Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних зерен....
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51851 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» / В.А. Смынтына, О.А. Кулинич, И.Р. Яцунский, О.В. Cвиридова, И.А. Марчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 39-41. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |