Дудин, С., Лисовский, В., Дахов, А., & Плетнёв, В. (2011). Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Дудин, С.В, В.А Лисовский, А.Н Дахов, und В.М Плетнёв. "Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2011.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Дудин, С.В, et al. "Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.