Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазо...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51721 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. 2013-12-07T14:49:10Z 2013-12-07T14:49:10Z 2012 Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 621.315.592 Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации. Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації. Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния Високотемпературні датчики тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів кремнію High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| spellingShingle |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. Сенсоэлектроника |
| title_short |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_full |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_fullStr |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_full_unstemmed |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_sort |
высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| author |
Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. |
| author_facet |
Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. |
| topic |
Сенсоэлектроника |
| topic_facet |
Сенсоэлектроника |
| publishDate |
2012 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Високотемпературні датчики тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів кремнію High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers |
| description |
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации.
Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації.
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 |
| citation_txt |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT družininaa vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT kutrakovap vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT marʹâmovaii vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT družininaa visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû AT kutrakovap visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû AT marʹâmovaii visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû AT družininaa hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT kutrakovap hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT marʹâmovaii hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers |
| first_indexed |
2025-11-25T23:50:44Z |
| last_indexed |
2025-11-25T23:50:44Z |
| _version_ |
1850586048510296064 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
���
������ � !�
������������������
�
������
���������������������
��
�����������
��������
"�#�����$�%�
��������
�
&'$������
����
������(
)*+,-./
01234567.89:;�.<-<�2,
=>?@�@�ABCADE��D">A
�E�FG�G
�E='A"GH
?
�A"I@DAIG?�@DEBG
"E
@?"@=A
"G�A=G�">J
�DG?�E''@=
�DAB"GH
D�K��
��
� L�
�M���
��
�������
����
���
����#����� �
����
��*���N�O���� �
��N�O����
�
L���
�%L�����
K�L�O�
��KL���
L�
O����
L��*
���� �
��M�
������M�%�
���
���%P���%�
�N*
����
�����
Q��$P�
O��
$
��R��
��SR��
�
��*
�
� R��
���N
��K�N�
��O�����
���������L��*
���%�
L�
O����
L������
�������
����
�
���
��M�O��
�N����
���
��
M����
���TU
�K*K�
����*
��O����
��L�#����%�
N�
��������
�����$K�*
�N%�
L�
��
�K��
������
V�W�
GK���
�%�
N�*
�������
����%�
L�
O���
L������
��
������
��*
�������
X���N���
��
L�����
����X
�����M�%
���*
P���
$
��M�O��
L����K��
���M����
���M��K�*
��$��
L�
Y �TU�
�L����
�
�
��KN�Z��
��M�
��
����
���
���N�Z�
��
���N����
��M�
���
�����$*
K������
��L ����
����ZL��� �
[
�
�� K���
�
�N�
O
�
O���
��
��$�%�
���N��
%
����
L�
O����
���
�%�����
�N����
����
�N�S
M��$P�S
�LL�
��*
��S
�����P���
$
�K*K�
�%�����
N�����O�����
���� Z�����
�M���������%�
��K��O��N
�N��*
��
���%�
���\\�#���
��
���P�����
�����
N��*
���������
N�NM���%�
���N�
����
O���
��
��$*
�%�
���N��
%
N��������
����%�
L�
O����
L��*
�������������������� ����!���������������"���������"���"�������#����$����������%
�� ��������������������#���������������&�� ����'����!���'��#�!���������#���&!���%
�(���
�!��)"�������������!��!� ��� ����!���� ����"���"�����������(!�(*�#�+��&����#
���$������"���������*���!�����!�"�������!������)����!�"�����'�$�#���&!����(�����%
$����������������!�����,����-����"�&��(�)��-�������(�.�����"��'���������$�������%
���� ���"��$��-�&���/���.���
��0$����������1����&��-�����"���"����������$����������� ������������&!����(���
����
��M�S
���N�����
���Z�����
L�����*
�
� R���
�M���L�����
�
�N�S
��K��S
��L�Z*
���
$
���
�L���%�
�����K���
�
��K���
���O���
�KN�� �N���
L������
V�W�
]��$S
���
� R��
��M�
%
�� �
�
��K��M�
��
�%����
�N����
���%�
��K���K��
���%�
L�
O����
L������
���#���$����
��K��O���
��
������
��*
�%�
����
���
�����*
����O�����
��P�����
=
�����L���
���N
������%N
N�
������N
L�
�K��
������
O���
��
��$�%�
���N��
��
L�
O�*
���
�� �
�
���N����
O
�
�M���������
���
��*
������O���
$S�
��K���
�
��N��
$S
�
��M�
�*
�����M���
$S
�
P�����N
L����K���
�N����
��
V�^ W�
C��������L�����%�
��K���K��
��%
��
������
��
���L�%�
����
�����
_��`
���N��
�N�S
�%����S
N�����O����S
���O���
$�
���*
M��Z�SR�S�
�
����
�O����N�
���L���
���O*
���
�
L������
N�
������
_���
�%L��Z���S
L�*
\��N�#�S
���
Z���
L�
�� ^�a
�
��%P�
��b
#�����
K��������N�����
L�\��N�#��
V�W`�
D�K*
��M�
����
��������
��KL���
�N�O�����
���
��
��
N�
�L�N
�N���$����
������
���
���*
���
N�������������
�
"�
���N��
�M����O�*
��M��#�
�
���&����� ���"���"�������� ��� ������� ��� 2%34� �� ��"��&� (���)��&� ��!����������&
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
���
��L�Z��S
��M�
�
��K���K��
����
�
��K*
�%�
L���N�O�����
��Z�N��
�
���
���%P���%�
�N����
����
_L�
��T?`�
������$��
�N����
�*
��
��
��
���
c-^d;
���
��� �
b��T?�
����N
�M*
��K�N�
��KN�Z���
$
��M�
%
�
��
��K���K��
�*
���
���
�%�����
�N����
����
�M����O����
�
���
�����
��N�
��N���
���N�� �
�
��
���N
N��*
������
�O���
$
��M�SL��
�
��$��
���
�N��*
��
����
�%P�
��T?�
��
�
����������
�K��
��*
����
��K���K��
�����
=
���#����
�����L������
��N�
M%��
����L�*
���%
��
�N��$�%�
������
����������
"�
���N��
M���N
L�
�K��
������
��K���K��
�*
����
�����L�%�
L�
��M�
%
�
��K��O�%�
�N*
����
���%�
L����K�����
=
�
�����
�����L��%
������%�
����N�
�%
��K���K��
����
��
������
"�
2*c-
�
��K�%N
�L��$�%N
�����
�������N
ρ�
���K���K��
��%
��
������
���$������������%�
"�
���N��
�*
���
�
ρ e
���� ^�����
@N⋅�N
�M��L�S
��
�N��$�%N�
�����
����
���N�
L�
��KL���
��
��
������
�%����
�N����
���%�
L�
O����
L������ /
��������
K�����N��
$S
��*
���
������
�
�N����
��%
�
N���N��$���
K�*
����N��
$S
���\\�#���
�
��K�O���
��
��$��*
�
�
�
�N����
��%
�
L����K���
������ �T?�
��
���P�����
�N����
������
L����K���
��M�
%
��K���K��
���%�
L�
O����
N�����O�*
����
����O��
��
������
"�
���N��
�
�
�����
�%�����
�N����
��
���M��L�N�
�
��K�
$�
�
�K���
�%�
�%����
�N����
���%�
����N���%�
�����
�
#�N��
���
�����$K��N%�
L�
K�������*
��
��K���K��
����
��
�������
���N��
��
L�
*
O����
_N�NM������
M�����
�
L��`
Vf�
bW
�
��*
���
�
�
����#�����$��
���%N
N�
�L�N
������*
��
��K���K��
�����
��
��%�
�����M�%
�M����*
O�
$
��
\����#�S
���
���%P���%�
�N����
�*
����
=
��K��$
�
�
�����L���%�
�����L������
L�
�
��
#���
M%�
�%M���
�
����������
? �*�
�
���\\�#���
�N
��N�O������
���P�����
_�� `�
����%N
Y�!⋅��g�
TUg��
M��K��N
�
��D
���N��
_�� ^Y��`⋅��g�
TUg�
�
L����K���
�N��*
��
��
�
��N��
���
L�
�T?�
��N����
���
��K*
N �O���
�
���������
? �*�
���
��� �
f�T?�
=
��O��
��
N�
������
��������
���N��
�
L�
O�*
���
M%�
�%M���
�������%�
�����
�!"��
��D
��
�����
�����
Y��⋅��g�
TUg�
V!�
��W�
������$��
���
�
�N
��KL��
�
���L������
&���N���
̂
�
��*
��������
̂
�����(�
�������������
��
��D�
?��*
L��
��Z�
�
N�
�
$�
O
�
��������
�K��
����*
��
�����N���
�%�
���L������
��
������
���
&�����
^
�
����(
�����$K��
�
�
����
������
���N%P������
�
���
�K��
�������
����
����*
���N����
�M���L����� �
"�
���N����%�
��K���K��
���
K���������%�
��
������N
���N��
�
L�
O����
L���
���
��N�*
O����
L�\��N�#� �
�M����������
��K��O��N
��D
���N��
�
N�
������
��������
���N��
��
=���O���
��N�O�����
L�\��N�#��
����O�
%��*
���$
��
\��N���
�
_ ` V _ ` _ `W0 �
5
5 6 7
5
5 5 5 8ε = γ α − α∫
=
�����L�����
\��N���
���\\�#���
γ
��*
���
���K����
�\\��
�����
$
����L�O�
L�\��*
N�#��
�
��������
���N��
�
�
��K���K��
����
��
���L��Z������
�����M�
��������
��K���*
K��
���
��
���������
O
�
γe��!�
���
��L��
�K
�������
��N�O����
L�\��N�*
#� �
L���
��SR�
��
���N����%�
��K���K��*
���
�N��$P��
�
�
���%P����N
�N����
��%�
O
�
�M����O����
N���N��$�%�
��N�O�����
��*
�� Z���
�
�
�M��$���
$
�%��L�%�
�����
���*
�
��
L�
O����
���
��M�
�
�
L����K���
�N����*
��%
�
��N��
���
L�
� �T?�
?��L�
N�����
����
���#��
L�
O����
L����*
��
���M��$P�S
���������$���
$�
��
��P
�K�� L�
�N��
����
���#� �
�
��
����
�����$K��
�
���*
�N�
&N�NM����
^
P
��
^
M����(
_����� �`�
C���N�R��
��N�
����
����
���#��
����L
N�N*
M������
�� �
�
M����
�������
L�\��N�#���*
��
�����
����
���
��������
���N��
��
��KN�Z*
���
$
�N��$P���
��� ��
�N����
��%
��
��*
�������L�����%�
��K���K��
��%�
O
�
��K��� �
�N��$P�
$
�N����
����S
�����P���
$
L�
O����
C��
��KL����
L�
O����
L������
�����$K�*
�����$
��K��M�
����
��N�
����
���#�
L�
O�*
��
�
���������$�%N
��K�N�L���N
^
������*
O���
��
��$�%N
���N��
�N
�
K���������%N�
��
��N
��K���K��
���N��
@�����
����
���#��
��*
K�N�L��
���
��� �
���$#�
�
������$���
M��*
����
��
�M�
�
����%
��
����
K��������%
L��
�N����
���%�
���\\�#���
%
�����*
����
���P�����
N�
�������
��������
���N��
�
�
��K���K��
���
���
��
*
�
�����h
�N����
���
����N���K�#��
�L��K����
�L�
αi�
αj
^
��
^
ε�⋅��g�
g��
g���
g��
g���
g��
�
���
���
���
Y��
��
TU
D���
��
��N����
����
K�����N��
$
��N�O�����
L�\��N�#��
c-*
��K���K��
����
K������������
�
��*
��������N
��
������N
���N��
�
�K
������
�!"�
�
Y
D���
��
C���#�����$��
����
���#�
L�
O���
L������ /
9
̂
N�NM����h
:
̂
P
��h
;
^
M����h
<
^
��K���*
K��
��%h
=
̂
������
�
�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
��K���K��
����
?��#���$��
\��N�
��������
���N��
�
��K������
�N��$P�
$
����������
$
�%��L����
�������
L�
O����
L�
����a�
D�K��M�*
���%�
���������$�%�
��K�N�L��$
��K��� �
��KL���
$
��
���
������
L�
O���
L�
��K��O�%�
L����K����
L������ �
�KN��
��$��
���N�
��*
O�����
��KN��%
N�NM���%�
��
�����L���
�
��L��%�
���%
����
����*
#����%�
L����
����
�
�
�
�O����N
�
L���N�O�*
���N
��Z�N��
���M��L�N%
L�
O���
L������ �
��
��%�
�L����
��� ��
M%
���#�\�O����N
��*
M����� N/
N��%�
��M���
%
���
L��
�
�O��
�%*
�����
O���
��
��$���
�
�
�KN�� �N�N�
L����*
��S
���
���%P���%�
�N����
����
�
P�����N
O��
�
��N
L����K����
Q%��
��K��M�
��%
N���*
�
S��%�
�%����
�N����
���%�
L�
O���
L����*
��
V���
��W
�
L��N�
��N
��������N�SR��
N�N*
M���%
��b
NN�
���R���
N�NM���%
L�
O���
L��*
���� �
��M�
�SR���
�
L����K���
�������
�C��
���
��� �
��
N�N�
�
�
L����K���
������
BC�
^
� �
N�N�
=��
���N��
%
L�
O����
L������
�%*
������%
�K
����������
������
�!"�
�
���L���*
�%
N�ZL�
��M��
���
��N�R�
��K�����
�������
O
�
�M����O����
�%����S
Z��
���
$
�
���N�
�O*
���
$
����
���#���
����O�%�
���L������O�%�
��*
���
����
���
��K��M�
���%�
L�
O����
�
L����K�*
��
�N����
��
��k���T?
�����L��%
��
����� ��
IL��$
��L���
O
�
�%��L�%�
�����
����
���
L�
*
O����
�N�S
�������S
K�����N��
$
��
���N
�N*
����
����N
L����K���
�
L��
�
�O��
�%�����
���*
���$
�%��L����
�������
M�K
L������
��$����
���
������� �
Q����L��
�%�����
��K�O���
��
��$*
���
�
��K���K��
����
��
������
"�
c-
�*
���
�L�*
���$
K��O�
��$��
���%��
$
��M�
�����S
O��
�
�
L�
O����
L������
�
�N��$P�
$
��
��M���
%�
"�
������
���L�
������
\�
�
��K��M�
���%�
�%����
�N����
���%�
L�
O����
L������ �
�
�
�
�����
�����L��%
��
������%�
����N�
�%�
��
L������
���
L����
����
���
�������
���*
����
���M��L�N�
�����L�
$
�KN�����
L����*
��
��K��
�������L�
�����
�
��N���
������� �
�L�
�N����
���
L��
����
b��T?�
=����
���*
��#�
�N����
������
L����K���
��M�
%
L�
O�*
���
�
���N����%N�
��K���K��
���N�
������O�*
��
�N����
�����
���
��
����
�� �� �
�
N����*
����
�O���
$
���N�� �
��
����
�������
M%��
���L��Z���
����
���#� �
��
���
���L��N�
��*
���
����ZL����
L�
O���
Z�L���
$S
V��W�
���*
�
���#�
�
���P���
��L
��K��M�
������
L�
O�*
��
����K��%
��� ����� ��
A��
�������
���N��
�K��
�����
�
��L�
L���
#����L����
Z��
��
��*
�L�����%�
��Z��N
�
������N
�������� N��
O
�
��K��� �
����O�
$
L�\��N�#�S
�
��K�%N
K��*
��N�
������
L�
O���
�N��
�����
L�
�����Z*
L���
����ZL�SR��
Z�L���
��
����
���#�
��������
���N��
�
��K��� �
������
$S
K�R�*
�
$
��K���K��
��%
�
����ZL�SR��
Z�L���
��
>�%��
N=
��
Y�
��
�
��
�
?�
NC�
��T?
���
� �
���
� �
���
���
D���
��
I�����N��
$
�%��L����
�������
L�
O���
�
���������$�%N
��K�N�L���N
��
������
c-*
��K���*
K��
����
�
L������
���
��K��O�%�
�N����
����
D���
Y�
=%����
�N����
���%�
L�
O���
L������
��*
K�N�L��$���
����
���#��
��
������
"�
���N��
D���
�
����
���#�
�
���P���
��L
�%����
�N��*
��
������
L�
O���
�
���P��N
����ZL����N
�
���N*
����%N�
��K���K��
���N�/
9
̂
P
�#��h
:
̂
N�NM����h
;
̂
P
��h
<
̂
�������
���N��
h
=
̂
������h
@
̂
��K���K��
��%
�
Y
�
�
�
�
��M��#�
�
��������� #�������������� ��"��'������#� &���%
��0���#���������&!����(���#����$������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
J����
����
���
L�
O���
�����L������$
�
L�*
���K���
L�������
_����Y`⋅��
C�
�
�N����
��
�
��
L�
Y��T?
_M�K
���P����
����ZL��� `
�
L�
!��T?
�
����ZL����N�
l��L������O�%�
�����*
����
���
L�
O���
������%
��
���N
�����L����*
��N
L����K���
�N����
��
�
L��������
=���O�*
��
�%��L����
�������
��K��M�
������
L�
O���
���
�N����
���
Y��T?
_�����
�
N=`
L��
�
�O*
��
L�
���
�����
��#��
M�K
������� �
�
�N����*
���%�
���\\�#���
�%��L����
�������
L�
O���
��
����%P��
���fa⋅T?g�
�
L����K���
�N����
��
�����Y��T?�
?
���%P����N
�N����*
��%
��K���
��
O���
��
��$���
$
L�
O����
O
�
�� K���
�
�N��$P����N
N�L��
�������
�
��
��*
�
��
�
������
�
�N��$P����N
Z��
���
�
����
��*
�����
���
�N%
L�
O����
C����P���
$
L�
O���
�
L����K���
�N����
��
�����!��T?
���
��� �
m�� a�
�
L������
��$��
�N����
����
�����P*
���
$
L�
O���
L������
N��$P��
O�N
����a⋅T?g��
���
����N
�M��K�N�
��
������
�����L���%�
��*
���L������
�
����
���
������
��K��M�
��
M%��
��KL��%
�%����
�N����
���%�
L�
O���
L����*
��
��K��O���
N�L�\���#��
�
��K���K��
���*
N�
��
������
���$������������%�
"�
���N��
�*
����
C��L��Z����
��K�N�L��$��
����
���*
#�
L�
O����
L������
M����L��
�����
������*
���$���
�
�M����O����
��KN�Z���
$
��M�
%
L�
*
O����
�
��K�%�
L����K����
L������
L�
�����*
L�����
�
�
�O�����
�
L���N�O�����
���#�����
�
Z�L���
�
�
��K���
D�K��M�
���%�
L�
O���
��P��
���N������
�
��K��O�%�
�
���� �
���*
N%P������
��
����
���
����#����� �
N�
���*
�
�������
��\
�L�M%��SR�
�
L������
G?C@'nI@=E"">A
G?�@F"G�G
��l�����O
@�
?��
Q�� O����
E�
l��
D��O����
l�
?�
C��*
����
��%
��K��
�
L�
O����
L������
L�
����#����%�
�
�MR����N%P����%�
l��
AAE���#�����*���N�O����
����*
��
�
�������� �^
���f�^
�
���^
?�
��f^�Y��
Vo21:<-j4
p�
c��
q218,j4:9r7
s�
o��
t,9j4:9r7
o�
c�
AAs<-,;i-7997*
r7i+-j4:ir,8,
;:r49-r,
-
;:r497.7u-8,�
���f�
v
���
d�
��fW
��B�����
A�
E��
Q������
G�
"�
D�K��M�
��
�%����
�N��*
��
���%�
���������L�����%�
L�
O����
L������
AA
C��M�*
�%
�
���
�N%�
�����������
���
���$�
L������
����^
���!�^
�
��^
U�
��^�f�
Vw7r17<
)�
s��
q,1-97<
x�
v�
AA�d1-y718
-
i-i;:+8�
z61,<.:9-:�
r79;17.{�
0-,u97i;-r,�
���!�
v
��
d�
��W
��
=������
=�
G�
G�
�����$�%�
��K�����M��K���
����^
B�����/
[������
�N�KL�
�
�!b��
V|,u,97<
|�
x�
x9;:u1,.{98:
;:93761:7y1,37<,;:.-�
w7ir<,/
)9:1u7,;7+-30,;�
�!b�W
Y�
E����
@�
E��
B�N�������
=�
B��
C�
���
=�
=�
�
L��
B��������
����%�
����M��K���
���
������
��O�����
��*
��O���^
��������/
�D���
�����
Vsu::<
p�
s��
w,+-r797<,
|�
w��
d:;17<
|�
|�
-
01�
w-r17:.:r;17998:
61:7y1,37<,;:.-
9::.:r;1-j4:ir-r4
<:.-j4-9�
},u,917u
}t}z�
����W
�
'��~�
H�
���
l��L~����
��
@��
���Z��~�
E�
@�
�
~��
?
������
N~�������
������
L�
O��~�
������
�����~��
L�
~�
����
���$���
���
�N�^
@L���/
E�
����~�
�
�����
V�:6-r4
�,�
x��
o710-:9r7
�2�
p��
�1234-9-9
s�
p�
;,
-9�
c;<71:998,
+-r17:.:r;1799-r4
0,;j4-r-<
97<7u7
67r7.-998,
0.8,
-9;:.:r;2*
,.{9-r4
i-i;:+�
p0:i,/
si;1761-9;�
����W
��
w,18,+7<,
x��
}8r4,9
w��
�2;1,r7<
s�
:;
,.�
c:+-j7902j;71
+:j4,9-j,.
i:9i71i
�71
,0<:1i:
,90
089,+-j
j790-;-79i
AA
�x|
xw)�p
�71.0
U79u1:ii�^
�-9.,90�
},+6:1:�
�!!f�^
|7.�
x�s�^
d�
!!^����
f�
C�
����
E�
C�
���N��
�����
�����^
B�����/
J�N� �
�!ff�
Vd:;17<,
s�
d�
}:1+7i;7-r-:
r.:-�
w7ir<,/
�4-+-8,�
�!ffW
b�
�������
"�
C�
���K���K��
��%�^
B�����/
B�P���*
�
�������
�!!��
V�.7r7<,
v�
d�
}:9371:3-i;718�
w7ir<,/
w,i4-97i;17:9-:�
�!!�W
!�
B���
����
Q�
=�
C��#�K����%�
�����%�
?�����O*
����^
B�����/
B�
������� �
�!fY�
Vw7.7;-.7<
q�
|�
d1:;i-3-7998:
i6.,<8�
c61,<7j49-r�
w7ir<,/
w:;,..21u-8,�
�!fYW
���
"�������
?�
G�
��������
���P������
���L%�
���^
B�����/
"�����
�!fY�
Vv7<-r7<,
c�
x�
}:6.7<7:
1,ii4-1:9-:
;<:108r4
;:.�
w7ir<,/
v,2r,�
�!fYW
���
���Z����
E�
E��
B��$ N���
G�
G��
'���
���
A�
"�
�
L��
C��������L�����%�
������%
N�����O�����
����O��
��
������
N��������
�����
���N��
L�
���
��N��$�%�
��*
�����
AA
B�������
�N��
�������^
�����^
�
!�^
U�
�^
b�
V�1234-9-9
s�
s��
w,1{8,+7<,
x�
x��
�,<-;ir,8,
)�
v�
-
01�
A
A
w-r17i-i;:+9,8,
;:r49-r,�
�����
v
!�
d�
�W
���
���Z����
E�
E��
B��$ N���
G�
G��
'���
���
A�
"�
�
L��
@
���������L�����%�
��K���K��
����
�
N��������
*
����%N
L�
O���N
AA
��
O���
�
���
�N%�^
�����^
�
��^
?�
�^f�
V�1234-9-9
s�
s��
w,1{8,+7<,
x�
x��
�,<-;ir,8,
)�
v�
-
01�
AA
�,;j4-r-
-
i-i;:+8�
�����
v
��
d�
�W
���
���Z��~�
E�
@��
��
�����
@�
C��
B��{ N���
��
��
���K���K��
���~
�������
����
��
�����~
��
����L~M���
����*
��~�
���N�~S
L�
P�������
L~���K���
�N����
��
AA
=~����
"�
�'$�~��$��
���~
���~����
A���
���~���^
�����^
�
f^b�^
?�
�Y^f��
V�1234-9-9
s�
p��
�2;1,r7<
p�
d��
w,1{8,+7<,
x�
x�
��
|-i9-r
vz
��{<-<i{r,
67.-;:r49-r,��
).:r;179-r,�
�����
v
f�b�
d�
�YW
�����!���(!���� ��(��!���
�������.�0�BC�B@�:B9:�*�
���������������������������
�1234-9-9
s�
s�
�2;1,r7<
s�
d�
w,18,+7<,
x�
x�
����� !"#!$% &$!�#$!''&$!�'!(')$'�*� ��' $%�(��%&�!'
+%'!,�)(�'�-�.)(�*��'/!$'�
DEF�GHIJ�1��4K4�HL���8IM4L�NMONE��2IE��OIE��EL�HI�
P4NP�8EQ2EIM8OIE�
c;20-:i
,-+:0
,;
;4:
j1:,;-9u
7�
6-:371:i-i;-<:
61:ii21:
i:9i71i
y,i:0
79
i-.-j79
�4-ir:1i�
76:1,;-9u
,;
4-u4
;:+6:1,;21:i
�:1:
j,11-:0
72;�
zi-9u
;4:
u.,ii
,04:i-<:
�71
i;1,-9
u,2u:i
+729;-9u
79
i61-9u
:.:+:9;i
7�
j7<,1
,..78
u,<:
;4:
67ii-y-.-;8
;7
:.:<,;:
;4:
i:9i71{i
76:1,;-9u
;:+6:1,;21:
1,9u:�
c:<:1,.
+70-�-j,;-79i
7�
61:ii21:
i:9i71i
y,i:0
79
;4:
61767i:0
i;1,-9*29-;
0:i-u9
�:1:
0:<:.76:0�
zr1,-9:�
�<-<
v,;-79,.
z9-<:1i-;8
&�<-<
d7.8;:j49-j(�
����������������������������
���Z��~�
E�
@��
B��{ N���
��
���
��
�����
@�
C�
0��121�3453�
�6�78�9
�:�2�����26�;��37;1�3;���
�1�
4��7
�1�71<8�7��215198�7�=�2����
�8<�2�3478>�
��0$��R������1����&�R-�����"���"����������$���
����(�������R���&!����(���
C����L���
L���~LZ��� �
��� N����~
��
�
������
��K���K��
�����
L�
O��~�
����
��
�����~
��
��*
��L~M���
����
��~�
���N�~S�
���#�KL�
���
���
��*
�����
�N����
�����
=������
���
���������S
L�
��~�����
��K���K��
��~�
��
���Z���
���N��
��
L�
O��~�
K
����������
������
L�K������
�~L��R�
�
L~���K��
��M�O��
�N����
��
L�
O��~��
"�
�����~
K�������������
��K�N�L��$���
����
���#~�
��K��M*
����
L�
O���
����
�~K���
N�L�\~��#~��
��������
"�#~����$���
��~�����
�
&'$�~��$��
��*
�~
���~��(�
|