Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния

Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазо...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2012
Автори: Дружинин, А.А., Кутраков, А.П., Марьямова, И.И.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859537742943223808
author Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Марьямова, И.И.
author_facet Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Марьямова, И.И.
citation_txt Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации. Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації. Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed.
first_indexed 2025-11-25T23:50:44Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ��� ������ � !� ������������������ � ������ ��������������������� �� ����������� �������� "�#�����$�%� �������� � &'$������ ���� ������( )*+,-./ 01234567.89:;�.<-<�2, =>?@�@�ABCADE��D">A �E�FG�G �E='A"GH ? �A"I@DAIG?�@DEBG "E @?"@=A "G�A=G�">J �DG?�E''@= �DAB"GH D�K�� �� � L� �M��� �� ������� ���� ��� ����#����� � ���� ��*���N�O���� � ��N�O���� � L��� �%L����� K�L�O� ��KL��� L� O���� L��* ���� � ��M� ������M�%� ��� ���%P���%� �N* ���� ����� Q��$P� O�� $ ��R�� ��SR�� � ��* � � R�� ���N ��K�N� ��O����� ���������L��* ���%� L� O���� L������ ������� ���� � ��� ��M�O�� �N���� ��� �� M���� ���TU �K*K� ����* ��O���� ��L�#����%� N� �������� �����$K�* �N%� L� �� �K�� ������ V�W� GK��� �%� N�* ������� ����%� L� O��� L������ �� ������ ��* ������� X���N��� �� L����� ����X �����M�% ���* P��� $ ��M�O�� L����K�� ���M���� ���M��K�* ��$�� L� Y �TU� �L���� � � ��KN�Z�� ��M� �� ���� ��� ���N�Z� �� ���N���� ��M� ��� �����$* K������ ��L ���� ����ZL��� � [ � �� K��� � �N� O � O��� �� ��$�%� ���N�� % ���� L� O���� ��� �%����� �N���� ���� �N�S M��$P�S �LL� ��* ��S �����P��� $ �K*K� �%����� N�����O����� ���� Z����� �M���������%� ��K��O��N �N��* �� ���%� ���\\�#��� �� ���P����� ����� N��* ��������� N�NM���%� ���N� ���� O��� �� ��$* �%� ���N�� % N�������� ����%� L� O���� L��* �������������������� ����!���������������"���������"���"�������#����$����������% �� ��������������������#���������������&�� ����'����!���'��#�!���������#���&!���% �(��� �!��)"�������������!��!� ��� ����!���� ����"���"�����������(!�(*�#�+��&����# ���$������"���������*���!�����!�"�������!������)����!�"�����'�$�#���&!����(�����% $����������������!�����,����-����"�&��(�)��-�������(�.�����"��'���������$�������% ���� ���"��$��-�&���/���.��� ��0$����������1����&��-�����"���"����������$����������� ������������&!����(��� ���� ��M�S ���N����� ���Z����� L�����* � � R��� �M���L����� � �N�S ��K��S ��L�Z* ��� $ ��� �L���%� �����K��� � ��K��� ���O��� �KN�� �N��� L������ V�W� ]��$S ��� � R�� ��M� % �� � � ��K��M� �� �%���� �N���� ���%� ��K���K�� ���%� L� O���� L������ ���#���$���� ��K��O��� �� ������ ��* �%� ���� ��� �����* ����O����� ��P����� = �����L��� ���N ������%N N� ������N L� �K�� ������ O��� �� ��$�%� ���N�� �� L� O�* ��� �� � � ���N���� O � �M��������� ��� ��* ������O��� $S� ��K��� � ��N�� $S � ��M� �* �����M��� $S � P�����N L����K��� �N���� �� V�^ W� C��������L�����%� ��K���K�� ��% �� ������ �� ���L�%� ���� ����� _��` ���N�� �N�S �%����S N�����O����S ���O��� $� ���* M��Z�SR�S� � ���� �O����N� ���L��� ���O* ��� � L������ N� ������ _��� �%L��Z���S L�* \��N�#�S ��� Z��� L� �� ^�a � ��%P� ��b #����� K��������N����� L�\��N�#�� V�W`� D�K* ��M� ���� �������� ��KL��� �N�O����� ��� �� �� N� �L�N �N���$���� ������ ��� ���* ��� N������������� � "� ���N�� �M����O�* ��M��#� � ���&����� ���"���"�������� ��� ������� ��� 2%34� �� ��"��&� (���)��&� ��!����������& ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ��� ��L�Z��S ��M� � ��K���K�� ���� � ��K* �%� L���N�O����� ��Z�N�� � ��� ���%P���%� �N���� ���� _L� ��T?`� ������$�� �N���� �* �� �� �� ��� c-^d; ��� ��� � b��T?� ����N �M* ��K�N� ��KN�Z��� $ ��M� % � �� ��K���K�� �* ��� ��� �%����� �N���� ���� �M����O���� � ��� ����� ��N� ��N��� ���N�� � � �� ���N N��* ������ �O��� $ ��M�SL�� � ��$�� ��� �N��* �� ���� �%P� ��T?� �� � ���������� �K�� ��* ���� ��K���K�� ����� = ���#���� �����L������ ��N� M%�� ����L�* ���% �� �N��$�%� ������ ���������� "� ���N�� M���N L� �K�� ������ ��K���K�� �* ���� �����L�%� L� ��M� % � ��K��O�%� �N* ���� ���%� L����K����� = � ����� �����L��% ������%� ����N� �% ��K���K�� ���� �� ������ "� 2*c- � ��K�%N �L��$�%N ����� �������N ρ� ���K���K�� ��% �� ������ ���$������������%� "� ���N�� �* ��� � ρ e ���� ^����� @N⋅�N �M��L�S �� �N��$�%N� ����� ���� ���N� L� ��KL��� �� �� ������ �%���� �N���� ���%� L� O���� L������ / �������� K�����N�� $S ��* ��� ������ � �N���� ��% � N���N��$��� K�* ����N�� $S ���\\�#��� � ��K�O��� �� ��$��* � � � �N���� ��% � L����K��� ������ �T?� �� ���P����� �N���� ������ L����K��� ��M� % ��K���K�� ���%� L� O���� N�����O�* ���� ����O�� �� ������ "� ���N�� � � ����� �%����� �N���� �� ���M��L�N� � ��K� $� � �K��� �%� �%���� �N���� ���%� ����N���%� ����� � #�N�� ��� �����$K��N%� L� K�������* �� ��K���K�� ���� �� ������� ���N�� �� L� * O���� _N�NM������ M����� � L��` Vf� bW � ��* ��� � � ����#�����$�� ���%N N� �L�N ������* �� ��K���K�� ����� �� ��%� �����M�% �M����* O� $ �� \����#�S ��� ���%P���%� �N���� �* ���� = ��K��$ � � �����L���%� �����L������ L� � �� #��� M%� �%M��� � ���������� ? �*� � ���\\�#��� �N ��N�O������ ���P����� _�� `� ����%N Y�!⋅��g� TUg�� M��K��N � ��D ���N�� _�� ^Y��`⋅��g� TUg� � L����K��� �N��* �� �� � ��N�� ��� L� �T?� ��N���� ��� ��K* N �O��� � ��������� ? �*� ��� ��� � f�T?� = ��O�� �� N� ������ �������� ���N�� � L� O�* ��� M%� �%M��� �������%� ����� �!"�� ��D �� ����� ����� Y��⋅��g� TUg� V!� ��W� ������$�� ��� � �N ��KL�� � ���L������ &���N��� ̂ � ��* �������� ̂ �����(� ������������� �� ��D� ?��* L�� ��Z� � N� � $� O � �������� �K�� ����* �� �����N��� �%� ���L������ �� ������ ��� &����� ^ � ����( �����$K�� � � ���� ������ ���N%P������ � ��� �K�� ������� ���� ����* ���N���� �M���L����� � "� ���N����%� ��K���K�� ��� K���������%� �� ������N ���N�� � L� O���� L��� ��� ��N�* O���� L�\��N�#� � �M���������� ��K��O��N ��D ���N�� � N� ������ �������� ���N�� �� =���O��� ��N�O����� L�\��N�#�� ����O� %��* ���$ �� \��N��� � _ ` V _ ` _ `W0 � 5 5 6 7 5 5 5 5 8ε = γ α − α∫ = �����L����� \��N��� ���\\�#��� γ ��* ��� ���K���� �\\�� ����� $ ����L�O� L�\��* N�#�� � �������� ���N�� � � ��K���K�� ���� �� ���L��Z������ �����M� �������� ��K���* K�� ��� �� ��������� O � γe��!� ��� ��L�� �K ������� ��N�O���� L�\��N�* #� � L��� ��SR� �� ���N����%� ��K���K��* ��� �N��$P�� � � ���%P����N �N���� ��%� O � �M����O���� N���N��$�%� ��N�O����� ��* �� Z��� � � �M��$��� $ �%��L�%� ����� ���* � �� L� O���� ��� ��M� � � L����K��� �N����* ��% � ��N�� ��� L� � �T?� ?��L� N����� ���� ���#�� L� O���� L����* �� ���M��$P�S ���������$��� $� �� ��P �K�� L� �N�� ���� ���#� � � �� ���� �����$K�� � ���* �N� &N�NM���� ^ P �� ^ M����( _����� �`� C���N�R�� ��N� ���� ���� ���#�� ����L N�N* M������ �� � � M���� ������� L�\��N�#���* �� ����� ���� ��� �������� ���N�� �� ��KN�Z* ��� $ �N��$P��� ��� �� �N���� ��% �� ��* �������L�����%� ��K���K�� ��%� O � ��K��� � �N��$P� $ �N���� ����S �����P��� $ L� O���� C�� ��KL���� L� O���� L������ �����$K�* �����$ ��K��M� ���� ��N� ���� ���#� L� O�* �� � ���������$�%N ��K�N�L���N ^ ������* O��� �� ��$�%N ���N�� �N � K���������%N� �� ��N ��K���K�� ���N�� @����� ���� ���#�� ��* K�N�L�� ��� ��� � ���$#� � ������$��� M��* ���� �� �M� � ����% �� ���� K��������% L�� �N���� ���%� ���\\�#��� % �����* ���� ���P����� N� ������� �������� ���N�� � � ��K���K�� ��� ��� �� * � �����h �N���� ��� ����N���K�#�� �L��K���� �L� αi� αj ^ �� ^ ε�⋅��g� g�� g��� g�� g��� g�� � ��� ��� ��� Y�� �� TU D��� �� ��N���� ���� K�����N�� $ ��N�O����� L�\��N�#�� c-* ��K���K�� ���� K������������ � ��* ��������N �� ������N ���N�� � �K ������ �!"� � Y D��� �� C���#�����$�� ���� ���#� L� O��� L������ / 9 ̂ N�NM����h : ̂ P ��h ; ^ M����h < ^ ��K���* K�� ��%h = ̂ ������ � � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ��K���K�� ���� ?��#���$�� \��N� �������� ���N�� � ��K������ �N��$P� $ ���������� $ �%��L���� ������� L� O���� L� ����a� D�K��M�* ���%� ���������$�%� ��K�N�L��$ ��K��� � ��KL��� $ �� ��� ������ L� O��� L� ��K��O�%� L����K���� L������ � �KN�� ��$�� ���N� ��* O����� ��KN��% N�NM���%� �� �����L��� � ��L��%� ���% ���� ����* #����%� L���� ���� � � � �O����N � L���N�O�* ���N ��Z�N�� ���M��L�N% L� O��� L������ � �� ��%� �L���� ��� �� M% ���#�\�O����N ��* M����� N/ N��%� ��M��� % ��� L�� � �O�� �%* ����� O��� �� ��$��� � � �KN�� �N�N� L����* ��S ��� ���%P���%� �N���� ���� � P�����N O�� � ��N L����K���� Q%�� ��K��M� ��% N���* � S��%� �%���� �N���� ���%� L� O��� L����* �� V��� ��W � L��N� ��N ��������N�SR�� N�N* M���% ��b NN� ���R��� N�NM���% L� O��� L��* ���� � ��M� �SR��� � L����K��� ������� �C�� ��� ��� � �� N�N� � � L����K��� ������ BC� ^ � � N�N� =�� ���N�� % L� O���� L������ �%* ������% �K ���������� ������ �!"� � ���L���* �% N�ZL� ��M�� ��� ��N�R� ��K����� ������� O � �M����O���� �%����S Z�� ��� $ � ���N� �O* ��� $ ���� ���#��� ����O�%� ���L������O�%� ��* ��� ���� ��� ��K��M� ���%� L� O���� � L����K�* �� �N���� �� ��k���T? �����L��% �� ����� �� IL��$ ��L��� O � �%��L�%� ����� ���� ��� L� * O���� �N�S �������S K�����N�� $ �� ���N �N* ���� ����N L����K��� � L�� � �O�� �%����� ���* ���$ �%��L���� ������� M�K L������ ��$���� ��� ������� � Q����L�� �%����� ��K�O��� �� ��$* ��� � ��K���K�� ���� �� ������ "� c- �* ��� �L�* ���$ K��O� ��$�� ���%�� $ ��M� �����S O�� � � L� O���� L������ � �N��$P� $ �� ��M��� %� "� ������ ���L� ������ \� � ��K��M� ���%� �%���� �N���� ���%� L� O���� L������ � � � � ����� �����L��% �� ������%� ����N� �%� �� L������ ��� L���� ���� ��� ������� ���* ���� ���M��L�N� �����L� $ �KN����� L����* �� ��K�� �������L� ����� � ��N��� ������� � �L� �N���� ��� L�� ���� b��T?� =���� ���* ��#� �N���� ������ L����K��� ��M� % L� O�* ��� � ���N����%N� ��K���K�� ���N� ������O�* �� �N���� ����� ��� �� ���� �� �� � � N����* ���� �O��� $ ���N�� � �� ���� ������� M%�� ���L��Z��� ���� ���#� � �� ��� ���L��N� ��* ��� ����ZL���� L� O��� Z�L��� $S V��W� ���* � ���#� � ���P��� ��L ��K��M� ������ L� O�* �� ����K��% ��� ����� �� A�� ������� ���N�� �K�� ����� � ��L� L��� #����L���� Z�� �� ��* �L�����%� ��Z��N � ������N �������� N�� O � ��K��� � ����O� $ L�\��N�#�S � ��K�%N K��* ��N� ������ L� O��� �N�� ����� L� �����Z* L��� ����ZL�SR�� Z�L��� �� ���� ���#� �������� ���N�� � ��K��� � ������ $S K�R�* � $ ��K���K�� ��% � ����ZL�SR�� Z�L��� �� >�%�� N= �� Y� �� � �� � ?� NC� ��T? ��� � � ��� � � ��� ��� D��� �� I�����N�� $ �%��L���� ������� L� O��� � ���������$�%N ��K�N�L���N �� ������ c-* ��K���* K�� ���� � L������ ��� ��K��O�%� �N���� ���� D��� Y� =%���� �N���� ���%� L� O��� L������ ��* K�N�L��$��� ���� ���#�� �� ������ "� ���N�� D��� � ���� ���#� � ���P��� ��L �%���� �N��* �� ������ L� O��� � ���P��N ����ZL����N � ���N* ����%N� ��K���K�� ���N�/ 9 ̂ P �#��h : ̂ N�NM����h ; ̂ P ��h < ̂ ������� ���N�� h = ̂ ������h @ ̂ ��K���K�� ��% � Y � � � � ��M��#� � ��������� #�������������� ��"��'������#� &���% ��0���#���������&!����(���#����$������������ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� J���� ���� ��� L� O��� �����L������$ � L�* ���K��� L������� _����Y`⋅�� C� � �N���� �� � �� L� Y��T? _M�K ���P���� ����ZL��� ` � L� !��T? � ����ZL����N� l��L������O�%� �����* ���� ��� L� O��� ������% �� ���N �����L����* ��N L����K��� �N���� �� � L�������� =���O�* �� �%��L���� ������� ��K��M� ������ L� O��� ��� �N���� ��� Y��T? _����� � N=` L�� � �O* �� L� ��� ����� ��#�� M�K ������� � � �N����* ���%� ���\\�#��� �%��L���� ������� L� O��� �� ����%P�� ���fa⋅T?g� � L����K��� �N���� �� �����Y��T?� ? ���%P����N �N����* ��% ��K��� �� O��� �� ��$��� $ L� O���� O � �� K��� � �N��$P����N N�L�� ������� � �� ��* � �� � ������ � �N��$P����N Z�� ��� � ���� ��* ����� ��� �N% L� O���� C����P��� $ L� O��� � L����K��� �N���� �� �����!��T? ��� ��� � m�� a� � L������ ��$�� �N���� ���� �����P* ��� $ L� O��� L������ N��$P�� O�N ����a⋅T?g�� ��� ����N �M��K�N� �� ������ �����L���%� ��* ���L������ � ���� ��� ������ ��K��M� �� M%�� ��KL��% �%���� �N���� ���%� L� O��� L����* �� ��K��O��� N�L�\���#�� � ��K���K�� ���* N� �� ������ ���$������������%� "� ���N�� �* ���� C��L��Z���� ��K�N�L��$�� ���� ���* #� L� O���� L������ M����L�� ����� ������* ���$��� � �M����O���� ��KN�Z��� $ ��M� % L� * O���� � ��K�%� L����K���� L������ L� �����* L����� � � �O����� � L���N�O����� ���#����� � Z�L��� � � ��K��� D�K��M� ���%� L� O��� ��P�� ���N������ � ��K��O�%� � ���� � ���* N%P������ �� ���� ��� ����#����� � N� ���* � ������� ��\ �L�M%��SR� � L������ G?C@'nI@=E"">A G?�@F"G�G ��l�����O @� ?�� Q�� O���� E� l�� D��O���� l� ?� C��* ���� ��% ��K�� � L� O���� L������ L� ����#����%� � �MR����N%P����%� l�� AAE���#�����*���N�O���� ����* �� � �������� �^ ���f�^ � ���^ ?� ��f^�Y�� Vo21:<-j4 p� c�� q218,j4:9r7 s� o�� t,9j4:9r7 o� c� AAs<-,;i-7997* r7i+-j4:ir,8, ;:r49-r, - ;:r497.7u-8,� ���f� v ��� d� ��fW ��B����� A� E�� Q������ G� "� D�K��M� �� �%���� �N��* �� ���%� ���������L�����%� L� O���� L������ AA C��M�* �% � ��� �N%� ����������� ��� ���$� L������ ����^ ���!�^ � ��^ U� ��^�f� Vw7r17< )� s�� q,1-97< x� v� AA�d1-y718 - i-i;:+8� z61,<.:9-:� r79;17.{� 0-,u97i;-r,� ���!� v �� d� ��W �� =������ =� G� G� �����$�%� ��K�����M��K��� ����^ B�����/ [������ �N�KL� � �!b�� V|,u,97< |� x� x9;:u1,.{98: ;:93761:7y1,37<,;:.-� w7ir<,/ )9:1u7,;7+-30,;� �!b�W Y� E���� @� E�� B�N������� =� B�� C� ��� =� =� � L�� B�������� ����%� ����M��K��� ��� ������ ��O����� ��* ��O���^ ��������/ �D��� ����� Vsu::< p� s�� w,+-r797<, |� w�� d:;17< |� |� - 01� w-r17:.:r;17998: 61:7y1,37<,;:.- 9::.:r;1-j4:ir-r4 <:.-j4-9� },u,917u }t}z� ����W � '��~� H� ��� l��L~���� �� @�� ���Z��~� E� @� � ~�� ? ������ N~������� ������ L� O��~� ������ �����~�� L� ~� ���� ���$��� ��� �N�^ @L���/ E� ����~� � ����� V�:6-r4 �,� x�� o710-:9r7 �2� p�� �1234-9-9 s� p� ;, -9� c;<71:998, +-r17:.:r;1799-r4 0,;j4-r-< 97<7u7 67r7.-998, 0.8, -9;:.:r;2* ,.{9-r4 i-i;:+� p0:i,/ si;1761-9;� ����W �� w,18,+7<, x�� }8r4,9 w�� �2;1,r7< s� :; ,.� c:+-j7902j;71 +:j4,9-j,. i:9i71i �71 ,0<:1i: ,90 089,+-j j790-;-79i AA �x| xw)�p �71.0 U79u1:ii�^ �-9.,90� },+6:1:� �!!f�^ |7.� x�s�^ d� !!^���� f� C� ���� E� C� ���N�� ����� �����^ B�����/ J�N� � �!ff� Vd:;17<, s� d� }:1+7i;7-r-: r.:-� w7ir<,/ �4-+-8,� �!ffW b� ������� "� C� ���K���K�� ��%�^ B�����/ B�P���* � ������� �!!�� V�.7r7<, v� d� }:9371:3-i;718� w7ir<,/ w,i4-97i;17:9-:� �!!�W !� B��� ���� Q� =� C��#�K����%� �����%� ?�����O* ����^ B�����/ B� ������� � �!fY� Vw7.7;-.7< q� |� d1:;i-3-7998: i6.,<8� c61,<7j49-r� w7ir<,/ w:;,..21u-8,� �!fYW ��� "������� ?� G� �������� ���P������ ���L%� ���^ B�����/ "����� �!fY� Vv7<-r7<, c� x� }:6.7<7: 1,ii4-1:9-: ;<:108r4 ;:.� w7ir<,/ v,2r,� �!fYW ��� ���Z���� E� E�� B��$ N��� G� G�� '��� ��� A� "� � L�� C��������L�����%� ������% N�����O����� ����O�� �� ������ N�������� ����� ���N�� L� ��� ��N��$�%� ��* ����� AA B������� �N�� �������^ �����^ � !�^ U� �^ b� V�1234-9-9 s� s�� w,1{8,+7<, x� x�� �,<-;ir,8, )� v� - 01� A A w-r17i-i;:+9,8, ;:r49-r,� ����� v !� d� �W ��� ���Z���� E� E�� B��$ N��� G� G�� '��� ��� A� "� � L�� @ ���������L�����%� ��K���K�� ���� � N�������� * ����%N L� O���N AA �� O��� � ��� �N%�^ �����^ � ��^ ?� �^f� V�1234-9-9 s� s�� w,1{8,+7<, x� x�� �,<-;ir,8, )� v� - 01� AA �,;j4-r- - i-i;:+8� ����� v �� d� �W ��� ���Z��~� E� @�� �� ����� @� C�� B��{ N��� �� �� ���K���K�� ���~ ������� ���� �� �����~ �� ����L~M��� ����* ��~� ���N�~S L� P������� L~���K��� �N���� �� AA =~���� "� �'$�~��$�� ���~ ���~���� A��� ���~���^ �����^ � f^b�^ ?� �Y^f�� V�1234-9-9 s� p�� �2;1,r7< p� d�� w,1{8,+7<, x� x� �� |-i9-r vz ��{<-<i{r, 67.-;:r49-r,�� ).:r;179-r,� ����� v f�b� d� �YW �����!���(!���� ��(��!��� �������.�0�BC�B@�:B9:�*� ��������������������������� �1234-9-9 s� s� �2;1,r7< s� d� w,18,+7<, x� x� ����� !"#!$% &$!�#$!''&$!�'!(')$'�*� ��' $%�(��%&�!' +%'!,�)(�'�-�.)(�*��'/!$'� DEF�GHIJ�1��4K4�HL���8IM4L�NMONE��2IE��OIE��EL�HI� P4NP�8EQ2EIM8OIE� c;20-:i ,-+:0 ,; ;4: j1:,;-9u 7� 6-:371:i-i;-<: 61:ii21: i:9i71i y,i:0 79 i-.-j79 �4-ir:1i� 76:1,;-9u ,; 4-u4 ;:+6:1,;21:i �:1: j,11-:0 72;� zi-9u ;4: u.,ii ,04:i-<: �71 i;1,-9 u,2u:i +729;-9u 79 i61-9u :.:+:9;i 7� j7<,1 ,..78 u,<: ;4: 67ii-y-.-;8 ;7 :.:<,;: ;4: i:9i71{i 76:1,;-9u ;:+6:1,;21: 1,9u:� c:<:1,. +70-�-j,;-79i 7� 61:ii21: i:9i71i y,i:0 79 ;4: 61767i:0 i;1,-9*29-; 0:i-u9 �:1: 0:<:.76:0� zr1,-9:� �<-< v,;-79,. z9-<:1i-;8 &�<-< d7.8;:j49-j(� ���������������������������� ���Z��~� E� @�� B��{ N��� �� ��� �� ����� @� C� 0��121�3453� �6�78�9 �:�2�����26�;��37;1�3;��� �1� 4��7 �1�71<8�7��215198�7�=�2���� �8<�2�3478>� ��0$��R������1����&�R-�����"���"����������$��� ����(�������R���&!����(��� C����L��� L���~LZ��� � ��� N����~ �� � ������ ��K���K�� ����� L� O��~� ���� �� �����~ �� ��* ��L~M��� ���� ��~� ���N�~S� ���#�KL� ��� ��� ��* ����� �N���� ����� =������ ��� ���������S L� ��~����� ��K���K�� ��~� �� ���Z��� ���N�� �� L� O��~� K ���������� ������ L�K������ �~L��R� � L~���K�� ��M�O�� �N���� �� L� O��~�� "� �����~ K������������� ��K�N�L��$��� ���� ���#~� ��K��M* ���� L� O��� ���� �~K��� N�L�\~��#~�� �������� "�#~����$��� ��~����� � &'$�~��$�� ��* �~ ���~��(�
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51721
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-25T23:50:44Z
publishDate 2012
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Марьямова, И.И.
2013-12-07T14:49:10Z
2013-12-07T14:49:10Z
2012
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721
621.315.592
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.
Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації.
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Високотемпературні датчики тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів кремнію
High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers
Article
published earlier
spellingShingle Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Марьямова, И.И.
Сенсоэлектроника
title Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
title_alt Високотемпературні датчики тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів кремнію
High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers
title_full Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
title_fullStr Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
title_full_unstemmed Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
title_short Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
title_sort высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721
work_keys_str_mv AT družininaa vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT kutrakovap vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT marʹâmovaii vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT družininaa visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû
AT kutrakovap visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû
AT marʹâmovaii visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû
AT družininaa hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers
AT kutrakovap hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers
AT marʹâmovaii hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers