Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2011
• Main Author: Перевертайло, В.Л.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
• Subjects: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51846
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос.

Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости. Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мік...