plt1 xt1 {4w{ ukju4l4z4lr �t� tgk1-l4jw lk0gk1-l/1k tx ul1/pl/1ku �4l{ ptggk1 g{l{-5tpr-j4jk x450u -55t�u lt k.g5t4l l{k0 4j kptjt0r 0tvk s�k1y-4�-j� i-�/� ̀ -l4tj-5 sk1tug-pk swkjpr PPPPPPPPPPPPPPPPPPP ��QR�� ������,-.�/ 01/2�3� -.4/15 607.18473439 :4;4 07 0<:-<�709�� 37 => /.7�0�/1�04� ��G,���� ����-�$����������#����������&��� ���D ��� �&����&�������� �������Q����� �����������Q "�&����&� �����������Q��Q����Q Q� �����%&��� ����#���� O� ������ J ���)������ +�%�� ����%�G,� �������� G ������*��� ���� ���� ��� +�&� * # ������+ #�� ������� �� � ��#�,� ���� ����� ��#�� ����� � ��� �� ���O��� ������� �� ��%+��� ��% �+���� ���� �� � ��#��,��*��+ ,��H ����+ %� � ��+��� ������� ,� ����� � 6�%����� ��#*�� ��$�,� �+���� ��� ���� � ��� � %�#��� � ������� ��� � ��#�%� �� ��� � �����+�,��+� ��&�+� "#��$��%&��� + '���� (�)�����*�� �������+�,�� ���� � �� ��������� � � � � � � �� � � � � �������� ��������� �� � ����� ����������� ����������� ����������� � ������������������ �� !� ��"#$�� ������������ �� ���� � ����������������� ����������������������� ������ ������������� ���������������������������������������� �������!���� �"�!#������!#��������������!#�������#����������� $�������� �%����� � ������$�������� �����������&�'��� �����!��� ������!�������!%����������������������!��� �����!%����� �������� ����� �� ������!�� � �����!� ��� �������� ��� �������!#� (��������#%� � �������#���� ��������� ���)���������� �������������$�������&�*���� ������� � ��+���������+"���������!,�$���)��%����!������������������� �����������%����! �������%�������������� ������!��������������������! ���������� %���� ������ ������������#���� ������������� ���������%� ���)���%��� ������#��������������� �!#&���������� �� ������������ ���������� ������� ��� �� ��������! � ������� � �� ��������������)��������%����������������������������������������$����!#������&
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51682
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-25T23:50:44Z
publishDate 2012
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Алиева, Х.С.
2013-12-06T17:34:59Z
2013-12-06T17:34:59Z
2012
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства / Х.С. Алиева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 3. — С. 42-45. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51682
621.382
Исследования показали, что пленки фталоцианина меди, обладая совокупностью уникальных свойств, могут успешно применяться в качестве газочувствительных покрытий резистивных структур. Толщина пленки, в отличие от температуры, не является определяющим фактором для получения высокой чувствительности. Относительно низкая рабочая температура таких структур позволяет эксплуатировать газодетекторы в экономичном режиме.
Дослідження показали, що плівки фталоціаніну міді, володіючи сукупністю унікальних властивостей, можуть з успіхом застосовуватися як газочутливі покриття резистивних структур. Товщина плівки, на відміну від температури, не є визначальним чинником для отримання високої чутливості. Відносно низька робоча температура таких структур дозволяє експлуатувати газодетектори у економічному режимі.
The research has shown that copper phthalocyanine films, having a set of unique properties, can be successfully used as gas-sensitive coating of resistive structures. The thickness of the film, in contrast to its temperature, is not the determining factor for high sensitivity. Low operating temperature of structures with copper phthalocyanine films allows to exploit them in economy mode.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы электроники
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
Вилив товщини плівок фталоціаніну міді та температури на їх властивості
Effect of thickness and temperature of copper phthalocyanine films on their properties
Article
published earlier
spellingShingle Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
Алиева, Х.С.
Материалы электроники
title Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
title_alt Вилив товщини плівок фталоціаніну міді та температури на їх властивості
Effect of thickness and temperature of copper phthalocyanine films on their properties
title_full Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
title_fullStr Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
title_full_unstemmed Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
title_short Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
title_sort влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
topic Материалы электроники
topic_facet Материалы электроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51682
work_keys_str_mv AT alievahs vliânietolŝinyitemperaturyplenokftalocianinamedinaihsvoistva
AT alievahs vilivtovŝiniplívokftalocíanínumídítatemperaturinaíhvlastivostí
AT alievahs effectofthicknessandtemperatureofcopperphthalocyaninefilmsontheirproperties