Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»

Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен. На підставі результатів дослі...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2011
Автори: Смынтына, В.А., Кулинич, О.А., Яцунский, И.Р., Свиридова, О.В., Марчук, И.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51851
record_format dspace
spelling Смынтына, В.А.
Кулинич, О.А.
Яцунский, И.Р.
Свиридова, О.В.
Марчук, И.А.
2013-12-12T23:18:57Z
2013-12-12T23:18:57Z
2011
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851
537.311.33:622.382.33
Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен.
На підставі результатів дослідження процесів токоперенесення в контактах «метал — р-кремній» з різною товщиною шару полікристалічного р-кремнію описано механізми токоперенесення через такі структури. Встановлено, що при збільшенні товщини шару полікристал ічного р-кремнію механізм токоперенесення змінюється від подвійного інжекційного до дрейфово-дифузійного механізму. Така зміна пов'язана із збільшенням дрейфової складової струму в зоні просторового заряду контакту «метал — р-кремній», що виникає внаслідок збільшення поверхневої щільності розсіюючих бар'єрів, локалізованих на границях сусідніх полікристалів кремнію.
Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystal line p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the layer of polycrystalline p-Si current transport mechanism changes from a double injection into the drift-diffusion. This change is due to an increase in the drift current component in the space charge zone of "metal — p-Si" contact, which arises as a result of increased surface density of scattering barriers, which are localized at the boundaries of neighboring silicon polycrystals
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы электроники
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
Вплив шару полі кристалічного кремнію на механізми токоперенесення в контактах «метал — р-кремній»
Influence of polycrystalline silicon layer on flow through «metal—p-Si» contact
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
spellingShingle Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
Смынтына, В.А.
Кулинич, О.А.
Яцунский, И.Р.
Свиридова, О.В.
Марчук, И.А.
Материалы электроники
title_short Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_full Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_fullStr Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_full_unstemmed Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_sort влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
author Смынтына, В.А.
Кулинич, О.А.
Яцунский, И.Р.
Свиридова, О.В.
Марчук, И.А.
author_facet Смынтына, В.А.
Кулинич, О.А.
Яцунский, И.Р.
Свиридова, О.В.
Марчук, И.А.
topic Материалы электроники
topic_facet Материалы электроники
publishDate 2011
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Вплив шару полі кристалічного кремнію на механізми токоперенесення в контактах «метал — р-кремній»
Influence of polycrystalline silicon layer on flow through «metal—p-Si» contact
description Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен. На підставі результатів дослідження процесів токоперенесення в контактах «метал — р-кремній» з різною товщиною шару полікристалічного р-кремнію описано механізми токоперенесення через такі структури. Встановлено, що при збільшенні товщини шару полікристал ічного р-кремнію механізм токоперенесення змінюється від подвійного інжекційного до дрейфово-дифузійного механізму. Така зміна пов'язана із збільшенням дрейфової складової струму в зоні просторового заряду контакту «метал — р-кремній», що виникає внаслідок збільшення поверхневої щільності розсіюючих бар'єрів, локалізованих на границях сусідніх полікристалів кремнію. Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystal line p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the layer of polycrystalline p-Si current transport mechanism changes from a double injection into the drift-diffusion. This change is due to an increase in the drift current component in the space charge zone of "metal — p-Si" contact, which arises as a result of increased surface density of scattering barriers, which are localized at the boundaries of neighboring silicon polycrystals
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851
citation_txt Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT smyntynava vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii
AT kuliničoa vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii
AT âcunskiiir vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii
AT sviridovaov vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii
AT marčukia vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnii
AT smyntynava vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi
AT kuliničoa vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi
AT âcunskiiir vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi
AT sviridovaov vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi
AT marčukia vplivšarupolíkristalíčnogokremníûnamehanízmitokoperenesennâvkontaktahmetalrkremníi
AT smyntynava influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT kuliničoa influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT âcunskiiir influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT sviridovaov influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT marčukia influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
first_indexed 2025-11-25T23:07:04Z
last_indexed 2025-11-25T23:07:04Z
_version_ 1850577568799916032
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� ��� ��!"���"�� #��"�$�"�� �� � ��� ������ � ��%��&�' ��"�( ���� �" ��������������� �� �� �� ����������������� ������ ��� ��������������������� ����������� ������� ����� ��� ���� �������� )%������ ��&�����*�+� �������� � �," -" -" .�/������ 012345 63789:8;46<=2345">?2 @A-BC-D EA)B F)A-�G-E�HAA-IDE�)J) �GD.C-B CH .DKHC-L.M �)�)FDGDC)EH @ �)C�H��HK N.D�HAA O �1�GD.C-PQ ���� !�� ��"#�$ �%�&�#'�(#� �) &"*�� � !�&�#+#� ���)��� '� () �#� "� �� ,��� � !�� -��)�.�#�#.�&#&"*��'-$�.�"#�*�� /#��� ()#&")*�&"����#+#� /*)'�*� �#�� "*�"*�� �#/� �*-$�.� �&���&"� �� ,��� � !�� '�(#��)0�#&"�#.�(�#"�#&" �)*&&�� �*-$ 0� 1*)2�)#��� �#�*� /#�*��%0� �* +)*� 3*0� &#&��� 0� /�)��� -� ���� � �����%�����' ,�����R,� ���������1 �� � ��� �� �� N,� ��� O ���,���Q � S��*���, T� 1 �� � ��� � U�� ���, �S�������� V�����, �����*1 R������, ���� ��� �� �+� ��� �, � ,����1 � ����1 ���� ������" .�%���������� ���&����� ��������W1 %��� ����R* S��*�� T� �� �,�� ��� ���� �/������ �� � ���� �/����� R��/����" E �%��� � ����+� ��1 ���%������ ,�����R,�� �����W%��� ��� /���R ���1 �� N,� ��� O ���,���Q � �/� �, ����*��� � ���1 ��+ S��*����� �S��� � ��R��� � �R�/� * X��%�,��1 ��*�+� ������+ ���� ������" E %����� � ����+� ��1 �� � � ��R,�W��� * ����� ����� * ��� �� +� �S1 ��%�'U�� ��R��/�+,� X�R���1 ��������/����,� ����� ��,�" -R��� ��� / � �� �����&�� N,� ��� O ���,���Q � N%�����% ���,�� O ���,���Q ������R����+ ���� 1 W��� � �����% U�� � ��R���������' ���� �/����� %�X��,�&�� Y�Z" F�� �,� %� ���R���+� ,�WX�R�+� �����& ����� ���� ��U�� ������� ������%��� �S��1 � �� ��%��W�U�� ��R���� %�/���+� �������� ����1 /����� ���,��� Y�Z" T����� �S��� � �������� ��1 ��/������ ���,�� ����%�� � � ������, ������R�1 ������ ���� �/����� %�X��,�&��� �� ��� R����� � � �%��� � ����+� � ������� ����,� ��� ���,�� � � %����� O � ����,� ��� ��� �� ���'U�� ,� ����1 ���� ��U��+ ,� ���� ��� %�����%� ���,�� � ����1 /� %�X�� �� � ����%��, ���,��� Y�Z" F� ,��� ����1 ,�U��� � �����&+ ��R%��� ����S* ���,�� ��R,�1 �+ R���� �������� ���� �����/���' � � �� �� ' � %������&����+� �� �� � � %��*�+� %������&�� Y�Z" D��� ��U��� �S��� � �������� ����/������ ���,�� ��,���� ,��*V�� /�, V����� �S��� � ���1 � ���� ������� R�� %� � ���,���� � � � �S��� * ��1 U�� ����� �� ��� � �� ����� �� ����������� � ��1 ��/��� ��� /���R ��� �� + N,� ��� O ���,���Q" )%1 ���� ���%� ��U��� �������� ����/������ ���,�� ���R,���,� � V������ �S��� � ���� ���� ������� R�� %� [���\ ��� �� �� N,� ��� O ���,���Q� ����1 ���� ����/����� ���,��� ���R+��� ��� ��� �� ���1 &���+ ����������� /���R ��� �� ����%� ��� �����1 �� ���� ���� R�� %�� �� ��,,� ��/�+� ���� ��1 /����� �� ��&���*�+� S��*����� �S��R�����+� %���1 �+,� ���� ��/����,� ��� ,� �� �����&�� ����%��� R���� �������� ����� Y(� �Z" ]��*' ��� � U�� ��S� + �� ���* �R�/���� ���1 �� ��U��+ ��� �������� ����/������ ���,�� �� ,�����R,+ ����������� � ��� �� �� N,� ��� O )1���,���Q" ������� � ������ ������������ @��* 1�,����+� ����� ���� ��� ��� �� �� N,�1 ��� O )1���,���Q �� ��� ,� ��R���� %�/������ �������� ����/������ ���,�� ��R��/��� ��U��+ � S�R ��� ����%�� �� � ��,�U*' � � ���� R��%�" �� ����/��� ��� �������� ����/������ ���,1 �� ���� ��+ ���,�� ��^1�� [���\ ���%���� ��*�� ����� �� � � ,��X��� N������Q �������%� ��� �,1 ���� ��� ����_E" F���/���+� ���� %�����%� ���,1 �� �,��� ��U��� � �� �, %� ��� ,�," L� �, ���� `4a� �%�� �� � ��%��, ��� ���� ���������� �����1 +" C� �����&� ̀ 4a� � ���,�� ������R��+�����* ���1 � �/����� ���� W��� � �����% U�� � �� �����' ��� �������� ����/������ ���,�� ��R��/��� ��U��+ [� R�����,�� � � ��U��+ �+��U������ ��� `4a�\� �� ���' ��� ���������� ������,� ��/����, ,� �%�, � ,� �%�, ���� ������ �������'U�� ,����������" -R�/���� ��������� � ���,�� ����� ��,�/����� �S��S� �� �����%����* ��R��/�+,� ,� �%�,� %� ���� ������ �������'U�� ,���������� [Gb.F\ ���,�� �� ,��������1�����R� �� c32 ̀ >3:1(d � ��1 � �,�� ������ �/������ %������������� �����R� �1 �� e4:;1$#� � ������,,�� Nf3gQ" I��� �� ��*��� * ���1 S��� ��� ��� �� ����h �� ,����� %��,� � ��/�� O � �i��j� %� �i��j# ," �� )kb1���� �������� �����*R����� ���� ��1 ,� � el`1���� X��,+ m4nop � ���� ���� ������ ��R1 ��V�'U�� �����S��� *' � ,�, � ������ �/����, ��R��V����, �����R� ��� ���h" �� �� �/����� ,� �%�� �����%����� ���,�� 1 �� ,� �������X�/����� ,�������� ..G1�G" �� �!�������"��� !�#$�"���� � �% ���$&����� ��� ����R�� ��� ����� ��� ���+� �����R� �����1 %���+� � ��V�, ���%+%�U�, �����%������ Y#Z� ��1 ������� * ���,�� ��% ����%�, �,�� ���*�� ��R�1 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � (� ��������� ������ ��� ��� %�/����' � ��� ���� S��R��' � �������� ����1 /�����" )S��S� �� ��������� � ���,�� �RS��� ��*1 �+, ���� ���, [��\ �����%� � ��� �����' %����1 ��&����+� �� ��� �� ��+� ,�W�� ��S�'%� * � ��,�1 U*' ���� ������� ,��������� [!��' (\" b � ���%�1 ��*� ��� � �� ������ ���� %�/����� ���� ����/�1 ���� � ��� ��+ ���,�� " @ ��R��* � � X��,������� �������� ����/����1 �� ���,�� �������%� ����� ��% %�����%�, ���,�� S+�� ����/��+ %�� ��R����%��� � �S��R&�� � ������ ��U��� 4 �������� ����/����� �S��� � S+�� ��U�1 � ����� ,��*V� V����+ )FL 5 [4�≈ �� �, qq5\� � � ���� O ����� ���,� � ��� [4≈ � ,�, ≈5\" @ �����, ���/�� ��� �����W���� ����W� ��*��1 �� ���� W��� �� � � �+� R��% ��S�'%�� � �,��*1 V���� V����+ )FL � ��R��� ���� ��� 6" -R �����R� @HK �� !��' )� * ,�W�� �%��� * �+��%� / � ��R��* �1 ��'U�� �� ����+��� � R�����, 6r7 �" F�� �+��1 U������ ������ ��� %�����%� ���,�� �S��R�� � ����� ���� �������� ����/������ ���,�� � �� ��+� �� ��� � �� ,�����R, ����������� � ����/��� ���" @ � �, ���/�� �� ����%�� � � %������ ��W��&��� � R��� ���� ���� ������� R�� %� ���� ����� �R ,�1 ���� � %+��� �R ���,�� Y!Z� ��� � �, ����� ��� � ���� �������� ����/������ ���,�� �����S��W�,� ,��� � �� ��� � �� ��R��* ���'U�� ����������" �� �S��R&�� � 4≈5 ��� V����� )FL ���O��� ,�, � � � �� � ��� ���� W��� �� R��%� ���������� ���1 U�� �� � � � R��� �������� ����/������ ���,�� " @ � �, ���/�� �����&� ��R%��� %�����%� ���,�� � �������,�� ,�W�� ��������,����� * ,�%��*' ��� �����������+� %������&��� �� �����&� S����� �� ��+� �S��R�� � %������ S��*���+� ����" F�����*�� ���&���+ ������������ ���� ���� R�� %�� ����R* �� ��&���*�+� S��*��+ �� �����&�� ���� ����� ,������� �+� ������+, ,�����R,�, �1 ���������� � �������� ����/����, ���,��� � R��� )FL� ���%� 4≈5� �� � � ����� ��� ���� ���� R�� 1 %�� �� �� ��&���*�+� S��*����" b � �����%� � �,��*1 V���' ��%��W��� � ���� ���� R�� %�� � ������/�1 ��' ���" -R �����R� X��,+ �� ,�� �� �� @HK ���� � ��� ��+ [�," ���" �� 1\ ,�W�� �%��� * �+��% � �,� / � �� ,�� �� �R,�� � � �� %���X���1%�XX�1 R�����,� ,�����R,� � ��� �� � ��� � �+��W����, 6rµ�ostY87u[9:\Z Y!Z" ^+�� R�,�/���� / � ��� S��*V�� R��/��� � ����1 ��/������ ���� W��� � ������%+���,��� � ��� �� � Nv=j�1`4Q� � R��/� ��*��� ���&�� ��&�� ���&���1 ��������� ���,��� [S���� �h\ ��S�'%�� � R��1 /� ��*�+� �� � �/��" b � �� �� R�� � �����*1 �+, ��������, R�� %� �%��* ��� � ���� ��R%����1 ,+� ���&��� �������+,� ���,�� ,�� � ��� ����1 /��� R����� � ���&�� ��&�� ���� ��/���� �� ��1 �+� ���,����� ������R�����+� �� �����&�� ����%1 ��� ���� ���� �� Y$Z" -R��� ��� / � ,��������+� �����&+ � �����&+ ���� ���� �� ���%� ��� ' ��S�� %������&����+� � ���� Y�Z" E�������� R�1 � W���+� %������&�� �� �����&�� S����� �����%� � �S��R�����' %��,���+� ���1 � ���� ����+� ����� R�� %� � � �R��S� %�� R��+ �����%�,�� �� � ��W� ,�W� �����1 � � � �S��R�����' �����% U�� ������� �� �����&�� ���� ���� ��" E ����* �R��S� %�� R����� � ����/��+ R�� %� %������&�� � � ��R����� �&�� ����%��� ���� ���� ��" ��� ����R�� )W�1�����R� %������&�� �� ��� ���%� ���� �����&+ ���� ���� �� ���&���1 ������+ �������%�," ���&�� ��&� ���1 ����%� S+�� ,����,��*�� �� �����&� N%�1 ����% O ���,���Q � ��� ��� �� ���S��1 R� ��*�� #�(h [�," �����*$\" K���V� �R1 ��� ��� / � �������% � ���,��� ��R%�� ���� ��/���� �� ���+� %�����+� ������1 �/����� ������ ��� �S��R������ ��,����1 ��� N�������% O ������� Q ��� �,����1 ��� ����� ����_E Y��Z" F�����*�� �,���� ��� � �� �,���� ��� �������%� ��,�/�1 ���� ��������� ���,�� � ,�W�� ���%����1 W� *� / � �� �����&�� ���� ���� �� ���1 ����% ����%� � � ���� ��/���� �� ����, ��� � ���� " �" ��R,�W�� ������� R�� %� G��" �" b��� ������ �R�S��W���� %������&����+� �� �� ����� �S��S� �� -� � �/���� # ,�� 6� ,H (� �� �� �� � ��� ��( ���7� @ I � ,H # ( � � ��� ��( 7� @ 6� ,H ��# ��( ��� � ��� ��( �����7� @ ��� ��( ����7� @ � j� j� j� 5:6� ,H G��" �" @HK � ��� ��+ v=j�1`4 � ���/� � ���%� 4qq5�[*\���4≈5�[1\ �\ S\ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � (� ��������� ������ ��� �%��* ���&��� �������+� ���,�� ,� �����& ����1 ���� ��� ��� � � S+�� ����R��� � Y(Z" www ����, �S��R�,� �� ������ �����%���+� �����%�1 ����� �� ��������� / � ��� �����/���� ��U��+ ��� �������� ����/������ �1���,�� ,�����R, �����1 ������ �R,�� � � � %������� ��W��&�������� ��1 ��+� ����+��� � ���%�� �/��� R�����,�� *'� � %���X���1%�XX�R�����,�� ����+���,�,� ��������1 &���*��� R�����,�� *'" ����� �R,������ �� R��� � �����/����, %���X���� ��� ��� 'U�� ��� � R��� ���� ���� ������� R�� %� ��� �� � N,� ��� O �1���,1 ���Q� ��R����'U�� ����%� ��� �����/��� ������1 ��� ��� ��� ��� � ��������'U�� S��*����� ������R�����+� �� �����&�� ����%��� R���� ����1 ���� ����� ���,�� " C� ,�����R, ����������� /���R ��� �� N,� ��� O �������� ����/����� )1���,���Q ,��� ���R+�� * ��� ��� ����� � ��'U�� � )1���,��� ���� ��/���� �� ���+� � �,+ ���,���� ��� �������%�" b � ���1 ,���� ������R� �* �� �����&�� ���� ���� ��� ��R%�1 ' %������ ��*�+� ��� � �� � R����U����� R��� ���,�� � / � �����/���� ���� ��� * �����*���� �����������" �� ��������� / � ����/��� �����*��1 �� ��� S�%� R����� * � ���&�� ��&�� ���� ��/���� �� ���+� ���,����� ������R�����+� �� �����&�� ����%��� ���� ���� ��" -EF)AxL)@HCCMD -E�)IC-�- �" ������/ )" H"� E,+� +�� @" H"� J���S��,�� ." H" � %�" @�� ��� ����%�+� %�X�� �� �� ������%������ ,�����/����� ��1 �� W���� � %�X��,�&�� ��� ��������� ���,�� uu ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���"O ���$"O � �"O E" #�O#(" Yy954:4>z a" l"� `26:76:3 {" l"� |539nop23: }" l" uu ~o;z:?5?=463 4 y?:87p94p?�3:4o � 05o;7p?::?4 ltt3p379po" ���$" � �" �" #�Z �" ̀ 26:76:3 {" l"� y954:4>z a" l"� |539nop23: }" l"� �3789:8;46 �" m" ~zo 87p9>79po 4:�o874=374?: ?g :o3pj89pg3>o 536op8 4: 8454>?:j �4?s4�o 8454>?: 87p9>79po uu �z?7?o5o>7p?:4>8"O ���$"O �" �!"O �" #�O#�" �" `26:76:3 {" l"� y954:4>z a" l"� �3789:8;64 �" m"� }3p>z9; �" l" �3>7?p8 4:g59o:>4:= 7zo 64o5� 87po88 ?g 8454>?: uu �z?7?o5o>7p?:4>8"O ����"O �" ��"O �" ���O���" (" H���� G" -�W��&������ �������� X� � ��� � �������� ����1 /����� ���,����+� )�j(j(�1� ��� ���� uu ��R��� � ������ ����1 �����%�����"O ���!"O �" ��� @+�" ("O E" (��O(�#" Yl54o� m" uu �4�4;3 4 7o;z:4;3 t?59tp?�?�:4;?�" ���!" {?5" ��" � (" �" (��Z �" �'��� � H" E" �����+� ����������+� �����+ � ������1 ��� �+� ��� � �/�� � �+�������* �+� ���������%�����+� ���1 S���� uu ��R��� � ������ ���������%�����"O ����"O �" (�� @+�" �"O E" �!�O�!$" Yy9po=63: l" `" uu �4�4;3 4 7o;z:4;3 t?59tp?�?�:4;?�" ����" {?5" (�" � �" �" �!�Z #" �3789:8;46 �" m"� y954:4>z a" l" c?2t5os �o87p9>74?: ?g :o3p1 89pg3>o 8454>?: 536op8 ?g `41`4a� 87p9>79po uu `o24>?:�9>7?p �z684>8� �93:792 05o>7p?:4>8 3:� at7?o5o>7p?:4>8"O ����"O {?5" ��� �("O �" (�$O(��" !" L� E" ��R��� ���������%�����+� ���S����" I" �"O ." .��� ��$(" Yf4 `" }?8>?�" }4p" ��$(Z $" ������/ )" H" @��* 1�,����� ����� ���� ��� � ��� �� ,�1 �� j ��,�/��1,�%�X�������� ���,��� j )1���,��� uu ��R��� � ��,� ���%��� ���"O ���#"O �" !� � ("O E" !!#O!!�" Yy954:4>z a" l" uu �4�4;3 4 ;z42463 7�op�?=? 7453" ���#" {?5" !" � (" �" !!#Z �" .� ��� J" b��� ������ %�X�� �� � ���������%�����"O ." .��� ��!(" Y}373po |" }?8>?�" }4p" ��!(Z ��" G���� �" ��X�� + � ���,��� � ���������%������, ���,1 ���"O ." .��� ��$(" Ymo4�6 y" }?8>?�" }4p" ��$(Z �*&!�"��;��&(��")*� �*� +)*� 3�� )*/���* <=>?@A=>B� C1�/� ,!�"*� � #�& �*D ���������� �� ��������� ��� �������� �������� ���������� �� �� �� �� ������ ��� �� !"� ��� � ����� #$� %��&' � % ��� � (� &��%�� ��'��� �+�� � �,� � + � � � � , � ���������� ���� ������� ������������ ����������������������������� ������������������������������������ � �� �!����� "�� #�������$���� %&'' "�()*�� �������� ��� �� ���������� �������������� � � ���� �������� ����� ����� ��������� � ����� �� ����������� �� ������� ��� ������� �� ���������������������������������� � ������� ���� �� ��� ��������� �� !"������� ����� �#������� ������� � � � ��$� ���� ��� %$� �� � ��������� � ����� ��� � ��������� ����� �������������� ������&'��� #������� "�������������� �� ���%�� �������(� ������"����� ���� � ������������� ����������)� �� �� ����� ����� ��� ������� �%����� ������ � �� "����� � �� � ������% ��� " ������$���� ��������� ����� �������������� �� !���������$�������������� ������������ � �� ��������� ����������� ����� ��%�%�����%����"������������(� � ����� # ����