Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы

• Опубліковано в: : Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Дата: 2011
• Автор: Перевертайло, В.Л.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
• Теми: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51846
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос.

Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости. Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів на стандартному обладнанні технологічної лінії в умовах серійного виробництва кремнієвих інтегральних схем. Представлено розробку прототипу детектора високоенергетичних часток для експерименту ALICE (CERN). . Виготовлені детектори порівнянні за параметрами з аналогічними зарубіжними детекторами, проте відрізняються меншою вартістю. The problems of design, technology and manufacturing double-sided silicon microstrip detectors using standard equipment production line in mass production of silicon integrated circuits are considered. The design of prototype high-energy particles detector for experiment ALICE (CERN) is presented. The parameters of fabricated detectors are comparable with those of similar foreign detectors, but they are distinguished by lesser cost.