Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51823 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862611351535353856 |
|---|---|
| author | Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. |
| author_facet | Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. |
| citation_txt | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса.
Представлено нові розробки - комплекти вакуумно-плазмового і фізико-термічного технологічного обладнання мікро-, нано-, радіоелектроніки для технічного навчання, наукових досліджень, відпрацювання технологічних процесів, а також для забезпечення дрібносерійного виробництва на підприємствах малого та середнього бізнесу.
Some new developments are presented - vacuum-plasma and physics-thermal processing equipment kits for micro, nano- and radio electronics for technical training, research, technological process development, as well as for smallscale production in small and medium-sized businesses.
|
| first_indexed | 2025-11-29T00:56:09Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51823 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-29T00:56:09Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. 2013-12-11T19:25:56Z 2013-12-11T19:25:56Z 2011 Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51823 Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса. Представлено нові розробки - комплекти вакуумно-плазмового і фізико-термічного технологічного обладнання мікро-, нано-, радіоелектроніки для технічного навчання, наукових досліджень, відпрацювання технологічних процесів, а також для забезпечення дрібносерійного виробництва на підприємствах малого та середнього бізнесу. Some new developments are presented - vacuum-plasma and physics-thermal processing equipment kits for micro, nano- and radio electronics for technical training, research, technological process development, as well as for smallscale production in small and medium-sized businesses. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники Нове технологічне обладнання для інноваційних технологій мікро-, нано-та радіоелектроніки New technological equipment for the innovative technologies of micro-, nano- and radio electronics Article published earlier |
| spellingShingle | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники Одиноков, В.В. Павлов, Г.Я. Технологические процессы и оборудование |
| title | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_alt | Нове технологічне обладнання для інноваційних технологій мікро-, нано-та радіоелектроніки New technological equipment for the innovative technologies of micro-, nano- and radio electronics |
| title_full | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_fullStr | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_full_unstemmed | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_short | Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| title_sort | новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51823 |
| work_keys_str_mv | AT odinokovvv novoetehnologičeskoeoborudovaniedlâinnovacionnyhtehnologiimikronanoiradioélektroniki AT pavlovgâ novoetehnologičeskoeoborudovaniedlâinnovacionnyhtehnologiimikronanoiradioélektroniki AT odinokovvv novetehnologíčneobladnannâdlâínnovacíinihtehnologíimíkronanotaradíoelektroníki AT pavlovgâ novetehnologíčneobladnannâdlâínnovacíinihtehnologíimíkronanotaradíoelektroníki AT odinokovvv newtechnologicalequipmentfortheinnovativetechnologiesofmicronanoandradioelectronics AT pavlovgâ newtechnologicalequipmentfortheinnovativetechnologiesofmicronanoandradioelectronics |