Рубцевич, И., Соловьев, Я., Высоцкий, В., Дудкин, А., & Ковальчук, Н. (2011). Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationРубцевич, И.И, Я.А Соловьев, В.Б Высоцкий, А.И Дудкин, and Н.С Ковальчук. "Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2011.
MLA (8th ed.) CitationРубцевич, И.И, et al. "Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011.