Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы

• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Попов, В.М., Клименко, А.С., Поканевич, А.П., Самотовка, В.Л.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
• Schriftenreihe: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Schlagworte: Технологические процессы и оборудование
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51864
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы / В.М. Попов, А.С. Клименко, А.П. Поканевич, В.Л. Самотовка // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 6. — С. 30-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Метод основан на использовании визуального отображения в поляризационном микроскопе локально нагретых областей в пленке холестерического жидкого кристалла на поверхности кристалла интегральной схемы....