Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы

Метод основан на использовании визуального отображения в поляризационном микроскопе локально нагретых областей в пленке холестерического жидкого кристалла на поверхности кристалла интегральной схемы....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2011
Main Authors: Попов, В.М., Клименко, А.С., Поканевич, А.П., Самотовка, В.Л.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51864
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы / В.М. Попов, А.С. Клименко, А.П. Поканевич, В.Л. Самотовка // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 6. — С. 30-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51864
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-518642025-02-09T20:26:58Z Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы Метод визначення температури та теплового опору точок поверхні кристала інтегральної схеми Method of determination of temperature and heat resistance of the points on the integrated circuit crystal surface Попов, В.М. Клименко, А.С. Поканевич, А.П. Самотовка, В.Л. Технологические процессы и оборудование Метод основан на использовании визуального отображения в поляризационном микроскопе локально нагретых областей в пленке холестерического жидкого кристалла на поверхности кристалла интегральной схемы. Запропоновано метод візуального відображення температури поверхні кристала інтегральної схеми (ІС) в плівці холестеричного рідкого кристала, осадженій на поверхню із розчину. Границі локальних областей є ізотермами з температурами відповідних фазових переходів. По положенню ізотерм і потужності, яку споживає кристал ІС, визначаються теплові опори між поверхнею і середовищем. Method for visualization of integrated circuit (IC) surface temperature by means of the liquid crystal film deposited from solution on its surface is proposed. The boundaries of local regions represent isotherms with corresponding phase transitions. On the base of isotherms positions and consumed by IC power thermal resistances between crystal and environment are determined. 2011 Article Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы / В.М. Попов, А.С. Клименко, А.П. Поканевич, В.Л. Самотовка // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 6. — С. 30-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51864 621-382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Попов, В.М.
Клименко, А.С.
Поканевич, А.П.
Самотовка, В.Л.
Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Метод основан на использовании визуального отображения в поляризационном микроскопе локально нагретых областей в пленке холестерического жидкого кристалла на поверхности кристалла интегральной схемы.
format Article
author Попов, В.М.
Клименко, А.С.
Поканевич, А.П.
Самотовка, В.Л.
author_facet Попов, В.М.
Клименко, А.С.
Поканевич, А.П.
Самотовка, В.Л.
author_sort Попов, В.М.
title Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
title_short Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
title_full Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
title_fullStr Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
title_full_unstemmed Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
title_sort метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2011
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51864
citation_txt Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы / В.М. Попов, А.С. Клименко, А.П. Поканевич, В.Л. Самотовка // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 6. — С. 30-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT popovvm metodopredeleniâtemperaturyiteplovogosoprotivleniâtočekpoverhnostikristallaintegralʹnoishemy
AT klimenkoas metodopredeleniâtemperaturyiteplovogosoprotivleniâtočekpoverhnostikristallaintegralʹnoishemy
AT pokanevičap metodopredeleniâtemperaturyiteplovogosoprotivleniâtočekpoverhnostikristallaintegralʹnoishemy
AT samotovkavl metodopredeleniâtemperaturyiteplovogosoprotivleniâtočekpoverhnostikristallaintegralʹnoishemy
AT popovvm metodviznačennâtemperaturitateplovogooporutočokpoverhníkristalaíntegralʹnoíshemi
AT klimenkoas metodviznačennâtemperaturitateplovogooporutočokpoverhníkristalaíntegralʹnoíshemi
AT pokanevičap metodviznačennâtemperaturitateplovogooporutočokpoverhníkristalaíntegralʹnoíshemi
AT samotovkavl metodviznačennâtemperaturitateplovogooporutočokpoverhníkristalaíntegralʹnoíshemi
AT popovvm methodofdeterminationoftemperatureandheatresistanceofthepointsontheintegratedcircuitcrystalsurface
AT klimenkoas methodofdeterminationoftemperatureandheatresistanceofthepointsontheintegratedcircuitcrystalsurface
AT pokanevičap methodofdeterminationoftemperatureandheatresistanceofthepointsontheintegratedcircuitcrystalsurface
AT samotovkavl methodofdeterminationoftemperatureandheatresistanceofthepointsontheintegratedcircuitcrystalsurface
first_indexed 2025-11-30T11:58:31Z
last_indexed 2025-11-30T11:58:31Z
_version_ 1850216456252293120
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��� ���� � � �� � ��� ������ � ��!��"�# �$�� ���� �� ��������������� �� � ���� �������� ����� �� �� �� ������� �������� ����� �������� �� ����� %&& '�������(���� )*+,-./ +-012-0342.-,0,5.6�02+� 72724+03-�8-64�9, :;�<� <=>;�;?;%&@ �;:=;>A��>B & �;=?<C<D< E<=><�&C?;%&@ �<F;� =<C;>G%<E�& �>&E�A??A &%�;D>A?H%<I EG;:B ���������������������� ��������� !� �����"�� ���#$�%���&� �� ���&$� �'�� ������ ��($��(���� ��(������ ��"$��)* �#�����+� �� ����(�� *������$�,��(�"� %��(�"�� ($�������� ��� ����$*����� ($�������� ����"$�����+� �*��)� >�����!������ �'���� ��J �� ��������� � ���* � ���� �� �����K��� ���'J L� M �� � � ���!� ��* �' ����������� �����K���� �����J!����� ���'��* �� ���'J � ����!�� � � �� '�N��� K#� �����* ��O����'� ��P'���'� � ����!��� �'� �������Q�* �� �� ��������� �� E��!� �����K�J� �����J!�* � #N�� �� �O����� �� ��������� � ���� ���� &E '��� (J K � ����� �� ��J� �(��P�# � ��� �����K* ��' ��P��� ���� ��� �� ��(���� � �(��� � !�R��* ��� ��Q!J� �����K�J� �� �O��� ��P!�� �� ������* ��� � ���� ���� ���� �'���� ����� ����� � �'��* �� ��� � �#(�� �O�� ��������� � �� � � ��P��K* � �' ����Q��� � �� ����� !��� �� !����� S � ���* ��!� � �(��P�����# ���K�R���� �'���� ������ ��� ��������� � ���� ���� &E� � ��Q�#N��� ���* (����� � !��� �� � �������Q��� �� �O����� ��* ���J!����� � ������K �'���� ��J ��������� � ���� ���� P�* ���� � �����(��� � ���� ���"�� �(���� L�������M &E � ��!� K � ���� ���� � ����!�� � � ���R���* ��"��� � ��P'���'� ���'�� �� ���� ���"�� � ����* R�P�O����'� ����� ��'� �� '� �������� � ��Q� ��������� � �������� O���P �� ���# �������!� ���* ��� ���J� � ��!��"����J� �����('�� �� ���!��� T�'� ��� ��� ��� �� �'���� ���J� ���K�R ������* ��� � ���� ���� &E '��� ���PJ�� K ��K�� P��O�* ��K�J� ����U��� ��������� �(���� &E� �� ��J� �����! � �(��P�����# ������U����� ���!����!* ���� ��� �������!���� ��� ���!����� ���� ���� � ���������' �(����� <���!������ '����'��K��� �'���� ��J ������* ��� � ���� ���� �� �����K��� ���'J �� � � ��Q* ��� P�!�O��� ������K�� ��N�� ��� ���!��K�� !���* � �'� �'���� ���� ����!�� #N� !���� �'�� K ��� �� ��(� �'�� ���'�� '�N��� �� �� � �� ���'���* �� � �'���� ���J� ������ � ���U��� ���!J� ���������������� �����!� �����" �� ����!����� '����'��K��� �'���� ��J ��* ������� � ���� ���� &E ���'�� # ��K�� � '� �* !J� �� ��J� ��P��� # ����!� K ������!������ �'* ���� ��J �� ���� %��(���� O�� � !� � �� "���� ��* ���KP�# � '� �!J� ��������J� �� P�����'�� � ��* R���������� �P��O��� ����� �� ��������� � � �� �'���� ��J � �� ��P���K��� ����� ��"�� ������!�* ���� �'���� ��J � ��'�O��� �� ��K��� ������� ����J��#N�� ��������� K� S � '� �!J ��� � ��� ��P����# � � �����U��� ��# � � �����KP� �����* '���J� !�� �Q��� �� �O������ ��!��*� ��'�K# ��* ��� ������ � ������''�J� ���!� �� D����J' ����'�N�� ��' '� �!��� ��������J� �� ����� ��"�� ��R���������� �P��O��� ����� �� ��* ������� � � ����(��P������ � ��� �P��O��� � ��!�* '�� �P�(��Q���� V�W� �� � � � �� � ��� ��� �� � � ��� �������'�� ��������� K#� =���'�N�� �� '� �* !��� ��������J� �� �����KP������ ��'�O��� �� ��K* �J� ����J �� �� �����!��'�� ��������� �� ��� �� � �����'�O��� � � ���� � � �� �����P�"�� V�XYW� ����O�� ����J� P��O��� ������J� ����'� ��� L �'* ���� ����� � ���'� ��O����� ��P��U����M� ����O��* 'J� � ��'�NK# '� �!�� �����!���J� ������������ ������'J '�Q!� ��(��� =��'��� ��K�� � �P!��� ' ���� ������ ������ '� �!J �� ������ ��R��������� ��!��'� ��� � ��* '�O��� �� ��K�J� ����J �� �����!��'�� ��������* � � ��P��(� J�����K � �����KP������K � �������' � "��K# �(����Q��� �����K�J� �(��� �� � ���JU��* ��� �'���� ���� LZ��� O�� �O��[M� � �' O���� �(��P�����J� �����K�J'� �����J!�� #N�'� !�* R�� �'�� C V\X]W �����!�� �����P �����KP��'J� '� �!�� ����!����� ��� O�� �O�� � �P!��� � ���� ������ ������� =���P���� O � �P '� �!��� ��������J� �� �����KP������ ��'�O��� �� ��K�J� ����J �� ������* ��� � ���� ���� &E� ���(���� �RR�� ���� ���'�� * # � �� � �� ��J� ��������� K ����J��� � ������� Q�!���� ���� ����� ����O��'�� �P ��� ����� C ��� � N�� ��(� � ���!����� � '� �! ����!�* ���� '����'��K�J� P��O���� �'���� ��J � ����* ���� ����� ������ �� ��������� � ���� ���� &E �� ����O����'� � ��'�NK# ��� ��P�"������� '����* ����� ��P���K��'� � �(��Q���# �����K�� ����� J� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �(��� �� ��������� � � ���Q!����� �� ��� ������ ����� ���O������ Q�!���� ���� ���� L�#�M� C ������ ��(� J ��Q� ���!�#N�� ����Q��� � ^ &����KP�# � ���� ��J G_�� �� ��J� '��� ��N�� ���� K � �'�� �O����' ��� � ��� � ���� �* ��' �'���� ����' !����P���� ^ C ������ G_� �� ��������� � ���� ���� &E� ���#O����� � ���� ��O����� ��Q�' �� ��(���� '�N* ��� �� �(��P�# � �����K�J� �(��� � � ����� ���O�* ���' ��� �P� �����' ��� � ���� �� ��J� '�Q�� ��* (�#!� K � ��'�NK# ��� ��P�"������� '���������� ^ ?����K�J� ��� ���������#N�� �����P��O�J� �(��� � ������ � ����� ���O����' ��� � ��� �(��* P�# � �� ���P��O��' R��� ������ G_� � �'�� �* O����' ��� � ���� � �����K�J� �������P��O�J� �(* ��� � ������ � �P� �����' ��� � ��� �(��P�# � �� R��� ������ G_� � ��� ���������#N�' ����� ���* O����' ��� � ���� ^ C�P���K�� ��(�#!��'J� �����K�J� �(��� � � ������ G_� � �(��Q�# �����K�� ����� J� �(��� � ��������� � ���� ���� &E� �'���� ��� �� ��J� ���* �JU�� �'���� ��� ��� �� � ��#N��� R�P����� ��* ����!�� ^ D����"� ��Q!�� �P ��P���K�� ��(�#!��'J� ��* ���K�J� �(��� �� �� � � �P� ��'�� �� ��������* � � ���� ���� &E � �'���� ����� ������ �'���� �* �� ��� �� � ��#N��� R�P����� ������!� !� �����K* P��'��� ��� G_�� ^ �������� ����� ������� '�Q!� �O��� ������* ��� � ���� ���� � ���!�� ����!�� � � �� �'����* ��� �P� ��'J� �����! N�� O���P � � �O��� ^ :����'��K��� ������� ����� ������� '�Q!� ��������� K# ���� ���� &E � ���!�� ����!�� � � �� '���'��K��� '�N��� �� �� ��(� �'�� ���� ����' &E� ��� �� ���� �� ��������� � ���� ���� �N� ��(�#!�* � � �����K�� �(��� K '���'��K�J� ��P'����� ^ <(�� �'�� K ��P���K�J� � �(��Q���� R�P��J� ��� � ��� � ������ G_� ��P��� � ��(�#!� K ��* ���K�J� �(��� � R�P��J� ��� � ��� ��� ��P�J� P��* O��� � '�N��� �� �� ��(� �'�� ���� ����' &E� &P ���P������ ���!�� �� K ���!�����'��� '� �!�� ��Q!J� �� G_� �'�� R������������ P��O���� �'���� ��J R�P��J� ������!�� �R �P �'�� �O����* �� ��� � �� � ����� ���O����� L�R`���M � �P ����* � ���O������ ��� � �� � �P� ������ L�R`���M� ;��� � ������ G_� �� ��������� � ���� ���� &E ��P��* ��# ��P���K�� ��(�#!��'J� �����K�J� �(��� � G_� � ����'*��(� R�P���' ��� � ���� � �'����* ��� ��������� � ���� ���� � �O���� ��Q�N�� �� �����"� �����K��� �(��� �� ����� �'���� ��� ��� * �� � ��#N��� R�P����� ������!�� � �� �����"J � �� �(��� �� �� # � �P� ��'�'�� ��� ��� �����K�� �(��� K ��P����� ��� ����!������� '�N��� � -�� �� ��(� �'�� ���� ����' &E� ������� ����� ����* ��� � �� �O�� (�!� ����!�� K� ��� .`L�Ra��Mb-�� �!� �� X R����������� �'���� ��� ���!J� &P'�� -�� '�Q�� �����O��� K � �'��KU� K ��P* '��J �����K�J� �(��� ��� S � P��O� � O � �������Q�* ��� �P� ��' �� ��������� � ���� ���� &E � �'����* ���� R�P����� ������!� P����� � �� ��(� �'�� ���* � ����' '�N��� � � �'���� ��J ���!J� E��!��� ��K* ��� ��Q!�'� /*'� P��O���# '�N��� � -� / ��� �� * � ��� ����!������� �������Q���� �P� ��'� � � ��Q* !�� �O�� ���� �P� ��'J ������� ����� ������� �!�* ������ � �JO��� � �� R��'��� . / `L�Ra��Mb-� /� ����' �(��P�'� P�� ������� ����� ������� . / �O�� ��������� �� '�Q�� ����!��� K �� �'���� �* �� 0 / ��� �#(�� '�N��� � -�� �� ��(� �'�� ����* ����' &E/ � / `-�./ c��� :����'��K��� ������� ����� ������� .+�� �* O�� ��������� � ���� ���� &E ����!�� � � �� �� '���'��K��� '�N��� � -�+-d� ��� �� ���� � ������ G_� �N� ��(�#!�� � �!��� ����� � '���'��K�J� ��P'���� �����K�� �(��� K � ��� �� � ��#N�' R�* P���' ��� � ���� � �� .+��`L�Ra��Mb-�+-d� :����* '��K�� �'���� ��� �� ��������� � ���� ���� ��* ��!�� � � ��� �+��`-�.+��c��� ��$�%�&����!� �����"���'��!�(�)�" *%�+�'������ <(e�� �'� �����!����� ���Q��� O� J�� �����* ��'�� ��K�J� �(��P"� �� �����K��� ���'J �f\]�� D=��� ��(����J� � '� ��������'�O����� �������� � !��!"� K# O� J�K' �J��!�'�� C�� ����O���J� � ������� G_� � �(��Q��� ���* ���!����� �'���� ��J ��������� �� ���� ����� �(* ��P"�� &E R���������� ��� ��P�"����J' '�������* ��' � !�����R�����J'� �(e�� ���'� g-012h22+ LR��'� i,9j0klm2+5� EnAM � �� ���������� ��* !����'���� o2dp qrs*���t� ���!������� � ��'�K#* ���'� <����"�� ������� ��!��Q�� � ��������J'� ����* ��'� G_� ��� �� ���!�������� � ��Q� ��� ��U�� �(��P"�� &E ����� �� � 'J���� ���N�� �� �� �� ��* '����������'�' � ��� u6+70k98 opjv6+� g2w6. us��� LR��'� x6dvy21vk m,5j� EnAM � �O��� K# ��!!��Q��� P�!����� �'���� ��J z ��\{E� C ��O�* � �� �� �O���� �� ��� �(��P"�� &E � !� ����!���* �� ���K *�'����J� ����� ���� �� �� ��(� ���� '�N* ��� � �� ���� ���� &E �����KP����� ����� �������R u60v12d-| \]]q� LR��'� u60v12d-|� EnAM� �� ��!�O� �� ��� �� &E �(��P�" �� ��� �� � ��� �� ��� �� ���� ��� ����� ���� �� '�� �Q��# ��� �� %� ��� �� �J� ���N�!�� '�� �Q��� ��� J� �� P���J� � �J��!�'� ������� &E� ���!���� ��K�� ��������� �����P�O�J� ���'�� J � ��� �� � ��� � P�!����� ���� ��O����� ���'��� C ��(� � �����KP����� U�� K ���� G_� � ��P* ��O�J'� �'���� ���J'� �� ������'� ��N�� ����* �� �'�� �O������ ����� ���O����� � �P� ������ R�P� �� ��J� ����!�� �� � ���"���� �� ���!������� L���* "�!��� �� �����!��� ������� ��Q�M� C ��O�� �� ��* � ���� ���� G_� ���'�� �� ������ �� ������J� �R�� � ������� ����� >�� ��� G_� �������� �� ��������� K ���� ��* �� &E� � ����� �������� ��� ���� �� �� ��� �(��* P��J��� �K ������ G_�� �� �������'�� �� �J(�* ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ���� ���� G_�� �� ��J� ��� �'���� ��� ���!J !� Y�{E ����! � � ���!�' ��� � ���� C�� �����!����� �����J�����K �� �����KP���* ��� ��P��K � �� �'���� ����� ���!������� ������ G_�� ����O���J� �P ��� ����� �� ����������J� ��������� � ��!��Q�� �P ���'����J� ���� ��� =�* ��! ���������' ��� ����� G_� ��!��Q�� ��������* ������ � �!��' �P ��� ���� ���� � �O���� �X� '�� � �����U����� �� ��'����������'�' � ��� ��� �'* ���� ��� ]\X �{E ���'���� �� '��� >�� ���J � G_� �������� �� ��������� K ��!��Q��� C ���"���� ���* !������� ������ ����!�� �� ����O�� R�P��J� ��� �* ��� G_�� �'���� ���J� !����P��J �� ��N�� ����* �� � �'���� ��� R�P��J� ������!��� ��O�� �� ��P�* ��K���� � �(��Q��� R�P��J� ��� � ��� � ��'�NK# ��� ��P�"������� '���������� =� ��P��K � �' ���!������� ����P��!��� �J(�� G_� � �� ��� ����� � ��P�J� ��� ���� �� � !� ��* ���KP����� ��� �����!������ �(��P"�� &E� <���* !�� #N�' �������' �J(��� �� ���K ����O�� �'* ���� ������ !����P��� ��N�� ������ ������ G_� � ���P��O��' �'�� �O����' ��� � ���� �� ���� ���!* U�� ��� �� �����# ��� ���������#N��� ����� �* ��O������ ��� � �� � =��"��� ���!������� ������ G_� �� ��!��Q�� ���#O�� � ��( ���!�#N�� �����"��� %� � �� ��� * ��P�"������� '��������� �� ���������� ��'�����* �����'J� � ��� �� �� ��J� ��! �(e�� ���' ��� ��* P�"������� '��������� ��'�N��� ��!��Q�� � ����* ��� G_�� E���N����� ��� ��P� ��J '��������� � ���#O��� ������ � ���� C ���"���� ������� R����* ������ � P��O��� �'���� ��J� ��� �� ��J� ��(�#* !��� ������! ������ G_� � ���P��O��� �'�� �O�* ���� ��� � ���� P� �' � ��� ���������#N�� ����� �* ��O����� L���M � !���� X � ���P��O��� �P� ������ ��� � ��� L���M� =���� ������� !� �'���� ��J �P�* ������� ��� � �� G_� �� ���� � ��� � ��#O��� � R���������� �'���� ��� R�P��J� ������!�� G_� � ���"���� ����Q!��� � ���� C ��P��K � � ������K* ��� "����� ��������� � ����Q!��� � ��� �� ����* ������ ���!��� P��O��� �'���� ��J R�P��J� ����* ��!�� � �����!��'�' ��� G_�� =���� �����!��� �'���� ����� ���!������� ���* ��� ��P��O�J� ���� G_�� ����O���J� �P ��P��O* �J� ��� ����� �� ����������J� ��������� � ���'����J� ��!��Q��� (J�� �!����J ���!�#N�� �J* ��!J/ ���(���� O� ��� ��P���K�J� � �(��Q��� R�* P��J� ��� � ��� !�# ������� ���Q!���J� �P ��� ��* ��� G_� � �� �������' �R��� �� ��!��Q��� �� �* �J� �������������� � ������} P��O��� �'���� �* �J R�P��J� ������!�� � ������� G_� �� P���� � ��� ��� ���� �� � T��O��� �'���� ��J R�P��J� ������!�� � ��* ���!��'J� ������� U�� � ���� G_�� ����O���J� �� ��������� � ��!��Q�� �P ��� ����� � �� �����* ��' �R���� ��Q� � !����P��� Y�X��{E !� ��� � \$�\X {E !� ���� ,%�+�'�������� �-��'�(.!/���& <���!������ �����J� ����'� ��� �(��P"�� &E �������� ���!��Q����'� '� �!� �J���� ���K � ���* !�#N�� �����!��� ��K��� �� ��Q!J� �(��P�" &E �� ����J J' �������' L�� * �� ��JU���M �������������� � ������ � �����U�* ���� �� ��'����������'�' � ���� =���� �����U�* ���� �� ��������� K ���� ���� �(��P"� ���� ��� �������� ����# ��� ���� G_� � �� �������' �R�* ��� =���� �������� �� ��������� �R��� L���'���� O���P \ '��M ������ &E �� ��� �� � ��� �� ��� �� * ���� ��� ���!������� O���P '�� �Q��# ��� � � ��* �O����' �� ��� � �P'��� ��K�J'� ���(���' � ��* � �� � ��� � ���� ��O����� ���'�� ��!��#O��� &E� :�� �Q�� ��� � ��P'�N����K �� � ��� ��� ��P�"������� '��������� � �� �* ��������� ��!����'���� !� ��(�#!�* �� ��������� � ���� ���� &E ��� ����* N���J� ��O�� ��� ��P� ����� %��� Q�* ��� �� ��� &E '�!����� ���JU��� � �� ���������� ����� ��� �� ���' (J� O� �� ��!�� �������O����� ������� �� ���� ��������� � ���� ����� S � �P��* O��� �(��P������ �� ��������� � ����* ���� ������ G_� � ���P��O��' �'��* �O����' ��� � ��� X ����!��' !� ��* ��O��� ��P���K��� ��R��'�"�� � �'* ���� ����' ���� �� ��������� � ����* ���� L�� �'���� ��� R�P����� ������* !� G_� �P �'�� �O������ ��� � �� � ����� ���O����� � �� �������Q���# ��* � �� � ��#N�� �P� ��'M� ���K���U�� ���JU���� ���� Q��� �� ��� &E �����!��� � �� �����# � ������ �����K�J� ��� ���������#N�� L�����P��O�J�M �(��� �� L'��0�1� �� #M� � �� ��J� G_� ����!� � � ����� ���* O����' ��� � ���� <�� �(��P�# � �� �� �O�� ��� ��������� � ���� ���� &E� >��� �� C�P���K�J� � �(��Q��� �����K�� ����� J� �(��� �� ������* ��� � ���� ���� �(��P"�� &E � ������� ��P��O�J� ���� G_� � ����* � ���O����' L�� #M � �P� �����' L�� "M R�P��J� ��� � �� � �M (M �M �M ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �'���� ��� �� ��J� �� ��Q� �'���� ��J R�P����� ������!� G_� �P �'�� �O������ ��� � �� � ����* � ���O����� ���� C�� �� ���� �(��� � �'���� ��� �JU� ���� � �� �����"� ����� ��� ��Q!�'� P��O���# '�N��� �� �� ��(� �'�� ���� ����' &E� ��� �� �* ��' ������ ������!��� � ���P��O��� ��� � ���� ��* � �� � ������ �� ������U��� O���P ��X�� '�� ��* ��� ���#O��� �� ��� ����O�� �� � �������Q���� �����K�J� �(��� �� � �� ��P'��J� =�� ���JU���� ���� Q��� �� ��� &E ��P'��J �����K�J� �(��� �� � ������ G_� � ����� ���O�* ���' ��� � ��� �����O������K� � ��� ���� ���' P��* O���� ���� Q��� ������ �� ���� ��������� � ���* � ���� ������!��� � ����� ���O����� ��� � ���� <�� ���Q��� ����!�J' !� � ����� � ��� ����O��� ��* P���K��� ��R��'�"�� � �'���� ����' ���� �� ��* ������� � ���� ���� &E� ���K���U�� �����O���� ���� Q��� �����!��� � �� �����# �����K�J� ��* �����P��O�J� �(��� �� G_� � �P� �����' ��� � * ��� �� R��� ������ � ��� ���������#N�' ����� �* ��O����' ��� � ��� L���� �� �� "M� �� ������U� � ��P���K�� ��� ��� �'���� ������ ��� ��������* � � ���� ���� &E ��� ����� ��Q� O���P ��X�� '�� ����� ���#O��� &E � ��Q�' �� ��(���� ��� � �* ��� '�N��� �� < '� �'� O � ���' �� �������� � �"�������� ��P���K��� ��� ��J ����!�� � � ��������"����J* '� ����� ��'� �����KP��'��� '� ��������'�O����* �� �������� =�� �'� !� !����� ���� �������� ��� '�Q� � ��O� K� � �����!������� C�� �O�� ��������� � ���� ����� �����!�#N�� � �����"�'� �����K�J� �(��� �� �� ��P���K��� ���* ���� ����� J !� �'���� ��J R�P����� ������!� G_� �P �!���� R�P����� ��� � �� L� ���U��� � ����J �����"J �(��� �M � !����� L��� �� � �� �(��� �M� =�� ���� ��J� P��O��� � '�N��� �� �� ��(� �* '�� ���� ����' &E� � ������ �(��P��J�����K ��* ����K�� �����K�J� �(��� �� G_� � ����� ���O����' ��� � ��� L���� �� �� #M �� R��� ������ � ���P��O��' �'�� �O����' ��� � ��� ��� ������K�� �����K�J� �(��� �� G_� � �P� �����' ��� � ��� L���� �� �� "M �� R��� ������ � ��� ���������#N�' ����� ���O�* ���' ��� � ���� =� �P��� �J' P��O��� ' �'���� ��J R�P��J� ������!��� ��� �� � ��#N�� �����"�' �����K�J� �(��� �� L�P� ��'�'M� � '�N��� �� �� ��(� �'�� ���* � ����' -�� (J�� ����!����J �����J� ����� ����* �� . �O�� ��������� � ���� ���� &E� ��Q�N�� �� �����"�� �����K�J� �(��� ��� � ���� ��K�� ���!J� =�� �����J' �'��KU����' �� ��(� �'�� '�N��* � � !�(������K ���� O � � ������ G_� �� ������K ����� �!�� �����K�� �(��� K '���'��K�J� ��P'�* ���� �� ���O� � '����'��K���� �������� �����* ������ .+�� �� �����!����� �JU� R��'��� R��* ���������K '���'��K�� '�N��� K -+-d� ��� �� �* ��� � � �(��� K �N� ��(�#!����K� &����!����� �������'�� ��K�J� �(��P"�� &E ����P���� O � �����K�� ����� J� �(��� � ��*��P��* '� ���������# � �� ��������� � ���� ����� ��P* ��O�J� �(��P"�� &E � ��� �� # � � ������� G_� ��� ��P�J� �� ��(� �'J� '�N��� � L���� �M� =�� � �' �����K�� �(��� K� �� ��� ��� �'��KU���� '�N��� � ��O�P��� �����!���� �� ���� �����!���* �J� �(��P"�� ������������K � �!��' � �' Q� '�� � L'��0�2� �� #� �M� ���K�� � �!��' �P �(��P"�� �!�����* '���� � � �� �(��� K# ��O�P��� �N� �!�� L���� �� "M� >��O� .+,| �� ��������� � ���� ���� ��� �����K* P������ ������ ���� ���� ����P�� ����O�� ���� �* ���� ��P��O� ��K���� ��P(���� P��O���� !� �!���� � ��� Q� �(��P"� L�����'��� ]���X]��Y �bC M� S � �� P��� � �O��� K# ����!����� ��* ��(� �'�� '�N��� � � �'���� ��J R�* P��J� ������!��� T!��K ��Q� ����� ���K �J!��Q�� ���'��� �� �������� � �"��������� �������� ��� � �� � =�� R����������J� ��P'���� � ��* ��!��� �� �� �O����� ���� �����O���� '�N��� �� �� ��(� �'�� ���� ����' &E� �����!� � �'�� O � �����K�J� �(* ��� � �!����!�J� R�P��J� ��� � ��� � ������ G_� ��! ����� J'� �O�� ��'� ��������� � ���� ���� �����O���# � � �� �����"J �!�� # � � �� �O����� ��* ��� %� ���� � �� � � "�� �� �� �O���� ����� ����JU�#N�� ���(��KU�� ��P* '�� �� �O����� �������� ����"��� '�� * ���� ��� �� V W� ��������� K �Q� �� ���J J��� ��P'�N�#N��� ��� �� ��* �O���� ����� � �� �'���� ��� � ���* �� � ���� �O���� ������ ���!��� �'* ���� ��� ��������� � ���� ���� &E ���� �������� ����� ������� �O�� ������* ��� � � ���� �'���� ���� �� � � ���!��' �����J' ����� �������' .�� '�Q!� � �� ��������� K# � ���!��/ .��`L���a��Mb-�� >��� �� :���'��K�J� �����K�J� �(��� � � ����� ���O����' R�P�* ��' ��� � ��� � ������� ��P��O�J� ���� G_� �� ��������� � ���� ����� �(��P"�� &E �M (M �M �M \� '�' \� '�' \� '�' \� '�' ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �Y ��������� � ���� ���� ���������������� �������� ����� ������� .�� ���� �O���� ����* !�� � � �� '�N��� � 1+��� �� ��(� �'�� ���� ��* ��' &E� ��� �� ���� �P� ��'� R�P����� ������!� ���������� � �(��P� ����'� �� ���� ���� &E� � �� .��`L�Ra��Mb1+��� <�� ���!� ��� � ��(�� ��''� ��* � ��� #N�� ��� �����J� ����� �������/ .�� ` .�� c .� c .�� c .�� C���O��J .��� .� � �.� ���P'���J !� �J(����J� ������� � ���� ���� &E� E��!��� ��K��� ��P(��� P��* O���� ����� ������ .�� � �������' ����!�� � � ��P(����' P��O���� .��� �� ���� � ���# �O���!K P�* ���� � ���RR�"��� � ���������!��� � '� ������ ��� � ��� ��N��J � ����U��� �� �� �����!�����J� �������'�� ��K�J� �(��P"�� �����J� ����� ������ .�� ��� ����� ����} � �Y} ]��� � ��]�� �bC � S � ��P��K � J ���!� ��K� ��# � ��P��O�� �����J� ����� ������� ���!��� ��K���� ��� ���� ���� � �������' � �(��P"��� E ��� ��� '����'��K���� �������� ����� ����* �� '�Q!� �O�� ��' ��������� � ���� ���� &E � �'* ���� ���� �+�� � ���!�� '�Q�� ���!� ��� K � ��!�/ .+�� ` .� c .��� �!� .� X ������� ����� ������� ��� �����# ���� �� ���� ���� L����!�� #N�� �'���� ���J� ���K* �R �� ��������� � ���� ����M� .�`L�+�� a���Mb1�� >���O� ���J� !� �(��P"�� P��O��� .�`.+,�a.��� ����J� ����} �Y�Y} �Y�� � �� �bC � ���!� ��K� ��# � �'� O � � �����!�����J� �(��P"�� �����K�J� ��* �O���� ���� �� ��P!�# ����������� ��N�� ����� � ��O�#N��� � ���!����������� ��� �'���� �* �J ���� ����� �!� .�� X .� X .�� X .� X ����� ������� �����('��� ���U��� ������* ��� � ������� �� ���!��} ����� ������� ��� �����# ���� �� �������} ����� ������� ���!��� ��K���� ��� ����* ���� � �������'} ����� ������� ���� ���� &E� �&�� & ����' �(��P�'� ���!��Q���J� '� �! ����!���* �� �'���� ��J � �������� ����� ������ �O�� ��* ������� � ���� ���� &E� ��������J� �� ��P���K��' � �(��Q���� �����K�� ����� J� �(��� �� � ������ G_� � �P��� ��� �'���� ���� R�P��J� ������!��� ��P��� � � ��(�O�� ������ � �J �� K �O�� � '��* ��'��K�J' �����J' ����� �������' �� ��������* � � ���� ����� &E� &E=<?HT<CA%%B; &E�<F%&�& �� ~282v2d-,-d, �� t�� i16-v6djv6-d ��� m,d�6d8,+7 g� m20,* .-�,v-2d 2� y6,8 k6,v j29106j -d 6.60v12d-0 w64-06j 9j-d� k-�k.p j6dj-* v-46 m208*-d �~ vk61+2�1,7kpbb g,v61-,. o0-6d06 ,dw )d�-d661-d�� a �����X �2.� i$�X$��X t� Y �XY Y� �� t,v� \]�]Y $ �o�� )dk,d06w 16j2.9v-2d .-�9-w 01pjv,. +-012* v61+2�1,7kp +6vk2w ,dw ,77,1,v9jb g,18 o� �611-61�X �9d6� �$$ � �� m-d ��� �k,d g�� �-,2 u� qpd,+-0 2� .-�9-w 01pjv,. k2v j72v 6|,+-d,v-2d 2� �9d0v-2d,. �,-.916j 2d 712w90v-2d v6jv61jbb t120� 2� vk6 ��34��dv61d,v-2d,. op+72j-9+ �21 u6jv-d� ,dw �,-.916 �d,.pj-j�X m2j �d�6.6j� �o��X �$$Y�X t� �� Y� �,9�6d ��� �2k,dj6d u� ��� sk6d �� 6v ,.� �-�k 16j2.9v-2d vk61+,. -+,�-d� 2� k2v j72vj -d j976102dw90v-d� �-.+j bb t12066w� 2� �77.-6w o976102dw90v-4-vp s2d�616d06�X �o�� o6,vv.6�X �����X t� �]� \� t2724 �� g�� �.-+6d82 �� o�� t28,d64-0k �� t� 6v ,.� m-�9-w a s1pjv,. uk61+2�1,7kp 2� �2v o72vj 2d ).60v12d-0 s2+72d6dvj bb ~9jj-,d g-0126.60v12d-0j�X ���]�X �2.� ��� � ��X t� �$�XY��� �� =� � � ]]Y$$ �������� E����( �� ����� �����K��� !Q���� ������!����� � P��P��� ���� ���� �� �����K��� ���' � ��������* ��!������� �����!�� b C� :� =����� A� E� ���'����� <� =� =�����* ��O� :� C� :�U��K�X �\� ��� ����� Vt,v� � ]]Y$$ �81,p-d-� b �� g� t2724� �� o� �.-+6d82� �� t� t28,d64-0k� g� �� g2jk6.�� �\� ��� ����W ]� =���� C� :�� ���'���� A� E�� =�������O A� =� ������U��* � ������J� '� �! �J ����� Z��� O�� �O��[ � �P!��� � '����* ���� ������ bb ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ��* ���� ����X ��� �X � ��X E� \\X\ � Vt2724 �� g�� �.-+6d82 �� o�� t28,d64-0k �� t� bb u68kd2.2�-p, - �2djv19-124,d-6 4 ).68v12dd2- �77,1,v916� ��� � � �� t� \\W � ���K��� D� %�� E�' U��� S� :� ������('�� � ��!������ * ����J� ������ ���X ?�/ S����� � �$� � Vq9.�d64 �� ��� o6+p,jk8-d )� g� u67.225+6d 4 1,w-26.68v12ddp8k ,77,1,v,8k� m� )d61�-p,� �$� W ����������� � � � � � ��� � � � � ���������� � � ��� ������� ������������������������ ��� ��������������������� ���������� !�������"�#$%�&'($') *+,+ !�-+.�� �� ������ ��� � � ������� � ������� ��������� ��� ���� ������ ��� ���� ����������� ��� �� ������������ �� ������������ ����������������� ���������������� � ������ !" #�$��� � ��������%�� �� ��������������&�� ������������������� ������������ � ���������� ���� �� ������ � ����&�� ���������'����������� ��� ��� �����������%����� �� �������()*+��,-.��/)/��01)*+ ����#�� �%������� ����������'�� '����� �����# 2��� �� ��%� ������ �� �����3���� ��� � �� ���� ������ ������ '������ ��%� ������ 4�$� !" ����'�������%� ������������� ��� ��#����� �%� 3����� ���� '��� � �&� ���������������3��� ���'��� ����� � ��#