Наливайко, О., & Турцевич, А. (2012). Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Наливайко, О.Ю, und А.С Турцевич. "Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2012.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Наливайко, О.Ю, und А.С Турцевич. "Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.