Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазо...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.
Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації.
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed.
|
|---|---|
| ISSN: | 2225-5818 |