APA (7th ed.) Citation

Наливайко, О., & Турцевич, А. (2012). Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Наливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. "Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2012.

MLA (8th ed.) Citation

Наливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. "Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.