Дудин, С., Лисовский, В., Дахов, А., & Плетнёв, В. (2011). Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationДудин, С.В, В.А Лисовский, А.Н Дахов, and В.М Плетнёв. "Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2011.
MLA (8th ed.) CitationДудин, С.В, et al. "Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.