Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен. На підставі результатів дослі...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51851 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Смынтына, В.А. Кулинич, О.А. Яцунский, И.Р. Свиридова, О.В. Марчук, И.А. 2013-12-12T23:18:57Z 2013-12-12T23:18:57Z 2011 Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851 537.311.33:622.382.33 Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен. На підставі результатів дослідження процесів токоперенесення в контактах «метал — р-кремній» з різною товщиною шару полікристалічного р-кремнію описано механізми токоперенесення через такі структури. Встановлено, що при збільшенні товщини шару полікристал ічного р-кремнію механізм токоперенесення змінюється від подвійного інжекційного до дрейфово-дифузійного механізму. Така зміна пов'язана із збільшенням дрейфової складової струму в зоні просторового заряду контакту «метал — р-кремній», що виникає внаслідок збільшення поверхневої щільності розсіюючих бар'єрів, локалізованих на границях сусідніх полікристалів кремнію. Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystal line p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the layer of polycrystalline p-Si current transport mechanism changes from a double injection into the drift-diffusion. This change is due to an increase in the drift current component in the space charge zone of "metal — p-Si" contact, which arises as a result of increased surface density of scattering barriers, which are localized at the boundaries of neighboring silicon polycrystals ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» Вплив шару полі кристалічного кремнію на механізми токоперенесення в контактах «метал — р-кремній» Influence of polycrystalline silicon layer on flow through «metal—p-Si» contact Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» |
| spellingShingle |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» Смынтына, В.А. Кулинич, О.А. Яцунский, И.Р. Свиридова, О.В. Марчук, И.А. Материалы электроники |
| title_short |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» |
| title_full |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» |
| title_fullStr |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» |
| title_full_unstemmed |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» |
| title_sort |
влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» |
| author |
Смынтына, В.А. Кулинич, О.А. Яцунский, И.Р. Свиридова, О.В. Марчук, И.А. |
| author_facet |
Смынтына, В.А. Кулинич, О.А. Яцунский, И.Р. Свиридова, О.В. Марчук, И.А. |
| topic |
Материалы электроники |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| publishDate |
2011 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вплив шару полі кристалічного кремнію на механізми токоперенесення в контактах «метал — р-кремній» Influence of polycrystalline silicon layer on flow through «metal—p-Si» contact |
| description |
Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен.
На підставі результатів дослідження процесів токоперенесення в контактах «метал — р-кремній» з різною товщиною шару полікристалічного р-кремнію описано механізми токоперенесення через такі структури. Встановлено, що при збільшенні товщини шару полікристал ічного р-кремнію механізм токоперенесення змінюється від подвійного інжекційного до дрейфово-дифузійного механізму. Така зміна пов'язана із збільшенням дрейфової складової струму в зоні просторового заряду контакту «метал — р-кремній», що виникає внаслідок збільшення поверхневої щільності розсіюючих бар'єрів, локалізованих на границях сусідніх полікристалів кремнію.
Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystal line p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the layer of polycrystalline p-Si current transport mechanism changes from a double injection into the drift-diffusion. This change is due to an increase in the drift current component in the space charge zone of "metal — p-Si" contact, which arises as a result of increased surface density of scattering barriers, which are localized at the boundaries of neighboring silicon polycrystals
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851 |
| citation_txt |
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT smyntynava vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii AT kuliničoa vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii AT âcunskiiir vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii AT sviridovaov vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii AT marčukia vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii AT smyntynava vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi AT kuliničoa vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi AT âcunskiiir vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi AT sviridovaov vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi AT marčukia vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi AT smyntynava influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact AT kuliničoa influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact AT âcunskiiir influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact AT sviridovaov influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact AT marčukia influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact |
| first_indexed |
2025-11-25T23:07:04Z |
| last_indexed |
2025-11-25T23:07:04Z |
| _version_ |
1850577568799916032 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
���
��!"���"�� #��"�$�"��
��
�
���
������
�
��%��&�'
��"�(
����
�"
��������������� ��
��
��
����������������� ������
���
���������������������
�����������
������� ����� ��� ����
��������
)%������
��&�����*�+�
��������
�
�,"
-"
-"
.�/������
012345
63789:8;46<=2345">?2
@A-BC-D
EA)B
F)A-�G-E�HAA-IDE�)J)
�GD.C-B
CH
.DKHC-L.M
�)�)FDGDC)EH
@
�)C�H��HK
N.D�HAA
O
�1�GD.C-PQ
���� !�� ��"#�$ �%�&�#'�(#� �) &"*��
� !�&�#+#� ���)��� '� () �#� "� �� ,��� �
!�� -��)�.�#�#.�&#&"*��'-$�.�"#�*��
/#��� ()#&")*�&"����#+#� /*)'�*� �#��
"*�"*�� �#/� �*-$�.� �&���&"� �� ,��� �
!�� '�(#��)0�#&"�#.�(�#"�#&" �)*&&��
�*-$ 0� 1*)2�)#��� �#�*� /#�*��%0� �*
+)*� 3*0� &#&��� 0� /�)���
-�
����
�
�����%�����'
,�����R,�
���������1
��
�
���
��
��
N,�
���
O
���,���Q
�
S��*���,
T�
1
��
�
���
� U��
���,
�S��������
V�����,
�����*1
R������,
����
���
��
�+�
���
�,
�
,����1
�
����1
����
������"
.�%����������
���&�����
��������W1
%���
����R*
S��*��
T�
��
�,��
���
����
�/������
��
�
����
�/�����
R��/����"
E
�%���
�
����+�
��1
���%������
,�����R,��
�����W%���
���
/���R
���1
��
N,�
���
O
���,���Q
�
�/�
�,
����*���
�
���1
��+
S��*�����
�S���
�
��R��� �
�R�/�
*
X��%�,��1
��*�+�
������+
����
������"
E
%�����
�
����+�
��1
�� �
�
��R,�W���
*
�����
�����
*
���
��
+�
�S1
��%�'U��
��R��/�+,�
X�R���1
��������/����,�
�����
��,�"
-R���
���
/
�
��
�����&��
N,�
���
O
���,���Q
�
N%�����%
���,��
O
���,���Q
������R����+
���� 1
W��� �
�����% U��
�
��R���������'
����
�/�����
%�X��,�&��
Y�Z"
F��
�,�
%�
���R���+�
,�WX�R�+�
�����&
�����
����
��U��
�������
������%���
�S��1
�
��
��%��W�U��
��R���� %�/���+�
��������
����1
/�����
���,���
Y�Z"
T�����
�S���
�
��������
��1
��/������
���,��
����%�� �
�
������,
������R�1
������
����
�/�����
%�X��,�&���
��
���
R�����
�
�
�%���
�
����+�
�
�������
����,�
���
���,�� �
�
%�����
O
�
����,�
���
���
��
���'U��
,�
����1
����
��U��+
,�
����
���
%�����%�
���,��
�
����1
/�
%�X��
��
�
����%��,
���,���
Y�Z"
F�
,���
����1
,�U���
�
�����&+
��R%���
����S*
���,��
��R,�1
�+
R����
��������
����
�����/���'
� �
�� �� '
�
%������&����+�
��
��
�
�
%��*�+�
%������&��
Y�Z"
D���
��U���
�S���
�
��������
����/������
���,��
��,����
,��*V��
/�,
V�����
�S���
�
���1
�
����
�������
R�� %�
�
���,����
�
�
�
�S���
*
��1
U��
�����
��
��� �
��
�����
��
�����������
�
��1
��/���
���
/���R
���
��
+
N,�
���
O
���,���Q"
)%1
����
���%�
��U���
��������
����/������
���,��
���R,���,�
�
V������
�S���
�
����
����
�������
R�� %�
[���\
���
��
��
N,�
���
O
���,���Q�
����1
����
����/�����
���,���
���R+���
��� ���
��
���1
&���+
�����������
/���R
���
��
����%�
���
�����1
��
����
����
R�� %��
��
��,,�
��/�+�
����
��1
/�����
��
��&���*�+�
S��*�����
�S��R�����+�
%���1
�+,�
����
��/����,�
��� ,�
��
�����&��
����%���
R����
��������
�����
Y(�
�Z"
]��*'
���
� U��
��S�
+
�� ���*
�R�/����
���1
��
��U��+
���
��������
����/������
���,��
��
,�����R,+
�����������
�
���
��
��
N,�
���
O
)1���,���Q"
������� � ������ ������������
@��*
1�,����+�
�����
����
���
���
��
��
N,�1
���
O
)1���,���Q
��
��� ,�
��R���� %�/������
��������
����/������
���,��
��R��/���
��U��+
�
S�R
���
����%�� ��
�
��,�U*'
�
�
����
R��%�"
��
����/���
���
��������
����/������
���,1
��
����
��+
���,��
��^1��
[���\
���%����
��*��
����� ��
�
�
,��X���
N������Q
�������%�
���
�,1
����
���
����_E"
F���/���+�
����
%�����%�
���,1
��
�,���
��U���
�
��
�,
%�
���
,�,"
L�
�,
����
`4a�
�%�� ��
�
��%��,
���
����
����������
�����1
+"
C�
�����&�
̀ 4a�
�
���,��
������R��+�����*
���1
�
�/�����
���� W��� �
�����% U��
�
�� �����'
���
��������
����/������
���,��
��R��/���
��U��+
[�
R�����,��
�
�
��U��+
�+��U������
���
`4a�\�
��
���'
���
����������
������,�
��/����,
,�
�%�,
�
,�
�%�,
����
������
�������'U��
,����������"
-R�/����
���������
�
���,��
�����
��,�/�����
�S��S�
��
�����%����*
��R��/�+,�
,�
�%�,�
%�
����
������
�������'U��
,����������
[Gb.F\
���,�� ��
,��������1�����R�
��
c32
̀ >3:1(d
�
��1
�
�,��
������
�/������
%�������������
�����R�
�1
��
e4:;1$#�
�
������,,��
Nf3gQ"
I���
��
��*���
*
���1
S���
���
��� ��
����h
��
,�����
%��,�
�
��/��
O
�
�i��j�
%�
�i��j#
,"
��
)kb1����
��������
�����*R�����
����
��1
,�
�
el`1����
X��,+
m4nop
�
����
����
������
��R1
��V�'U��
�����S���
*'
�
,�,
�
������
�/����,
��R��V����,
�����R�
���
���h"
��
��
�/�����
,�
�%��
�����%�����
���,�� 1
��
,�
�������X�/�����
,��������
..G1�G"
�� �!�������"��� !�#$�"���� � �% ���$&�����
���
����R��
���
�����
���
���+�
�����R�
�����1
%���+�
�
��V�,
���%+%�U�,
�����%������
Y#Z�
��1
�������
*
���,��
��%
����%�,
�,��
���*��
��R�1
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
(�
���������
������
���
��� %�/����'
�
���
����
S��R��'
�
��������
����1
/�����"
)S��S�
��
���������
�
���,��
�RS���
��*1
�+,
����
���,
[��\
�����%�
�
��� �����'
%����1
��&����+�
��
���
��
��+�
,�W��
��S�'%�
*
�
��,�1
U*'
����
�������
,���������
[!��' (\"
b
�
���%�1
��*�
���
�
�� ������
���� %�/�����
����
����/�1
����
�
���
��+
���,�� "
@
��R��*
�
�
X��,�������
��������
����/����1
��
���,��
�������%�
�����
��%
%�����%�,
���,��
S+��
����/��+
%��
��R����%���
�
�S��R&��
�
������
��U���
4
��������
����/�����
�S���
�
S+��
��U�1
�
�����
,��*V�
V����+
)FL
5
[4�≈
��
�,
qq5\�
�
�
����
O
�����
���,�
�
���
[4≈
�
,�,
≈5\"
@
�����,
���/��
���
�����W����
����W�
��*��1
��
���� W���
��
�
�
�+�
R��%
��S�'%��
�
�,��*1
V����
V����+
)FL
�
��R���
����
���
6"
-R
�����R�
@HK
��
!��' )�
*
,�W��
�%���
*
�+��%�
/
�
��R��*
�1
��'U��
��
����+���
�
R�����,
6r7 �"
F��
�+��1
U������
������
���
%�����%�
���,��
�S��R��
�
�����
����
��������
����/������
���,�� �
��
��+�
��
��� �
��
,�����R,
�����������
�
����/���
���"
@
�
�,
���/��
��
����%�� �
�
%������
��W��&���
�
R���
����
����
�������
R�� %�
����
�����
�R
,�1
����
�
%+���
�R
���,��
Y!Z�
���
�
�,
����� ���
�
����
��������
����/������
���,��
�����S��W�,�
,���
�
��
��� �
��
��R��*
���'U��
����������"
��
�S��R&��
�
4≈5
���
V�����
)FL
���O���
,�,
�
�
�
��
�
���
���� W���
��
R��%�
����������
���1
U��
�� �
�
�
R���
��������
����/������
���,�� "
@
�
�,
���/��
�����&�
��R%���
%�����%�
���,��
�
�������,��
,�W��
��������,�����
*
,�%��*'
���
�����������+�
%������&���
��
�����&�
S�����
��
��+�
�S��R��
�
%������
S��*���+�
����"
F�����*��
���&���+
������������
����
����
R�� %��
����R*
��
��&���*�+�
S��*��+
��
�����&��
����
�����
,�������
�+�
������+,
,�����R,�,
�1
����������
�
��������
����/����,
���,���
�
R���
)FL�
���%�
4≈5�
�� �
�
����� ���
����
����
R�� 1
%��
��
��
��&���*�+�
S��*����"
b
�
�����%�
�
�,��*1
V���'
��%��W���
�
����
����
R�� %��
�
������/�1
��'
���"
-R
�����R�
X��,+
�� ,��
��
��
@HK
����
�
���
��+
[�,"
���"
��
1\
,�W��
�%���
*
�+��%
�
�,�
/
�
�� ,��
��
�R,�� �
�
��
%���X���1%�XX�1
R�����,�
,�����R,�
�
���
��
�
���
�
�+��W����,
6rµ�ostY87u[9:\Z
Y!Z"
^+��
R�,�/����
/
�
���
S��*V��
R��/��� �
����1
��/������
���� W��� �
������%+���,���
�
���
��
�
Nv=j�1`4Q�
�
R��/�
��*���
���&��
��&��
���&���1
���������
���,���
[S����
�h\
��S�'%��
�
R��1
/�
��*�+�
��
�
�/��"
b
�
��
�� R��
�
�����*1
�+,
��������,
R�� %�
�%��*
���
� ����
��R%����1
,+�
���&���
�������+,�
���,�� ,��
�
���
����1
/���
R�����
�
���&��
��&��
����
��/����
��
��1
�+�
���,�����
������R�����+�
��
�����&��
����%1
���
����
����
��
Y$Z"
-R���
���
/
�
,��������+�
�����&+
�
�����&+
����
����
��
���%�
��� '
��S��
%������&����+�
�
����
Y�Z"
E��������
R�1
� W���+�
%������&��
��
�����&��
S�����
�����%�
�
�S��R�����'
%��,���+�
���1
�
����
����+�
�����
R�� %�
�
�
�R��S�
%��
R��+
�����%�,��
��
�
��W�
,�W�
�����1
�
�
�
�S��R�����'
�����% U��
�������
��
�����&��
����
����
��"
E
����*
�R��S�
%��
R�����
�
����/��+
R�� %�
%������&��
�
�
��R�����
�&��
����%���
����
����
��"
���
����R��
)W�1�����R�
%������&��
��
���
���%�
����
�����&+
����
����
��
���&���1
������+
�������%�,"
���&��
��&�
���1
����%�
S+��
,����,��*��
��
�����&�
N%�1
����%
O
���,���Q
�
���
��� ��
���S��1
R�
��*��
#�(h
[�,"
�����*$\"
K���V�
�R1
���
���
/
�
�������%
�
���,���
��R%��
����
��/����
��
���+�
%�����+�
������1
�/�����
������
���
�S��R������
��,����1
���
N�������%
O
������� Q
���
�,����1
���
�����
����_E
Y��Z"
F�����*��
�,����
���
�
��
�,����
���
�������%�
��,�/�1
����
���������
���,�� �
,�W��
���%����1
W�
*�
/
�
��
�����&��
����
����
��
���1
����%
����%�
�
�
����
��/����
��
����,
���
� ����
"
�"
��R,�W��
�������
R�� %�
G��"
�"
b���
������
�R�S��W����
%������&����+�
��
��
�����
�S��S�
��
-�
�
�/����
#
,��
6�
,H
(�
��
��
��
�
���
��(
���7�
@
I �
,H
#
(
�
�
���
��(
7�
@
6�
,H
��#
��(
���
�
���
��(
�����7�
@
���
��(
����7�
@
�
j�
j�
j�
5:6�
,H
G��"
�"
@HK
�
���
��+
v=j�1`4
�
���/� �
���%�
4qq5�[*\���4≈5�[1\
�\
S\
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
(�
���������
������
���
�%��*
���&���
�������+�
���,�� ,�
�����&
����1
����
���
���
�
�
S+��
����R���
�
Y(Z"
www
����,
�S��R�,�
��
������
�����%���+�
�����%�1
�����
��
���������
/
�
���
�����/����
��U��+
���
��������
����/������
�1���,��
,�����R,
�����1
������
�R,�� �
�
�
%�������
��W��&��������
��1
��+�
����+���
�
���%��
�/���
R�����,��
*'�
�
%���X���1%�XX�R�����,��
����+���,�,�
��������1
&���*���
R�����,��
*'"
�����
�R,������
�� R���
�
�����/����,
%���X����
���
��� 'U��
���
�
R���
����
����
�������
R�� %�
���
��
�
N,�
���
O
�1���,1
���Q�
��R����'U��
����%�
���
�����/���
������1
���
���
���
���
�
��������'U��
S��*�����
������R�����+�
��
�����&��
����%���
R����
����1
����
�����
���,�� "
C�
,�����R,
�����������
/���R
���
��
N,�
���
O
��������
����/�����
)1���,���Q
,���
���R+��
*
��� ���
�����
�
��'U��
�
)1���,���
����
��/����
��
���+�
�
�,+
���,����
���
�������%�"
b
�
���1
,����
������R� �*
��
�����&��
����
����
���
��R%�1
'
%������
��*�+�
���
� ��
�
R����U�����
R���
���,�� �
/
�
�����/����
����
���
*
�����*����
�����������"
��
���������
/
�
����/���
�����*��1
��
���
S�%�
R�����
*
�
���&��
��&��
����
��/����
��
���+�
���,�����
������R�����+�
��
�����&��
����%���
����
����
��"
-EF)AxL)@HCCMD
-E�)IC-�-
�"
������/
)"
H"�
E,+�
+��
@"
H"�
J���S��,��
."
H"
�
%�"
@�� ���
����%�+�
%�X��
��
��
������%������
,�����/�����
��1
�� W����
�
%�X��,�&��
���
���������
���,��
uu
���������
�
����
����������
�
����
������
������
���"O
���$"O
�
�"O
E"
#�O#("
Yy954:4>z
a"
l"�
`26:76:3
{"
l"�
|539nop23:
}"
l"
uu
~o;z:?5?=463
4
y?:87p94p?�3:4o
�
05o;7p?::?4
ltt3p379po"
���$"
�
�"
�"
#�Z
�"
̀ 26:76:3
{"
l"�
y954:4>z
a"
l"�
|539nop23:
}"
l"�
�3789:8;46
�"
m"
~zo
87p9>79po
4:�o874=374?:
?g
:o3pj89pg3>o
536op8
4:
8454>?:j
�4?s4�o
8454>?:
87p9>79po
uu
�z?7?o5o>7p?:4>8"O
���$"O
�"
�!"O
�"
#�O#�"
�"
`26:76:3
{"
l"�
y954:4>z
a"
l"�
�3789:8;64
�"
m"�
}3p>z9;
�"
l"
�3>7?p8
4:g59o:>4:=
7zo
64o5�
87po88
?g
8454>?:
uu
�z?7?o5o>7p?:4>8"O
����"O
�"
��"O
�"
���O���"
("
H����
G"
-�W��&������
��������
X�
�
���
�
��������
����1
/�����
���,����+�
)�j(j(�1�
���
����
uu
��R���
�
������
����1
�����%�����"O
���!"O
�"
���
@+�"
("O
E"
(��O(�#"
Yl54o�
m"
uu
�4�4;3
4
7o;z:4;3
t?59tp?�?�:4;?�"
���!"
{?5"
��"
�
("
�"
(��Z
�"
�'��� �
H"
E"
�����+�
����������+�
�����+
�
������1
���
�+�
���
�
�/��
�
�+�������*
�+�
���������%�����+�
���1
S����
uu
��R���
�
������
���������%�����"O
����"O
�"
(��
@+�"
�"O
E"
�!�O�!$"
Yy9po=63:
l"
`"
uu
�4�4;3
4
7o;z:4;3
t?59tp?�?�:4;?�"
����"
{?5"
(�"
�
�"
�"
�!�Z
#"
�3789:8;46
�"
m"�
y954:4>z
a"
l"
c?2t5os
�o87p9>74?:
?g
:o3p1
89pg3>o
8454>?:
536op8
?g
`41`4a�
87p9>79po
uu
`o24>?:�9>7?p
�z684>8�
�93:792
05o>7p?:4>8
3:�
at7?o5o>7p?:4>8"O
����"O
{?5"
���
�("O
�"
(�$O(��"
!"
L�
E"
��R���
���������%�����+�
���S����"
I"
�"O
."
.���
��$("
Yf4
`"
}?8>?�"
}4p"
��$(Z
$"
������/
)"
H"
@��*
1�,�����
�����
����
���
�
���
��
,�1
��
j
��,�/��1,�%�X��������
���,���
j
)1���,���
uu
��R���
�
��,�
���%���
���"O
���#"O
�"
!�
�
("O
E"
!!#O!!�"
Yy954:4>z
a"
l"
uu
�4�4;3
4
;z42463
7�op�?=?
7453"
���#"
{?5"
!"
�
("
�"
!!#Z
�"
.�
���
J"
b���
������
%�X��
��
�
���������%�����"O
."
.���
��!("
Y}373po
|"
}?8>?�"
}4p"
��!(Z
��"
G����
�"
��X��
+
�
���,���
�
���������%������,
���,1
���"O
."
.���
��$("
Ymo4�6
y"
}?8>?�"
}4p"
��$(Z
�*&!�"��;��&(��")*� �*� +)*� 3�� )*/���*
<=>?@A=>B� C1�/� ,!�"*� � #�& �*D
����������
��
��������� ���
��������
�������� ����������
�� �� ��
�� ������ ��� ��
!"� ��� � �����
#$� %��&' � % ��� �
(� &��%�� ��'���
�+�� �
�,�
�
+
�
�
�
�
,
�
����������
����
�������
������������
�����������������������������
������������������������������������
�
��
�!�����
"��
#�������$����
%&''
"�()*��
��������
���
�� ����������
�������������� �
�
���� ��������
�����
����� ���������
� �����
�� �����������
�� �������
���
������� ��
���������������������������������� � ������� ����
��
��� ���������
�� !"������� �����
�#�������
�������
�
� �
��$� ����
���
%$� �� � ���������
� ����� ��� � ��������� �����
��������������
������&'��� #�������
"��������������
��
���%��
�������(� ������"�����
����
� �������������
����������)�
��
�� ����� ����� ��� ������� �%�����
������ � ��
"�����
�
�� � ������%
���
"
������$����
���������
�����
��������������
�� !���������$��������������
������������
� �� ���������
�����������
�����
��%�%�����%����"������������(�
� ����� # ����
|