Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционность...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51713 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51713 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. 2013-12-07T01:29:35Z 2013-12-07T01:29:35Z 2012 Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51713 621.362:621.383 Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано практическое применение обнаруженного явления. Розроблено дифузійну модель рідиніюфазиої епітаксії двошарової системи в умовах зміни швидкості охолодження розчину-розплаву. Виявлено, що після припинення охолодження перехідний процес продовжується, за рахунок чого продовжується і зростання шару. Цей ефект пов'язаний з припущенною інерційністю процесу дифузії. Показано практичне застосування виявленого явища. A liquid phase epitaxy diffusion model of a two-layer system at instable cooling speed of the solution-melt has been developed. It was discovered that the transition process continues even after the termination of cooling, clue to which the layer growth continues as well. This effect is connected with to the hypothetical inertia of the diffusion process. The practical application of this phenomenon is shown. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем Массоперенос при рідиннофазній епітаксії двошарових систем Mass transfer in liquid-phase epitaxy of two-layer systems Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем |
| spellingShingle |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем |
| title_full |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем |
| title_fullStr |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем |
| title_full_unstemmed |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем |
| title_sort |
массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем |
| author |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
| author_facet |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2012 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Массоперенос при рідиннофазній епітаксії двошарових систем Mass transfer in liquid-phase epitaxy of two-layer systems |
| description |
Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано практическое применение обнаруженного явления.
Розроблено дифузійну модель рідиніюфазиої епітаксії двошарової системи в умовах зміни швидкості охолодження розчину-розплаву. Виявлено, що після припинення охолодження перехідний процес продовжується, за рахунок чого продовжується і зростання шару. Цей ефект пов'язаний з припущенною інерційністю процесу дифузії. Показано практичне застосування виявленого явища.
A liquid phase epitaxy diffusion model of a two-layer system at instable cooling speed of the solution-melt has been developed. It was discovered that the transition process continues even after the termination of cooling, clue to which the layer growth continues as well. This effect is connected with to the hypothetical inertia of the diffusion process. The practical application of this phenomenon is shown.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51713 |
| citation_txt |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT drančuksn massoperenosprižidkofaznoiépitaksiidvuhsloinyhsistem AT zavadskiiva massoperenosprižidkofaznoiépitaksiidvuhsloinyhsistem AT mokrickiiva massoperenosprižidkofaznoiépitaksiidvuhsloinyhsistem AT drančuksn massoperenosprirídinnofazníiepítaksíídvošarovihsistem AT zavadskiiva massoperenosprirídinnofazníiepítaksíídvošarovihsistem AT mokrickiiva massoperenosprirídinnofazníiepítaksíídvošarovihsistem AT drančuksn masstransferinliquidphaseepitaxyoftwolayersystems AT zavadskiiva masstransferinliquidphaseepitaxyoftwolayersystems AT mokrickiiva masstransferinliquidphaseepitaxyoftwolayersystems |
| first_indexed |
2025-12-07T17:00:40Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:00:40Z |
| _version_ |
1850869641683927040 |