Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2011
• Main Authors: Одиноков, В.В., Павлов, Г.Я.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51823
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос.

Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях...