Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем

Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционность...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2012
Main Authors: Дранчук, С.Н., Завадский, В.А., Мокрицкий, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51713
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860055302592790528
author Дранчук, С.Н.
Завадский, В.А.
Мокрицкий, В.А.
author_facet Дранчук, С.Н.
Завадский, В.А.
Мокрицкий, В.А.
citation_txt Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано практическое применение обнаруженного явления. Розроблено дифузійну модель рідиніюфазиої епітаксії двошарової системи в умовах зміни швидкості охолодження розчину-розплаву. Виявлено, що після припинення охолодження перехідний процес продовжується, за рахунок чого продовжується і зростання шару. Цей ефект пов'язаний з припущенною інерційністю процесу дифузії. Показано практичне застосування виявленого явища. A liquid phase epitaxy diffusion model of a two-layer system at instable cooling speed of the solution-melt has been developed. It was discovered that the transition process continues even after the termination of cooling, clue to which the layer growth continues as well. This effect is connected with to the hypothetical inertia of the diffusion process. The practical application of this phenomenon is shown.
first_indexed 2025-12-07T17:00:40Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��� ���� ��!���� " ���������������� ���� ����������� ���� ��� � ����� �������������� ����� ������ �������� �#$����� ��%�����&�� '����� ���$�'� � �#$������ ��%�����&�(� ���� ����)����� �������� � *+,-./! 0--12345�678� ,945.:4.;2,-./�53 <=>>#?@A@B#> ?AC DC��#E=FB#G H?C�=�>CC �I�J>K#GBLJ >C>�@< M ��N�� ��' ���$� ��&��� ���� ������ �����+ O��� ��P � ��������)����� ���%���( Q�$��� ��� ��� ������ R������ ���'������ ����)��� �����+ S( ��� ����� ����� � ������ � �N'����� �����+ � � ����Q$��� ��� ����+��������� ���)O�PT�� ��)�� �� ������ ?�� � �' �'��&O�� � ��� ��� & $������%�� U�V� �����)���� � ���� ��(� �(��$ ���S���� U�V� �����)���� � ��T��� ����� U V� �� ��������� ���%����'� ��� � '��������+ �(� ��� �' � � �� �����S�� ���S��$�'� �)� (+ �� & ���S����� � '������������ � Q�$��� W�N� ��� ��N��' �N'������ ������ � ����Q$��� ��+ � ����+��������� CN�)���P � �� ���S����� �� ���� T��� ��� � T� ��S� �� �������� �������� �� ����)��� ��)�� ����(� ����� �N Q�$+ ��� W�N( S(� �(S��� '� �$ ��� ����� ��� ��N+ ��' �N'������ ������ � ����Q$��� ��� ����+ �������� �N �N���� ���'�Q� �� '�Q$� $��' ����N�� ��&�� �������Q���('� ��$��Q��'� X ��� �� �Y� A���'� ��' ��N��S� ����P $�W+ W�N�����P '�$��& ��� ����� ��� � $����' '� �$�� �� ���'��� ��� � ��� �� �(���� � � ����+ ��� ��Zτ�[δ��X\�Y� X�Y CN X�Y ���$�� � ) � ��N'�T��� � ������$�+ ����� ���%�� ��%�� ��T�� �� � Q�$��� W�N�� �� N���(� � ���� ����N�%��� �� ��$��Q���� N� ���' ��� � ������P ������� ���� &� �� ���+ '� ����)��'� �S]�'� Q�$��� W�N(� ) � �� � + � ��� ����' ��� � ̂ �N��� ���'�Q� ��_ U\V� ����� ������!""#�! ���$�% �&'(�)!�� "��� *�+,!���-!!��.#/-' *� *�-!-�&%0�.�#-' .!$/�!�%&�&�!$ -� � -�!� /'�)�&�!$���-�. ��1��-,'�.��������#)&� ��2� �, -'&�,�&���3&�!$� /'�)�&�!$�,&�&/ ��0* ,� 4&--�,� � ')�&�-$�����-2&��2&5 �,� � ')�&�-$�!�� -��-' $��6� ��+""&���-.$����-�,�&�, '�5�&% * !�&�4! �� -�(7�,� 4&--���!""#�!!��8 ����� �,����!2&-� &�,�!%&�&�!&� ����#)&�� 5 �$.'&�!$� �'72&.0&�-' .�9�+,!���-!$��%�-- ,&�&� -���!""#�!$����-�. �1��-,'�.��, �' )�����&)!%��-' !���&%1 ,&���#��� I ��)��&�(� '�'�� ���'��� �������$� ���+ �� ��$��Q�� � ��� ����'� ���$���� ��&�� ��+ �(T���(' $� ���%�� ��%�� ��� �� ��� �� � + � ����������� ��� ��)��&��� �'���� ��� ���+ ����� :� X���� �� �Y� ?���� � ��� ��� ��� ���+ ��$� ��&�� ����Q$�P $� �'���� ��( :� �� ������ &P �� � �)���� ���'��� � � $� ��� F� � � ���' �������$� ��� ������ )�� � ��� � � ���%�� ��%� �N'�� � � $� N��)��� ��� ?�� �[�� ��N�� �N'�� � � ������ & ����Q$��� � �� �� ��� � � �)���� ���'��� � �� $� �� ��� ��� ����Q$�� � �� ������ &P �� $� ����)��� �'+ ����� ���� �)����� ���' ` ����)��� ���'�Q� �� '�Q$� ��$��Q��'�` ���WW�%��� $�WW�N�� ��� ��������� ��+ T�� �� � ��� ����+��������� �$� τ� a δ a ��a A��� �� >��'� �����$��� ��� ����� � �N��' ���+ '�Q� �� '�Q$� ��$��Q��'� X�Y � �N'������ �� ���'��� ���%�� ��%�� ��� ��������� ��T�� �� � Q�$��� W�N� X�Y! � ; a ��$��Q��` � a ��� ���+�������` � �����'� �S�N��)�� �� �� ��� ��������� ��T�� ��� �S���������(� $�WW�N��� <��=[:96b8 <��=[:96b8 � � > � ? � δ δ�� ?� ?� ? �� ��� �Y SY ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ���� ��( ��� ����� : � F� � � �����$ �����+ ��$� ��� � ���� )�� � ��� ������&���� ��� � � ���%�� ��%� �N'�� � � $� N��)��� � � ���+ ��������� ��� �'���� ��� : � ?��'�'� ) � ���+ Q���� �'���� ��( ��� ��� � ��� ������� �� � � ���� )�� � ��� �������$� �� ����� �����+ $��� ��� �� � ��PT�� $�����''( ��� � �� ! <��=[:96b8� �<��=[:96b8� �$� ��=[@?�X@AY a ������ ���� ������� ��+ ��� �����$��� $�����''( ��� � �� � ������ ������� ����� ?����'��'� ) � '����������� � Q�$��� W�N� ���T�� �� � � ��&�� $�WW�N��� X���S�$�� ������%� � �S]�'� ��� ���� � �� � ��� Y� � ��+ ������� & ��$��Q�� a �����T�PT� � � �� ��+ �� �)����� ������)��� �� ��� � �� � ��P U\V� �) �'� ) � ��� Q����� & ��������� � ��$��+ Q�� ��T�� ����� S��&O� ���� � �� '�Q$� ��'�� ?����S�����' ���� � ���'� �� �� ���� ���$��+ ��� � W��� ���� ����N�%�� � �� ���� '�� �� ��������P � ���� � ���' '�Q$� ��$��Q��'�� ���$� $� ��� � �S��� )�� �� ��� ������&���� ��� ������$���� �$��'����� ��������� E���! � � � ? ? � � > ∂ ∂= ∂ ∂ X�Y ��a ���' $�WW�N��` > a ���S��� $�WW�N��� B�)��&��� � �����)�(� ������ ��� ��� � ������ )�� � ��� �'�P ��$ �� ��? ?= = X Y � ��> > � � � � � �= =δ= = − ��� �≤�≤�� X\Y ���$� ���%��� ��� � ������ )�� � ��� S�$� ����(�� &� �(��Q����' U\V [ ] � � � � � � � � � � � � � �cd ��� �B B B < < > > ? > � ? � = =� < B C D � > =� ∞ = δ −= − + − δ π⎛ ⎞− ⎜ ⎟δπ ⎝ ⎠ ∑ X�Y �$� ( ) � � � � � � � � � −= CB[U�eXe�Y BV�B ` DB[e�XBπ�δY�� H � ��������� ��� �[�� S�$� ��)��&�(' �������' $� �������� ��� � � ���� )�� � ��� � � �����)�(� ������ ���'� ��$ ( )� � � � ��> > � � � � � � � � � �= =δ= = − − − ��� ��≤�≤��� X�Y A�O���� �������� E��� X�Y � ��)��&�(' �������' X�Y ��� �[�� � �����)�('� ������ '� X�Y� ����(��PT�� ���%��� ��� � � ���� )�� � ��� � '�Q�� ����)� & ��N$������' ����'���(� U�V! ( ) ( ) ( ) [ ]{ } ( ) � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �cd ��� �cd �cd ��� � B B B B B B B < < < > > ? > � ? � � � = = =� < B C D � � > =� C D � � D � B > ∞ = ∞ = δ −= − − − + − ⎡δ π⎛ ⎞− − −⎡ ⎤ ⎜ ⎟⎢ ⎣ ⎦ δπ ⎝ ⎠⎣ − − ×⎡ ⎤⎣ ⎦ × π δ ⎤⎦ ∑ ∑ XfY �$� ��≤�≤��`� ��[��gX?�e? Y�X<��=Y� >����� & ��� � ������ )�� � ��� E� '�Q�� ����$��� & �N ������ S������ '���! � � � �F � � �� � � � �= =δ ∂ ∂= = ∂ ∂ ���$� [ ] �� � � � � � �cd � � � � � � � � ? � ? E ? � ? � < C D � =? = =δ ∞ = ∂ ∂= = = ∂ ∂ ⎧ ⎫δ= −⎨ ⎬π⎩ ⎭ ∑ X"Y ���T��� ������ )�� � ��� G� ����$���' ��+ �' �� ���������� ������ � E�! [ ]{ } � � � � � � � � � h � ��� � � � � � � � � �� � � � � � � ∞ = δ= τ = × ⎧ ⎫δ× − ⋅ −⎨ ⎬π⎩ ⎭ ∫ ∑ XiY �$� �≤�≤��� =������)�� '�Q�� ����$��� & ������ & ���+ � E� � ��T��� G� � ���� )�� � ��� ! ( ) [ ] � � � � � �� �� � � � � � � �cd � �cd F F F B B B B B B <� ? � ? E ? ? =? < < C B D � � < < C B D � = =δ ∞ = ∞ = δ∂ ∂= = = × ∂ ∂ ⎧ ⎡ ⎤ × − − − −⎡ ⎤⎨ ⎢ ⎥ ⎣ ⎦π⎩ ⎣ ⎦ ⎫ − ⎬π ⎭ ∑ ∑ X��Y ( ) ( ){ } [ ] [ ]{ } � � � � � �� � � �\ �� � � �\ �� � \ � � �cd \ � �cd �cd � � F B B B B B B B < < G E @ � � =? < < C B D � � <� < C B D � D � <� ∞ = ∞ = ⎧δ= τ = − −⎨ ⎩ ⎡ ⎤δ− − ⋅ − − −⎡ ⎤⎢ ⎥ ⎣ ⎦π ⎣ ⎦ ⎫⎡ ⎤δ ⎪− − ⋅ − ⎬⎢ ⎥π ⎪⎣ ⎦ ⎭ ∫ ∑ ∑ �$� ��≤�≤��� X��Y ���%�� ��%� ��� ��������� ��T�� �� � ���$�� W�N�� ?F[ γFHC�IF` ��� ��� & � '������ ��(� ��� ���$�� W�N(` )���� =����$��� �$� ?F a γF��IF�a HC a ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� � �������� ������ B� ��������� �(��Q���� X"Y � X��Y ����)�+ �( ���W��� N�����'�� � � ���� ��&��� ������+ � ��� � ��� E� � � � ���� ��&���� ���'��� �� �� ���$� ������(� �� ��� �� F$��& E� � [ E�U<�δ�X�=?JYV� �� �[δ���� @��� ��� ������ )�� � ��� �������$� N� ���' � � � � �� �� � � δ δ> τ = ≈ π X��Y � � �(��Q��� � X"Y� X��Y )���( 7� UDB��V � 7� UDBX�e��YV � ��' � � ���P� ������ & ��� � ��� $�� ���� ������ ��� � ����� N��)��� X� �)��� &P $� �jY � �� S�$� N����� & � ���'��� ����T����� X���� �� �Y� I � �' ���)��� ���� ��� �[�� ������ & ����Q$��� �� '�� � � X � �� <�[<�Y� � ������ & ��� � ��� �� �� � ���Q���� @��� Q� � �� �≠ � � ������ & ��� � �N'�� � � � <��<� ��N� ?�� <�[� X��� ��� ����� �� ����Q+ $� &� Y ��� ��� ������T�� � )���N ���� ���� ������$��� ���' � �� ���� '�Q�� �%��� & �� �(��Q���P X��Y� ?�� <�k� X������ ��� ����Y �'�� � ��� � � ���� )�� � ��� S�$� �������+ $� & ��� ������� ��� ������ )�� �� @��� ���' ����T����� ������ )�� � ��� '��&O� �� δ���� � ������ & ��� ��� � �� $�� ���+ � ������ ��� � ����� N��)��� $� '�'�� � ���'�+ �� �� X���� �� �Y� I � �' ���)��� ���� �� '�� � � ������ & ����Q$��� � ��� � ���� N��)���� �����+ � � $�� ���� � � �����$ ��� � � ���� )�� � ��� � I��' �� �������� � �%��������� N��)��� ������ � ��� � � ���� )�� � ��� N����� ��&�� � ����)��( ���'�Q� �� '�Q$� ��$��Q��'� � � ���WW�%��� � $�WW�N�� � �� N����� � � + ��O��� <��<�� ��� ��&��� & ������$�(� ���+ %����� � ��� ����� �(N����(� �N'������' ���+ ��� � ��� ����Q$��� � �� ����(O�� ���XπδY� � �)��� &P �j� F�����'�� & � ���� ��&��� ��T��( ��� ��+ ����&���� ��� G� �[G�U<�δ �X�=�?FYV � � ��+ �� ��&���� ���'��� ��� ��� � �� � �����$��� �� ��� �� @��� ��� ��� � ������ )�� � ��� �(+ ���� � � ������� X��Y� � ��������%���&�(' )����' � �(��Q���� XiY '�Q�� �����S��)&� � ��� ����T�� � � ��$� � � � � � ��F � � � � � ⎡ ⎤δ δ= −⎢ ⎥ ⎣ ⎦ X� Y ?�� �(�������� ������ ��Z�δ��� � �(��+ Q���� X� Y '�Q�� �����S��)& � ��(' ������+ '(' � ���S���� ����' �S��N�'� ����� $�� �Q�+ �� ������ &P ��� � � �%��������� N��)��� ��� ��� � ������ )�� � ��� ������&���� ��� � ��� ��T��� S�$� ������� N����� & � ���'��� ����T����� X���� � �Y� I � �' ���)�� ��� �N'������ ������ � ����Q+ $��� � �� $� �� � �(��Q���� X��Y '�Q�� ���+ ��S��)& �����$��'� $��' �������� �'�� =��+ ��N ����T������ �(��Q��� ����N(��� � ) � �'� ��� � ��T��( � ���� )�� � ��� S�$� ��+ Q� ������� N����� & � ���'��� ����T����� � ���)�' �'� �N'����� G� S�$� � <��<� ��N � + ��)� &� � �'�� ��� ��G� X��� � �� �≠ Y� I ���+ )�� <�[<� ����� �N'����� �� ��S�P$�� � � � � ��� )�� & ��� ���$��Q�� ��� � �������)�� ��� ������ )�� �� > ��'�T&P ���$��Q����� '�$��� '������+ ������ �S����Q��� ����� ������ ��� ��� ��+ A��� �� F�����'�� & � ���� ��&��� ������ � ��� � ��� � � ���� ��&���� ���'��� ��� � ��� ��N��)�(� N��)��� � � ��O��� <��<� E� � � � e� � ��� ��\ ��� ��" ��� � E� � � � e� � ��� ��\ ��� ��" ���� � �Y SY � � ���� � δ= � � ���� � δ= G� � ��� ��" ��� ��\ ��� � ��� ��\ ��� ��" ��� � ��� ��\ ��� ��" ��� � G� � ��� ��" ��� ��\ ��� � � � ���� � δ= � � ���� � δ= �Y SY A��� � F�����'�� & � ���� ��&��� ��T��( ��� � � ���� ��&���� ���'��� ��� � ��� ��N��)�(� N��)��� � � ��O��� <��<� <��<�[g� g� g��� � e� <��<�[g� g� g��� � e� <��<�[g� g� g��� � e� <��<�[g� g� g��� �e� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��� $��������(� ��� �' � $���(� ������ �� ?�� <�[�� ���'� � �� ������T���� ����Q$��� ��+ � ����� ��S�P$�� � $��&���O�� ��� ��� � � �� ��T�� ��� ���� ��(� ������$��� ���%���� �� ���' �� ����� ������ & ��� � � ���� )�� � ��� � ��)�� � ��� � ?�� � �' ��T��� ��� $�� ���� ������ '����'��&���� N��)��� ! � � ��� � � � � � δ= X�\Y ?�� ������� ��� ���� X<�k�Y ��Q� � �)�+ ��� ���� ����� ������$���� �����$� S�$� ���+ $��Q� &� ��� ��� � � ��&�� �� �' ��)�� � ��� ��� ������� � ��� � ���� ������ &P� ?�$�S+ ��� ������ '�Q�� �S] ��� & ����%������ &P $�WW�N����(� ���%����� � �S]�'� ��� ����� I��' ����� ������$���� �����$� '�Q�� �%�+ �� & �N �(��Q��� � � ��� � � � � " /6 � � < � � � <� ⎡ ⎤⎛ ⎞δ≈ − = −⎢ ⎥⎜ ⎟π π ⎝ ⎠⎣ ⎦ X��Y @��� ���' ����T����� ������ )�� � ��� '��&O� �� δ���� � ������ & ��� ��� � �� $�� �+ ��� ��� � ����� N��)��� � � N��)� � N�����'�� & ��T��( ��� � ���'��� ����T����� S�$� ����������� � ��� � ���� )�� � ��� ��)�� � � ��� �%������(� ������ � X���� � �Y� I � �' ���)�� ������� N�����'�� & ��T��( ��� � ���'��� �� ����� � ��&�� )���N ���� ���� ���+ ' � �� N����� � ����%������ &P ���%����� $�W+ W�N�� � �S]�'� ��� ����� ?�� � �'� ���� ��+ � ��� ��)� & ������� &� � ���' ���$��Q��� ��� � ��� ������&�� �'��&O� � � I �� ��&��' ����� �� N�����'�� � ��T��( � ���� )�� � ��� � ���'��� S�$� �������)�� ���)�P ��� � � � �+ %������(� ������ �� ������ #S����Q����� ������ ����%������ � $�WW�+ N����(� ���%����� � �� N����� � ��� ���$��Q�+ ��� ��� � ��� ������&���� ��� ��� �'��� ������+ � ����Q$��� ���S��$�'� �)� (�� & � � $� ����+ �)����� ���)���� �����'�� ��� ����$������ ���+ ��� � ��� � ����� � ������ � �N� ��'�)����� �(+ $��Q��� A�N��S� ���� '�$��& '������������ ���+ ������ �� ���� ��� ��� ��� ����� ����� ������$� ����� � ��� �'� l-al-mb � ��)��&��� �'����+ ���� ��� ����� "��n>� B��'� � �� ������T���� ����Q$��� ��� ���� X<�[�Y� ��� ��� ���$��+ Q��� �T� � �)���� ��a�� �� H � ������� � $�+ ����� ��&��'� �����)���P ��T��( ��� X����� ���)� ���Y $� ���a��� '�'� ) � ����� ��T�� ���+ �(� ����$ � �ST�� N��)���� ��T��( ��� � ?���+ )���(� ���W�)����� N�����'�� �� ���N(��PT�� �� ��� ��� �N'����� ������ � ����Q$��� �� ��T��� ����)��'(� ��� ������&�(� ������ '�+ �� �'� & ���� �)����� ���'������ ��� ��N��S� + �� � ������ ������ ��Q�'�� ��� ����� �$��+ � '���������(� ���������$�����(� � ��� �� �� ������ ���$������ = I�� C>?#KoF#I=BBL@ C>�#pBC�C �� q-3/ r� s� r7t3:7t t.b/9:-8.96 t76b.8.7b .6 /.u3.t+�v-b7 7�.8- ; /-;75b w; .6875,.88768 x59y8v �� z� */7:859:v7,� q9:�a �if��a {9/� ��"� | ��a }� fi afi�� ��C����� #� B�� ~��S�� <� B�� I������� C� ��� p��+ ��� B� =� A�� �������W�)����� �����$������ '���������(� �� ���� ������&�(� ����� ������$� ����� �� H��� ����� ������� >��� <� �����(�a �i"��a I(�� \�a >� f�af�� U�0/70- �� |�� �m43w76;- �� |�� {./.b90- �� ��� Mv75690 |� m� ���*/7485966-;- 874v6.4-� q75� �-875.-/;� �i"�� �bb� \� }� f�V �����)�� >� B�� F���$���� I� =�� ����)�� =� >� ����+ ��� ��� � ��� (� ����� ���������$����� ��� ��N��' �N'�+ ����� ������ � ����Q$��� ��� ����+�������� �� I �S�! ���+ $( #$������� ���� ����)������ �������� � ��a �����a I(�� ��a >� ���a��f� U�5-6:v34 q� |�� �-0-tb4.. {� m�� �5-6:v34 m� q� �� { bw�! �53t; �t7bb49x9 �9/.874v6.:v7b49x9 36.075b.878-� ����� �bb� �� }� ���V \�������� ��� �� �� ���� ��� ��� � ���������$����+ �(� ������ �N ��� ����+�������� �� I ���! ?��������$��+ ���(� ������ $� '�������� �������a B�����S����! B�+ ���� �iff�a M� �f�a�i�� U�9/4v90.8;-690 �3� �� �.678.4- 59b8- �9/3�5909t6.490;4v �/7694 .1 5-b8095-+5-b�/-0- �� { 46�! }9/3�5909t6.490;7 �/764. t/;- ,.4597/748596.4.� |909b.w.5b4! |-34-� �iff� }� �f�V ��������� ��� @��� �� ����������$��� & ���$(� ���a <�����! B����� �i�\� U�-5b/93 l�� *x75 �� �7�/9�5909t69b8� 8075t;4v 87/� �9b:9y! |-34-� �i�\V �����, -�#,'&�!$��#� ,!-! .��&���4!7� K�LM��L ��5� ��������������������������� �5-6:v34 q� ��� �-0-t14.. {� m�� �945.8b4.. {� m� ���� ����� !� "� #"$%"&'()��! !("��*+ , �-,'#�+!� �+��!.�� NOPQRS@J9�OTU�<>P��=<JJ��S<BJVOS��@UVVWJURB��JRXW�URB1 =OX���JWYJ�S<�O��=R@O��X<POSJ���O=TOS<�WSO� m /.u3.t �v-b7 7�.8- ; t.��3b.96 ,9t7/ 9� - 8y9+/-;75 b;b87, -8 .6b8-w/7 :99/.6x b�77t 9� 8v7 b9/38.96+,7/8 v-b w776 t707/9�7t� �8 y-b t.b:90757t 8v-8 8v7 85-6b.8.96 �59:7bb :968.637b 7076 -�875 8v7 875,.6-8.96 9� :99/.6x� t37 89 yv.:v 8v7 /-;75 x59y8v :968.637b -b y7//� �v.b 7��7:8 .b :9667:87t y.8v 89 8v7 v;�98v78.:-/ .6758.- 9� 8v7 t.��3b.96 �59:7bb� �v7 �5-:8.:-/ -��/.:-8.96 9� 8v.b �v769,7696 .b bv9y6� �45-.67� �t7bb-� �|�m� �|}�� ���������������������������� ����)�� >� <�� F���$�&��� I� =�� <����%&��� I� =� ������� ���� � � /�����0�1�/2 ��/����/3 ���4�' ���5 ������� �'72 .Z� -' .�9� &,Z���-Z[�� %�- ,&�&� -�� �!"#�Z$� � �2!�1� �,'�.�� ,Z��'������ �&)!%�� \��!�� �&%,&1 ���#��� A�N��S���� $�W�N���� '�$��& ��$����W�N��� ���+ ����� $��O������ ��� �'� � �'���� N'��� O��$+ ��� � �����$Q��� ��N)���+��N������ I� ������ T� ���� ��������� �����$Q��� ������$��� ���%�� ���$��Q�� &� � N� ������� )��� ���$��Q�� &� � N��� ��� O���� ��� �W�� ���� N���� N �����T��+ ��P ����%����� P ���%��� $�W�N��� ?���N��� ����+ �)�� N�� ������� �� ������� ��T�� �������� '� #$���� #B<=� #B?��
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51713
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:00:40Z
publishDate 2012
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Дранчук, С.Н.
Завадский, В.А.
Мокрицкий, В.А.
2013-12-07T01:29:35Z
2013-12-07T01:29:35Z
2012
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51713
621.362:621.383
Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано практическое применение обнаруженного явления.
Розроблено дифузійну модель рідиніюфазиої епітаксії двошарової системи в умовах зміни швидкості охолодження розчину-розплаву. Виявлено, що після припинення охолодження перехідний процес продовжується, за рахунок чого продовжується і зростання шару. Цей ефект пов'язаний з припущенною інерційністю процесу дифузії. Показано практичне застосування виявленого явища.
A liquid phase epitaxy diffusion model of a two-layer system at instable cooling speed of the solution-melt has been developed. It was discovered that the transition process continues even after the termination of cooling, clue to which the layer growth continues as well. This effect is connected with to the hypothetical inertia of the diffusion process. The practical application of this phenomenon is shown.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
Массоперенос при рідиннофазній епітаксії двошарових систем
Mass transfer in liquid-phase epitaxy of two-layer systems
Article
published earlier
spellingShingle Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
Дранчук, С.Н.
Завадский, В.А.
Мокрицкий, В.А.
Технологические процессы и оборудование
title Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
title_alt Массоперенос при рідиннофазній епітаксії двошарових систем
Mass transfer in liquid-phase epitaxy of two-layer systems
title_full Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
title_fullStr Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
title_full_unstemmed Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
title_short Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
title_sort массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51713
work_keys_str_mv AT drančuksn massoperenosprižidkofaznoiépitaksiidvuhsloinyhsistem
AT zavadskiiva massoperenosprižidkofaznoiépitaksiidvuhsloinyhsistem
AT mokrickiiva massoperenosprižidkofaznoiépitaksiidvuhsloinyhsistem
AT drančuksn massoperenosprirídinnofazníiepítaksíídvošarovihsistem
AT zavadskiiva massoperenosprirídinnofazníiepítaksíídvošarovihsistem
AT mokrickiiva massoperenosprirídinnofazníiepítaksíídvošarovihsistem
AT drančuksn masstransferinliquidphaseepitaxyoftwolayersystems
AT zavadskiiva masstransferinliquidphaseepitaxyoftwolayersystems
AT mokrickiiva masstransferinliquidphaseepitaxyoftwolayersystems