Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы

Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости. Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мік...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2011
1. Verfasser: Перевертайло, В.Л.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51846
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862579906741796864
author Перевертайло, В.Л.
author_facet Перевертайло, В.Л.
citation_txt Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости. Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів на стандартному обладнанні технологічної лінії в умовах серійного виробництва кремнієвих інтегральних схем. Представлено розробку прототипу детектора високоенергетичних часток для експерименту ALICE (CERN). . Виготовлені детектори порівнянні за параметрами з аналогічними зарубіжними детекторами, проте відрізняються меншою вартістю. The problems of design, technology and manufacturing double-sided silicon microstrip detectors using standard equipment production line in mass production of silicon integrated circuits are considered. The design of prototype high-energy particles detector for experiment ALICE (CERN) is presented. The parameters of fabricated detectors are comparable with those of similar foreign detectors, but they are distinguished by lesser cost.
first_indexed 2025-11-26T20:00:21Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51846
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-26T20:00:21Z
publishDate 2011
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Перевертайло, В.Л.
2013-12-12T23:03:44Z
2013-12-12T23:03:44Z
2011
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51846
539.1.074.5;621.382;621.039.7
Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости.
Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів на стандартному обладнанні технологічної лінії в умовах серійного виробництва кремнієвих інтегральних схем. Представлено розробку прототипу детектора високоенергетичних часток для експерименту ALICE (CERN). . Виготовлені детектори порівнянні за параметрами з аналогічними зарубіжними детекторами, проте відрізняються меншою вартістю.
The problems of design, technology and manufacturing double-sided silicon microstrip detectors using standard equipment production line in mass production of silicon integrated circuits are considered. The design of prototype high-energy particles detector for experiment ALICE (CERN) is presented. The parameters of fabricated detectors are comparable with those of similar foreign detectors, but they are distinguished by lesser cost.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
Технологія інтегральних двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів
Integrated double-sided silicon microstrip detectors
Article
published earlier
spellingShingle Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
Перевертайло, В.Л.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
title_alt Технологія інтегральних двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів
Integrated double-sided silicon microstrip detectors
title_full Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
title_fullStr Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
title_full_unstemmed Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
title_short Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
title_sort интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51846
work_keys_str_mv AT perevertailovl integralʹnyedvuhstoronniekremnievyemikrostripovyedetektory
AT perevertailovl tehnologíâíntegralʹnihdvostoronníhkremníêvihmíkrostrípovihdetektorív
AT perevertailovl integrateddoublesidedsiliconmicrostripdetectors