Наливайко, О., & Турцевич, А. (2012). Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationНаливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. "Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2012.
MLA (8th ed.) CitationНаливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. "Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.