Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза
Исследованы электрофизические параметры и термическая стабильность дельта-легированных водородом слоев в природных и выращенных методом CDV кристаллах алмаза. Показана возможность создания барьеров Шоттки на гидрированной поверхности алмаза, термообработанного в потоке водорода. Запропоновано метод...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51845 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза / А.А. Алтухов, М.С. Афанасьев, К.Н. Зяблюк, А.Ю. Митягин, Н.Х. Талипов, Г.В. Чучева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 14-16. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862720316731555840 |
|---|---|
| author | Алтухов, А.А. Афанасьев, М.С. Зяблюк, К.Н. Митягин, А.Ю. Талипов, Н.Х. Чучева, Г.В. |
| author_facet | Алтухов, А.А. Афанасьев, М.С. Зяблюк, К.Н. Митягин, А.Ю. Талипов, Н.Х. Чучева, Г.В. |
| citation_txt | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза / А.А. Алтухов, М.С. Афанасьев, К.Н. Зяблюк, А.Ю. Митягин, Н.Х. Талипов, Г.В. Чучева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 14-16. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследованы электрофизические параметры и термическая стабильность дельта-легированных водородом слоев в природных и выращенных методом CDV кристаллах алмаза. Показана возможность создания барьеров Шоттки на гидрированной поверхности алмаза, термообработанного в потоке водорода.
Запропоновано метод термообробки у водні природних та вирощених методом CVD кристалів алмазу, який може служити альтернативою загальноприйнятому методу формування Н-шару в НВЧ-плазмі водню як більш простий і відтворюваний. Встановлено межу термічної стабільності гідрованої алмазної поверхні. Показано, що алюміній, напилений на гідровану при термообробці у водні алмазну поверхню, може служити як затвір Шотки в польових НВЧ-транзисторах, виготовлених за технологією MESFET.
A method is proposed for the hydrogen heat treatment of natural and CVD-diamond crystals, which can serve as an alternative to conventional method of forming H-layer in microwave plasma of hydrogen as a simpler one and more reproducible. The boundaries of thermal stability of hydrogenated diamond surface are determined. It is shown that aluminum deposited on hydrogenated during the hydrogen heat treatment diamond surface can serve as a Schottky gate in microwave field-effect transistor made with MESFET technology.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:24:34Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51845 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:24:34Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Алтухов, А.А. Афанасьев, М.С. Зяблюк, К.Н. Митягин, А.Ю. Талипов, Н.Х. Чучева, Г.В. 2013-12-12T22:59:27Z 2013-12-12T22:59:27Z 2011 Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза / А.А. Алтухов, М.С. Афанасьев, К.Н. Зяблюк, А.Ю. Митягин, Н.Х. Талипов, Г.В. Чучева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 14-16. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51845 621.382.3 Исследованы электрофизические параметры и термическая стабильность дельта-легированных водородом слоев в природных и выращенных методом CDV кристаллах алмаза. Показана возможность создания барьеров Шоттки на гидрированной поверхности алмаза, термообработанного в потоке водорода. Запропоновано метод термообробки у водні природних та вирощених методом CVD кристалів алмазу, який може служити альтернативою загальноприйнятому методу формування Н-шару в НВЧ-плазмі водню як більш простий і відтворюваний. Встановлено межу термічної стабільності гідрованої алмазної поверхні. Показано, що алюміній, напилений на гідровану при термообробці у водні алмазну поверхню, може служити як затвір Шотки в польових НВЧ-транзисторах, виготовлених за технологією MESFET. A method is proposed for the hydrogen heat treatment of natural and CVD-diamond crystals, which can serve as an alternative to conventional method of forming H-layer in microwave plasma of hydrogen as a simpler one and more reproducible. The boundaries of thermal stability of hydrogenated diamond surface are determined. It is shown that aluminum deposited on hydrogenated during the hydrogen heat treatment diamond surface can serve as a Schottky gate in microwave field-effect transistor made with MESFET technology. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза Формування дельта-легованого воднем р-шару в природних та CVD-кристалах алмазу Formation of delta-doped p-layer of hydrogen in natural and CVD-diamond crystals Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза Алтухов, А.А. Афанасьев, М.С. Зяблюк, К.Н. Митягин, А.Ю. Талипов, Н.Х. Чучева, Г.В. Сенсоэлектроника |
| title | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза |
| title_alt | Формування дельта-легованого воднем р-шару в природних та CVD-кристалах алмазу Formation of delta-doped p-layer of hydrogen in natural and CVD-diamond crystals |
| title_full | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза |
| title_fullStr | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза |
| title_full_unstemmed | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза |
| title_short | Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза |
| title_sort | формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и cvd-кристаллах алмаза |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51845 |
| work_keys_str_mv | AT altuhovaa formirovaniedelʹtalegirovannogovodorodompsloâvprirodnyhicvdkristallahalmaza AT afanasʹevms formirovaniedelʹtalegirovannogovodorodompsloâvprirodnyhicvdkristallahalmaza AT zâblûkkn formirovaniedelʹtalegirovannogovodorodompsloâvprirodnyhicvdkristallahalmaza AT mitâginaû formirovaniedelʹtalegirovannogovodorodompsloâvprirodnyhicvdkristallahalmaza AT talipovnh formirovaniedelʹtalegirovannogovodorodompsloâvprirodnyhicvdkristallahalmaza AT čučevagv formirovaniedelʹtalegirovannogovodorodompsloâvprirodnyhicvdkristallahalmaza AT altuhovaa formuvannâdelʹtalegovanogovodnemršaruvprirodnihtacvdkristalahalmazu AT afanasʹevms formuvannâdelʹtalegovanogovodnemršaruvprirodnihtacvdkristalahalmazu AT zâblûkkn formuvannâdelʹtalegovanogovodnemršaruvprirodnihtacvdkristalahalmazu AT mitâginaû formuvannâdelʹtalegovanogovodnemršaruvprirodnihtacvdkristalahalmazu AT talipovnh formuvannâdelʹtalegovanogovodnemršaruvprirodnihtacvdkristalahalmazu AT čučevagv formuvannâdelʹtalegovanogovodnemršaruvprirodnihtacvdkristalahalmazu AT altuhovaa formationofdeltadopedplayerofhydrogeninnaturalandcvddiamondcrystals AT afanasʹevms formationofdeltadopedplayerofhydrogeninnaturalandcvddiamondcrystals AT zâblûkkn formationofdeltadopedplayerofhydrogeninnaturalandcvddiamondcrystals AT mitâginaû formationofdeltadopedplayerofhydrogeninnaturalandcvddiamondcrystals AT talipovnh formationofdeltadopedplayerofhydrogeninnaturalandcvddiamondcrystals AT čučevagv formationofdeltadopedplayerofhydrogeninnaturalandcvddiamondcrystals |