Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2012
• Main Authors: Дружинин, А.А., Кутраков, А.П., Марьямова, И.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2012
• Subjects: Сенсоэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазо...