Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы
Приведены основные технические характеристики научно-технической продукции, созданной в рамках Государственной программы развития промышленности на 2003-2011 годы в области микроэлектроники.·...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51900 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы / В.Г. Падалко, Ю.Е. Николаенко, А.Н. Высоцкий, Н.В. Кончиц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 3-9. — Бібліогр.: 39 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51900 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-519002025-02-23T17:34:28Z Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы Огляд результатів робіт з розвитку конкурентоспроможних· напрямків мікроелектроніки, виконаних в 2007-2009 рр. у·рамках Державної програми The review of work results in the field of the competitive microelectronics branches development, achieved in 2007-2009 years according to the Government industry development program Падалко, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Высоцкий, А.Н. Кончиц, Н.В. Техническая политика Приведены основные технические характеристики научно-технической продукции, созданной в рамках Государственной программы развития промышленности на 2003-2011 годы в области микроэлектроники.· 2010 Article Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы / В.Г. Падалко, Ю.Е. Николаенко, А.Н. Высоцкий, Н.В. Кончиц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 3-9. — Бібліогр.: 39 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51900 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Техническая политика Техническая политика |
| spellingShingle |
Техническая политика Техническая политика Падалко, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Высоцкий, А.Н. Кончиц, Н.В. Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Приведены основные технические характеристики научно-технической продукции, созданной в рамках Государственной программы развития промышленности на 2003-2011 годы в области микроэлектроники.· |
| format |
Article |
| author |
Падалко, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Высоцкий, А.Н. Кончиц, Н.В. |
| author_facet |
Падалко, В.Г. Николаенко, Ю.Е. Высоцкий, А.Н. Кончиц, Н.В. |
| author_sort |
Падалко, В.Г. |
| title |
Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы |
| title_short |
Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы |
| title_full |
Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы |
| title_fullStr |
Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы |
| title_full_unstemmed |
Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы |
| title_sort |
обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках государственной программы |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2010 |
| topic_facet |
Техническая политика |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51900 |
| citation_txt |
Обзор результатов работ по развитию конкурентоспособных направлений микроэлектроники, выполненных в 2007—2009 гг. в рамках Государственной программы / В.Г. Падалко, Ю.Е. Николаенко, А.Н. Высоцкий, Н.В. Кончиц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 3-9. — Бібліогр.: 39 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT padalkovg obzorrezulʹtatovrabotporazvitiûkonkurentosposobnyhnapravlenijmikroélektronikivypolnennyhv20072009ggvramkahgosudarstvennojprogrammy AT nikolaenkoûe obzorrezulʹtatovrabotporazvitiûkonkurentosposobnyhnapravlenijmikroélektronikivypolnennyhv20072009ggvramkahgosudarstvennojprogrammy AT vysockijan obzorrezulʹtatovrabotporazvitiûkonkurentosposobnyhnapravlenijmikroélektronikivypolnennyhv20072009ggvramkahgosudarstvennojprogrammy AT končicnv obzorrezulʹtatovrabotporazvitiûkonkurentosposobnyhnapravlenijmikroélektronikivypolnennyhv20072009ggvramkahgosudarstvennojprogrammy AT padalkovg oglâdrezulʹtatívrobítzrozvitkukonkurentospromožnihnaprâmkívmíkroelektroníkivikonanihv20072009rruramkahderžavnoíprogrami AT nikolaenkoûe oglâdrezulʹtatívrobítzrozvitkukonkurentospromožnihnaprâmkívmíkroelektroníkivikonanihv20072009rruramkahderžavnoíprogrami AT vysockijan oglâdrezulʹtatívrobítzrozvitkukonkurentospromožnihnaprâmkívmíkroelektroníkivikonanihv20072009rruramkahderžavnoíprogrami AT končicnv oglâdrezulʹtatívrobítzrozvitkukonkurentospromožnihnaprâmkívmíkroelektroníkivikonanihv20072009rruramkahderžavnoíprogrami AT padalkovg thereviewofworkresultsinthefieldofthecompetitivemicroelectronicsbranchesdevelopmentachievedin20072009yearsaccordingtothegovernmentindustrydevelopmentprogram AT nikolaenkoûe thereviewofworkresultsinthefieldofthecompetitivemicroelectronicsbranchesdevelopmentachievedin20072009yearsaccordingtothegovernmentindustrydevelopmentprogram AT vysockijan thereviewofworkresultsinthefieldofthecompetitivemicroelectronicsbranchesdevelopmentachievedin20072009yearsaccordingtothegovernmentindustrydevelopmentprogram AT končicnv thereviewofworkresultsinthefieldofthecompetitivemicroelectronicsbranchesdevelopmentachievedin20072009yearsaccordingtothegovernmentindustrydevelopmentprogram |
| first_indexed |
2025-11-24T05:36:37Z |
| last_indexed |
2025-11-24T05:36:37Z |
| _version_ |
1849648844932907008 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
3
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Â. Ã. ÏÀÄÀËÊÎ, ä.ò.í. Þ. Å. ÍÈÊÎËÀÅÍÊÎ,
À. Í. ÂÛÑÎÖÊÈÉ, Í. Â. ÊÎÍ×ÈÖ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Ìèíïðîìïîëèòèêè Óêðàèíû
E-mail: nikola@industry.gov.ua
ÎÁÇÎÐ ÐÅÇÓËÜÒÀÒÎÂ ÐÀÁÎÒ ÏÎ ÐÀÇÂÈÒÈÞ
ÊÎÍÊÓÐÅÍÒÎÑÏÎÑÎÁÍÛÕ ÍÀÏÐÀÂËÅÍÈÉ
ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ, ÂÛÏÎËÍÅÍÍÛÕ Â 2007�2009 ãã.
 ÐÀÌÊÀÕ ÃÎÑÓÄÀÐÑÒÂÅÍÍÎÉ ÏÐÎÃÐÀÌÌÛ
Ïðèâåäåíû îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õà-
ðàêòåðèñòèêè íàó÷íî-òåõíè÷åñêîé ïðî-
äóêöèè, ñîçäàííîé â ðàìêàõ Ãîñóäàð-
ñòâåííîé ïðîãðàììû ðàçâèòèÿ ïðî-
ìûøëåííîñòè íà 2003�2011 ãîäû â îá-
ëàñòè ìèêðîýëåêòðîíèêè.
Âûïîëíåíèå ðàáîò, íàïðàâëåííûõ íà ðàçâèòèå íàè-
áîëåå êîíêóðåíòîñïîñîáíûõ íàïðàâëåíèé ìèêðîýëåê-
òðîíèêè â Óêðàèíå, â ðàìêàõ Ãîñóäàðñòâåííîé ïðî-
ãðàììû ðàçâèòèÿ ïðîìûøëåííîñòè îñóùåñòâëÿåòñÿ
ïî ñëåäóþùèì íàïðàâëåíèÿì:
� ìàòåðèàëû äëÿ ìèêðîýëåêòðîíèêè;
� ôóíêöèîíàëüíàÿ ìèêðîýëåêòðîíèêà;
� ýíåðãåòè÷åñêàÿ ìèêðîýëåêòðîíèêà;
� ñåíñîýëåêòðîíèêà;
� íîâîå òåõíîëîãè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå äëÿ ìèê-
ðîýëåêòðîíèêè;
� èíòåãðàëüíûå ñõåìû è ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðè-
áîðû.
Êîìïëåêñ íàó÷íî-èññëåäîâàòåëüñêèõ è îïûòíî-
êîíñòðóêòîðñêèõ ðàáîò, êîòîðûå âûïîëíÿëèñü â
2007�2009 ãîäàõ, íàïðàâëåí íà ðàçðàáîòêó êîíêó-
ðåíòîñïîñîáíûõ èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè íà îñ-
íîâå íîâûõ ìàòåðèàëîâ, â ÷àñòíîñòè êàðáèäå êðåì-
íèÿ, ôîñôèäå èíäèÿ, íà àëìàçå è ò. ï., ÷òî ïîçâîëÿåò
ïîâûñèòü ðàáî÷óþ òåìïåðàòóðó ýëåìåíòîâ äî 400°Ñ,
óðîâåíü ïðîáèâíîãî íàïðÿæåíèÿ äî 1000�2000 Â,
óâåëè÷èòü ìîùíîñòü ãåíåðàòîðíûõ ìîäóëåé â 1,5�
4 ðàçà, ïîâûñèòü ÷óâñòâèòåëüíîñòü ðàäèîëîêàöèîí-
íûõ óñòðîéñòâ è ò. ï.
Ìàòåðèàëû äëÿ ìèêðîýëåêòðîíèêè
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ãå-
òåðîñòðóêòóð íà îñíîâå InP äëÿ äèîäîâ Ãàííà»,
ÍÏÏ «Êàðàò», ã. Ëüâîâ.
Âïåðâûå â Óêðàèíå ðàçðàáîòàíû ôèçèêî-õèìè÷å-
ñêèå ïðèíöèïû òåõíîëîãèè âûðàùèâàíèÿ ÷èñòûõ ýïè-
òàêñèàëüíûõ ñëîåâ i-InÐ, ÿâëÿþùèõñÿ àêòèâíûìè ñëî-
ÿìè â ñîñòàâå ãåòåðîñòðóêòóð äëÿ äèîäîâ Ãàííà ñ ïî-
âûøåííîé ÷àñòîòîé ãåíåðàöèè è âûñîêîé íàäåæíîñòüþ.
 îñíîâó ïðîâåäåíèÿ ðàáîòû áûë ïîëîæåí ïðåä-
ëîæåííûé â [1] ñïîñîá ïîëó÷åíèÿ âûñîêîêà÷åñòâåí-
íûõ ãåòåðîñòðóêòóð n+-InÐ/n-InÐ äëÿ äèîäîâ Ãàííà ñ
íèçêîé êîíöåíòðàöèåé äåôåêòîâ è âûñîêîé ïîäâèæ-
íîñòüþ ýëåêòðîíîâ â àêòèâíîì ñëîå, îñíîâàííûé íà
ïðèìåíåíèè êîìïëåêñíîãî ëåãèðîâàíèÿ ñëîåâ InÐ
ðåäêîçåìåëüíûìè è èçîâàëåíòíûìè ýëåìåíòàìè Al è
Yb â ñïåöèàëüíî ïîäîáðàííûõ ïðîïîðöèÿõ. Ýïèòàê-
ñèàëüíûå ñëîè InÐ, ïîëó÷åííûå òàêèì ñïîñîáîì, ÿâ-
ëÿþòñÿ íåêîìïåíñèðîâàííûìè è îáëàäàþò íèçêîé êîí-
öåíòðàöèåé ôîíîâûõ ïðèìåñåé è âûñîêîé ïîäâèæíî-
ñòüþ ýëåêòðîíîâ. Ïðè ýòîì ýôôåêò «î÷èñòêè»
ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ïðîÿâëÿåòñÿ ïðè íåçíà÷èòåëü-
íûõ êîíöåíòðàöèÿõ ëåãèðóþùèõ ýëåìåíòîâ (Yb), ÷òî
óìåíüøàåò âåðîÿòíîñòü çàãðÿçíåíèÿ ýïèòàêñèàëüíîãî
ñëîÿ íåêîíòðîëèðóåìûìè ïðèìåñÿìè èç ëåãèðóþùå-
ãî ìàòåðèàëà.
Ïîëó÷åííûå ãåòåðîñòðóêòóðû n+-InÐ/n-InÐ ïî ñâî-
èì òåõíè÷åñêèì õàðàêòåðèñòèêàì îòâå÷àþò ëó÷øèì
ìèðîâûì îáðàçöàì (òàáë. 1).
Äëÿ ïðîìûøëåííîãî èñïîëüçîâàíèÿ ðåçóëüòàòîâ
ðàáîòû ïëàíèðóåòñÿ ðàçðàáîòêà áàçîâîãî òåõíîëîãè-
÷åñêîãî ïðîìûøëåííîãî ïðîöåññà ïðîèçâîäñòâà ãå-
òåðîñòðóêòóð n+-InÐ/n-InÐ äëÿ äèîäîâ Ãàííà ñ äàëü-
íåéøèì âíåäðåíèåì åãî â ñåðèéíîå ïðîèçâîäñòâî íà
òåõíîëîãè÷åñêîé áàçå ÍÏÏ «Êàðàò».
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà ìåòîäîâ âûÿâëåíèÿ è èäåí-
òèôèêàöèè ýëåêòðè÷åñêè àêòèâíûõ äåôåêòîâ â ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëàõ è ñòðóêòóðàõ äëÿ ñî-
çäàíèÿ âûñîêîíàäåæíûõ è êîíêóðåíòîñïîñîáíûõ èç-
äåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè», ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ
ÍÒÊ «Èíñòèòóò ìîíîêðèñòàëëîâ» ÍÀÍÓ, ã. Êèåâ.
Äëÿ âûÿâëåíèÿ ýëåêòðè÷åñêè àêòèâíûõ äåôåêòîâ
(ÝÀÄ) â ìàòåðèàëàõ è òåõíîëîãè÷åñêèõ ñòðóêòóðàõ
íà ðàçíûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ýòàïàõ èçãîòîâëåíèÿ ïðè-
áîðîâ ìèêðîýëåêòðîíèêè ñîçäàí êîìïëåêñ èç ïÿòè
ñïåöèàëèçèðîâàííûõ ìåòîäèê:
1) âûÿâëåíèÿ è âèçóàëèçàöèè ÝÀÄ â ñòðóêòóðàõ
Si�SiÎ2 ñî ñâåðõòîíêèì äèýëåêòðèêîì ïðè èçãîòîâ-
ëåíèÿ èíòåãðàëüíûõ ñõåì;
Êîíöåíòðàöèÿ ýëåêòðîíîâ, ñì�3
â ïîäëîæêå n++-InÐ (3�5)·1018
â áóôåðíîì ñëîå ná
+-InÐ (1�3)·1018
â àêòèâíîì ñëîå ³-InÐ, íå áîëüøå 1·1016
â êîíòàêòíîì ñëîå nê
+-InÐ (1�3)·1018
Ïîäâèæíîñòü ýëåêòðîíîâ, ñì2/(·ñ) >17000 (77 Ê)
Òîëùèíà àêòèâíîãî ñëîÿ, ìêì 1�2
Ïëîùàäü ãåòåðîñòðóêòóðû, ñì2, íå ìåíüøå 10,0
Òàáëèöà 1
Õàðàêòåðèñòèêè ãåòåðîñòðóêòóðû n+-InÐ/n-InÐ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
4
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
2) âûÿâëåíèÿ ëîêàëüíûõ èñòî÷íèêîâ òåïëîâûäå-
ëåíèÿ (�ãîðÿ÷èõ òî÷åê�) â êðèñòàëëàõ èçäåëèé ìèê-
ðîýëåêòðîíèêè íà îñíîâàíèè âèçóàëèçàöèè ëîêàëü-
íîé õîëåñòåðè÷åñêîé ôàçû â ñìåêòè÷åñêîé ôàçå õî-
ëåñòåðè÷åñêèõ æèäêèõ êðèñòàëëîâ;
3) îïðåäåëåíèÿ ÝÀÄ â ïðèïîâåðõíîñòíûõ ñëîÿõ
êðåìíèÿ, â ò. ÷. â ñâåðõòîíêèõ p�n-ïåðåõîäàõ, íà îñ-
íîâå îïòè÷åñêîãî (ëàçåðíîãî) çîíäà;
4) îïðåäåëåíèÿ ðàñïðåäåëåíèÿ è êîíöåíòðàöèè ÝÀÄ
â òåõíîëîãè÷åñêèõ ÌÄÏ-ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå ðàñ-
òðîâîé ýëåêòðîííîé ìèêðîñêîïèè;
5) èññëåäîâàíèÿ ÝÀÄ â ïðèïîâåðõíîñòíîì ñëîå
êðåìíèÿ â îáëàñòè êàíàëà ÌÄÏ-òðàíçèñòîðîâ íà îñ-
íîâå åìêîñòíîé ðåëàêñàöèîííîé ñïåêòðîñêîïèè ãëó-
áîêèõ óðîâíåé.
Ýòè ìåòîäèêè âíåäðåíû â Öåíòðå «Ìèêðîàíàëèòè-
êà» ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ íà ýòàïàõ ðàçðàáîòêè òåõíî-
ëîãèè ïðèáîðîâ. Èõ èñïîëüçîâàíèå íà ïðåäïðèÿòèÿõ,
êîòîðûå èçãîòàâëèâàþò èçäåëèÿ ìèêðîýëåêòðîíèêè,
òðåáóþùèå óãëóáëåííîãî êîíòðîëÿ òåõíîëîãè÷åñêèõ
ñòðóêòóð è ïðîöåññîâ, ïîçâîëèò çíà÷èòåëüíî óëó÷-
øèòü òåõíèêî-ýêîíîìè÷åñêèå ïîêàçàòåëè ñîâðåìåí-
íûõ èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè, ïîâûñèòü èõ íàäåæ-
íîñòü è êîíêóðåíòîñïîñîáíîñòü ìèêðîýëåêòðîííûõ
êîìïîíåíòîâ [2�5].
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà è èññëåäîâàíèå òåõíîëîãèè
ïîëó÷åíèÿ ïëåíî÷íûõ êàòîäîëþìèíåñöåíòûõ ñòðóê-
òóð äëÿ äèñïëååâ ñ âûñîêîé ðàçðåøàþùåé ñïîñîáíî-
ñòüþ», ÍÈÈ «Ãåëèé», ã. Âèííèöà.
Ïðåäëîæåí è èññëåäîâàí íîâûé ñïîñîá ïîëó÷å-
íèÿ ïëåíî÷íûõ êàòîäîëþìèíåñöåíòíûõ ñòðóêòóð ñî-
ñòàâà ZnS:Cu.Ga è ZnO:Cu.Ga äëÿ ñîçäàíèÿ èíôîð-
ìàöèîííûõ ñèñòåì âûñîêîêà÷åñòâåííîãî îòîáðàæå-
íèÿ [6, 7]. Îñíîâíûìè ýòàïàìè ðàçðàáîòàííîé òåõíî-
ëîãèè ÿâëÿþòñÿ ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå íàíåñåíèå â âà-
êóóìå ïëåíîê Zn:Cu è äàëüíåéøèé èõ îòæèã ñ îäíî-
âðåìåííûì ëåãèðîâàíèåì Ga â àòìîñôåðå, ñîäåðæà-
ùåé ñåðó èëè êèñëîðîä.
Òåõíè÷åñêèé óðîâåíü ïîëó÷åííûõ ñòðóêòóð
(òàáë. 2) îòâå÷àåò óðîâíþ ïðîäóêöèè òàêèõ âåäóùèõ
ôèðì êàê Dai Nippon Toryo (ßïîíèÿ), Philips
Corporation (Íèäåðëàíäû), Fataba Denshi Kogyo
(ßïîíèÿ).
Ðàçðàáîòàííàÿ òåõíîëîãèÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíî÷íûõ
êàòîäîëþìèíåñöåíòíûõ ñòðóêòóð èñïîëüçîâàíà â
ÍÈÈ «Ãåëèé» â ïðîèçâîäñòâå æèäêîñòíî-êðèñòàëëè-
÷åñêèõ èíäèêàòîðîâ ñ ïîâûøåííîé ðàçðåøàþùåé ñïî-
ñîáíîñòüþ.
Ôóíêöèîíàëüíàÿ ìèêðîýëåêòðîíèêà
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà êîíñòðóêöèè è òåõíîëîãèè
èçãîòîâëåíèÿ àðñåíèä-ãàëëèåâûõ ñìåñèòåëüíûõ è
äåòåêòîðíûõ äèîäîâ íà êðèñòàëëîäåðæàòåëå äëÿ
ðàäèîòåõíè÷åñêèõ óñòðîéñòâ äèàïàçîíà ÷àñòîò
(3...80) ÃÃö», ÍÏÏ «Ñàòóðí», ã. Êèåâ.
Âûïîëíåíà ðàçðàáîòêà, à òàêæå îñâîåíî ïðîèçâîä-
ñòâî äèîäîâ ÑÂ×, êîòîðûå íå èìåþò àíàëîãîâ â ñòðà-
íàõ ÑÍÃ [8, 9], ÷òî ïîçâîëèò èçáåæàòü ñóùåñòâóþ-
ùèõ òåõíè÷åñêèõ è ìàòåðèàëüíûõ òðóäíîñòåé, ñâÿ-
çàííûõ ñ êðèòè÷åñêèì èìïîðòîì ÑÂ×-äèîäîâ ìèë-
ëèìåòðîâîãî äèàïàçîíà.
Êîíñòðóêöèÿ äèîäà ïîçâîëÿåò èñïîëüçîâàòü åãî â
âûñîêî÷óâñòâèòåëüíûõ äåòåêòîðíûõ è ïðåîáðàçîâà-
òåëüíûõ óñòðîéñòâàõ êàê â èíòåãðàëüíîì (ïëàíàðíîì),
òàê è â âîëíîâîäíîì âàðèàíòå ðåàëèçàöèè. Ïîâûøå-
íèå ðàáî÷åé ÷àñòîòû äèîäîâ äî 80 ÃÃö äîñòèãíóòî çà
ñ÷åò ñíèæåíèÿ ïàðàçèòíûõ ïàðàìåòðîâ (åìêîñòè è èí-
äóêòèâíîñòè), à òàêæå ïîòåðü íà ñêèí-ýôôåêò ïóòåì
âûïîëíåíèÿ êðèñòàëëà ÑÂ×-äèîäà â âèäå ïëàíàðíîé
ìåçà-ñòðóêòóðû ñ áàëî÷íûìè âûâîäàìè, ñìîíòèðî-
âàííûìè íåïîñðåäñòâåííî íà ìåòàëëè÷åñêèõ âûâî-
äàõ ïëåíî÷íîãî êðèñòàëëîäåðæàòåëÿ.
Æèçíåñïîñîáíîñòü è ñòîéêîñòü äèîäîâ ê âíåøíèì
âîçäåéñòâèÿì � êëèìàòè÷åñêèì, ìåõàíè÷åñêèì
è äðóãèì (ïðè ðàáîòå â ñîñòàâå ãèáðèäíûõ èíòåãðàëü-
íûõ ñõåì è ìèêðîñáîðîê ðàäèîòåõíè÷åñêèõ ïðè-
áîðîâ îáúåìíîãî èñïîëíåíèÿ) � îáåñïå÷èâàþò
âîçìîæíîñòü èõ ýêñïëóàòàöèè â ñîîòâåòñòâèè ñ
ÎÑÒ 11336.925-81.
Ïî ñâîèì òåõíè÷åñêèì õàðàêòåðèñòèêàì (òàáë. 3)
ðàçðàáîòàííûé äèîä îòâå÷àåò óðîâíþ ëó÷øèõ ñîâðå-
ìåííûõ ðîññèéñêèõ àíàëîãîâ, à èìåííî ñìåñèòåëü-
íûõ äèîäîâ ÑÂ× 3À123 è ÑÂ× 3À117-6; äåòåêòîðíîãî
äèîäà ÍÂ× 3À206-6.
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà è èññëåäîâàíèå âèäåîìîíèòî-
ðîâ íà ïëîñêèõ ÆÊ-ïàíåëÿõ äëÿ àâèàöèîííîé òåõ-
íèêè», ÍÈÈ «Ãåëèé», ã. Âèííèöà.
Ðàçðàáîòàíû êîíñòðóêöèÿ è òåõíîëîãèÿ èçãîòîâ-
ëåíèÿ ýêñïåðèìåíòàëüíûõ îáðàçöîâ âèäåîìîíèòîðîâ
íà æèäêîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïàíåëÿõ ñ øèðîêèì ðàáî-
÷èì òåìïåðàòóðíûì äèàïàçîíîì è ïîâûøåííîé ìå-
õàíè÷åñêîé ñòîéêîñòüþ (òàáë. 4) [10, 11].
ßðêîñòü ñâå÷åíèÿ, êä/ì2 äî 1000
Ïëîòíîñòü òîêà ïðè óñêîðÿþùåì íàïðÿæåíèè
50 êÂ, ìêÀ/ñì2
äî 70
Öâåò èçëó÷åíèÿ çåëåíûé
Äëèíà âîëíû, íì 520
Ïëîùàäü îáðàçöà, ñì2, íå ìåíåå 5,5
Òîëùèíà ïëåíîê, ìêì 6�8
Ðàçðåøàþùàÿ ñïîñîáíîñòü, ëèíèé/ìì,
íå ìåíåå
100
Òàáëèöà 2
Õàðàêòåðèñòèêè ïëåíî÷íûõ êàòîäîëþìèíåñöåíòíûõ
ñòðóêòóð ñîñòàâà ZnS:Cu.Ga è ZnO:Cu.Ga
Åìêîñòü äèîäà, ôÔ, íå áîëüøå 120
Åìêîñòü êðèñòàëëîäåðæàòåëÿ, ôÔ,
íå áîëüøå
70
Ïîêàçàòåëü èäåàëüíîñòè ÂÀÕ, íå áîëüøå 1,2
Ïîñëåäîâàòåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå ïîòåðü,
Îì, íå áîëüøå
8
Îáðàòíûé òîê ïðè íàïðÿæåíèè 3Â, ìêÀ,
íå áîëüøå
5
Ãàáàðèòíûå ðàçìåðû, ìì, íå áîëüøå 1,5×1,5×1,5
Ìàññà îáðàçöà, ã, íå áîëüøå 0,02
Òàáëèöà 3
Òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè äèîäà ÑÂ×
ÀÐÊÀ.432131.002 (ÒÓ Â 32.1-14308747-20:2009)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
5
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
æåíèå ñâåòîâîãî ïîòîêà çà âðåìÿ ýêñïëóàòàöèè íå
ïðåâûøàåò 20%
Ðåçóëüòàòû ÎÊÐ áóäóò èñïîëüçîâàíû íà Çàâîäå
ãàçîðàçðÿäíûõ ëàìï ïðè ñåðèéíîì ïðîèçâîäñòâå ëàìï
âûñîêîãî äàâëåíèÿ òèïà ÄÐË 250 íà îñíîâå äóãîâûõ
ýëåêòðîäîâ ñ âûñîêîýôôåêòèâíûìè ìèêðîýëåêòðîí-
íûìè ýëåìåíòàìè, êîòîðûå óæå ïîñòàâëÿþòñÿ â íå-
îáõîäèìûõ êîëè÷åñòâàõ ÍÈÈ «Ãåëèé».
 ðàìêàõ íàïðàâëåíèÿ «Ýíåðãåòè÷åñêàÿ ìèêðî-
ýëåêòðîíèêà» ïðîâîäÿòñÿ ñëåäóþùèå èññëåäîâàíèÿ,
íàïðàâëåííûå íà ïîâûøåíèå ýôôåêòèâíîñòè òåïëî-
îòâîäà â ìèêðîýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà êîíñòðóêöèè è èññëåäîâàíèå
òåõíîëîãè÷åñêèõ îñîáåííîñòåé ñîçäàíèÿ è ðàáî÷èõ
õàðàêòåðèñòèê êðóïíîôîðìàòíèõ òåðìîýëåêòðè-
÷åñêèõ ìîäóëåé ñ òåïëîâûìè òðóáàìè», Èíñòèòóò
òåðìîýëåêòðè÷åñòâà ÍÀÍÓ, ã. ×åðíîâöû.
Äëÿ óëó÷øåíèÿ ðàáî÷èõ õàðàêòåðèñòèê êðóïíîôîð-
ìàòíûõ òåðìîýëåêòðè÷åñêèõ ìîäóëåé îòðàáàòûâàåòñÿ
êîíñòðóêöèÿ è òåõíîëîãè÷åñêèå îñîáåííîñòè ñîçäà-
íèÿ ýêñïåðèìåíòàëüíûõ îáðàçöîâ êðóïíîôîðìàòíûõ
òåðìîýëåêòðè÷åñêèõ ìîäóëåé ñ òåïëîâûìè òðóáàìè â
çîíàõ ïîäâîäà è îòâîäà òåïëîòû. Ïðîâåäåííûå èñ-
ñëåäîâàíèÿ îñíîâíûõ ðàáî÷èõ õàðàêòåðèñòèê òàêèõ
ìîäóëåé ïîêàçàëè ýôôåêòèâíîñòü ïðåäëàãàåìîé êîí-
ñòðóêöèè â ñðàâíåíèè ñ òðàäèöèîííûìè ìîäóëÿìè òåõ
æå ðàçìåðîâ áåç òåïëîâûõ òðóá.
ÍÈÐ «Èññëåäîâàíèå è ðàçðàáîòêà âûñîêîýôôåê-
òèâíûõ òåïëîîáìåííèêîâ äëÿ ìîùíûõ ìèêðîïðîöåñ-
ñîðîâ», ÊÍÓÑÀ, ã. Êèåâ.
Äëÿ ïðîâåäåíèÿ èññëåäîâàíèé èçãîòîâëåíû ýêñ-
ïåðèìåíòàëüíûå îáðàçöû âîäÿíûõ òåïëîîáìåííèêîâ
ñ ïîâûøåííîé ýôôåêòèâíîñòüþ [17] äëÿ îòâîäà òåï-
ëîòû îò ìîùíûõ ìèêðîïðîöåññîðîâ (òàáë. 5).
ÍÈÐ «Èññëåäîâàíèå òåïëîïåðåäàþùèõ ñâîéñòâ
ìåòàëëè÷åñêèõ ïîäëîæåê ñ çàìêíóòûì èñïàðèòåëü-
íî-êîíäåíñàöèîííûì öèêëîì äëÿ îòâîäà òåïëà îò
òåïëîâûäåëÿþùèõ ýëåìåíòîâ ìèêðîýëåêòðîííîé
àïïàðàòóðû», ÍÏÏ «Êàðàò», ã. Ëüâîâ.
Èññëåäóåòñÿ âîçìîæíîñòü ýôôåêòèâíîãî îòâîäà òåï-
ëà îò òåïëîâûäåëÿþùèõ ìèêðîýëåêòðîííûõ ýëåìåí-
òîâ ýëåêòðîííîãî áëîêà [18] ïðè èõ óñòàíîâêå íà
îõëàæäàþùóþ ïëàñòèíó áëîêà. Ïðîâîäÿòñÿ èññëåäîâà-
íèÿ äëÿ ïëàñòèí ðàçìåðàìè äî 170×280 ìì èç ðàçëè÷-
Ãàáàðèòíûå ðàçìåðû, ìì 265×198×56,2
Ìàññà, êã 2,2
Ðàçìåð ýêðàíà
ïî äèàãîíàëè, äþéì, íå ìåíåå 10,4
êîëè÷åñòâî ïèêñåëîâ 1024×768
Ïîòðåáëÿåìàÿ ìîùíîñòü, Âò, íå áîëåå 90
Òåìïåðàòóðíûé äèàïàçîí, °Ñ îò �40 äî +55
Íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ, Â 27
Óãîë îáçîðà, ãðàäóñ
ïî âåðòèêàëè îò �10 äî +35
ïî ãîðèçîíòàëè îò �50 äî +50
ßðêîñòü èçîáðàæåíèÿ, êä/ì2, â ðåæèìå
äíåâíîì, íå ìåíåå 800
íî÷íîì, íå áîëåå 15
Òàáëèöà 4
Îñíîâíûå ïàðàìåòðû ýêñïåðèìåíòàëüíûõ îáðàçöîâ
âèäåîìîíèòîðîâ
Èñïîëüçîâàíèå òàêèõ âèäåîìîíèòîðîâ â àâèàöè-
îííîé òåõíèêå ïîçâîëèò çíà÷èòåëüíî óìåíüøèòü âåñ
è ãàáàðèòû áîðòîâîé àïïàðàòóðû, ÷òî ïîâûøàåò ëåò-
íûå êà÷åñòâà àâèàöèîííîãî òðàíñïîðòà.
Ýíåðãåòè÷åñêàÿ ìèêðîýëåêòðîíèêà
ÍÈÎÒÐ «Ðàçðàáîòêà âûñîêîýôôåêòèâíûõ êîí-
öåíòðàòîðíûõ ñîëíå÷íûõ áàòàðåé íà îñíîâå ñîåäè-
íåíèé À3Â5», ÍÏÏ «Êàðàò», ã. Ëüâîâ.
Ðàçðàáîòàíà íîâàÿ îòå÷åñòâåííàÿ òåõíîëîãèÿ èç-
ãîòîâëåíèÿ âûñîêîýôôåêòèâíûõ ãåòåðîñòðóêòóð GaAs/
InGa/AlGaAs äëÿ ðàáîòû ïðè êîíöåíòðèðîâàííûõ (äî
500 ðàç) ñâåòîâûõ ïîòîêàõ. Íà îñíîâå ïîëó÷åííûõ
ãåòåðîñòðóêòóð èçãîòîâëåí îïûòíûé îáðàçåö ìîäóëÿ
ñîëíå÷íîé áàòàðåè ñ êîíöåíòðàòîðàìè ñîëíå÷íîé
ýíåðãèè è âûñîêîýôôåêòèâíîé ñèñòåìîé îòâîäà òåï-
ëà ñ òåïëîâûìè òðóáàìè [12, 13]. Åãî êïä äîñòèãàåò
28%, ÷òî ñîîòâåòñòâóåò ìèðîâîìó óðîâíþ. Íà îñíî-
âå ðàçðàáîòàííûõ ìîäóëåé ìîãóò áûòü ñîçäàíû êîí-
öåíòðàòîðíûå ñîëíå÷íûå áàòàðåè, ïðåäíàçíà÷åííûå
äëÿ ðàáîòû â ñîñòàâå âûñîêîýôôåêòèâíûõ àâòîíîì-
íûõ ñèñòåì ýíåðãîîáåñïå÷åíèÿ æèëûõ è áûòîâûõ ïî-
ìåùåíèé, êîìáèíèðîâàííûõ ñèñòåì óëè÷íîãî îñâå-
ùåíèÿ, ïîäñâåòêè äîðîæíèõ çíàêîâ è ò. ï.
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà è âíåäðåíèå âûñîêîýôôåêòèâ-
íûõ ìèêðîýëåêòðîííûõ ýëåìåíòîâ äëÿ ýíåðãîñáå-
ðåãàþùèõ èñòî÷íèêîâ ñâåòà ñ öåëüþ óëó÷øåíèÿ ýê-
ñïëóàòàöèîííûõ õàðàêòåðèñòèê», ÍÈÈ «Ãåëèé»,
ã. Âèííèöà.
Ðàçðàáîòàíû ìèêðîýëåêòðîííûå ýëåìåíòû äëÿ äó-
ãîâûõ ýëåêòðîäîâ [14, 15] ýíåðãîñáåðåãàþùèõ èñ-
òî÷íèêîâ ñâåòà � äóãîâûõ ðòóòíûõ ëàìï âûñîêîãî
äàâëåíèÿ ñ ëþìèíîôîðíûì ïîêðûòèåì [16], êîòîðûå
ïðèãîäíû äëÿ ðàáîòû â ñâåòèëüíèêàõ âíåøíåãî
îñâåùåíèÿ è îñâåùåíèÿ ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèé.
Âíåäðåíèå â òåõíîëîãèþ èçãîòîâëåíèÿ äóãîâûõ ýëåê-
òðîäîâ ÐÀËÑ 657719.008 ñ âûñîêîýôôåêòèâíûìè
ìèêðîýëåêòðîííûìè ýëåìåíòàìè ïîçâîëÿåò óâåëè÷èòü
ïðîäîëæèòåëüíîñòü ãîðåíèÿ ëàìï äî 5200 ÷, ÷òî íà
900 ÷ âûøå, ÷åì äëÿ ëàìï-àíàëîãîâ, ïðè ýòîì ñíè-
Ïëîòíîñòü òåïëîâîãî ïîòîêà íà ïîâåðõíîñòè
èìèòàòîðà ìèêðîïðîöåññîðà, Âò/ñì2
îò 20 äî 100
Êîëè÷åñòâî îòâîäèìîé òåïëîòû, Âò îò 60 äî 600
Ìàêñèìàëüíàÿ òåìïåðàòóðà ïîâåðõíîñòè
èìèòàòîðà ìèêðîïðîöåññîðà ïðè òåìïåðàòó-
ðå âîäû íà âõîäå â òåïëîîáìåííèê 25°Ñ, °Ñ
+65
Ãèäðîäèíàìè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå òåïëî-
îáìåííèêà ïî âîäå, íå áîëåå, êÏà
6
Ãàáàðèòíûå ðàçìåðû (áåç ó÷åòà äëèíû øòó-
öåðîâ), íå áîëåå, ìì
55×55×20
Òàáëèöà 5
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ýêñïåðèìåí-
òàëüíûõ îáðàçöîâ òåïëîîáìåííèêîâ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
6
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
íûõ ìàòåðèàëîâ � ìåäè, àëþìèíèÿ, òèòàíà èëè èõ
ñïëàâîâ ïðè èñïîëüçîâàíèè â êà÷åñòâå òåïëîíîñèòå-
ëÿ âîäû, ýòàíîëà èëè àöåòîíà. Ìàêñèìàëüíàÿ òåìïå-
ðàòóðà ïîâåðõíîñòè áëîêà â çîíå óñòàíîâêè ýëåìåí-
òîâ ñîñòàâëÿåò +70°Ñ, ïëîòíîñòü òåïëîâîãî ïîòîêà â
çîíå òåïëîïîäâîäà � äî 5 Âò/ñì2.
Ñåíñîýëåêòðîíèêà
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà è èññëåäîâàíèå íàíîñòðóêòó-
ðèðîâàííèõ ïëåíîê ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ ñåí-
ñîðîâ âëàæíîñòè» , ÍÈÈ «Ãåëèé», ã. Âèííèöà.
Âïåðâûå â Óêðàèíå ñîçäàíà íàíîñòðóêòóðèðîâàí-
íàÿ êîìïîçèòíàÿ ïëåíêà [19] äëÿ ïðàêòè÷åñêîé ðàçðà-
áîòêè è ïðîèçâîäñòâà èíòåãðàëüíûõ ñåíñîðîâ âëàæ-
íîñòè [20] ñ âûñîêîé ÷óâñòâèòåëüíîñòüþ, ñòàáèëü-
íûìè âî âðåìåíè õàðàêòåðèñòèêàìè, ñ ëèíåéíîé çà-
âèñèìîñòüþ åìêîñòè îò îòíîñèòåëüíîé âëàæíîñòè
ïðàêòè÷åñêè âî âñåì äèàïàçîíå èçìåíåíèÿ ïîñëåäíåé
(îò 3 äî 100%). Òàêèå ñåíñîðû ñîõðàíÿþò ðàáîòîñïî-
ñîáíîñòü ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ, âïëîòü äî �35°Ñ,
÷òî íà äàííûé ìîìåíò íåâîçìîæíî îáåñïå÷èòü äðó-
ãèìè ñóùåñòâóþùèìè ìàòåðèàëàìè (ïëåíêè îêñèäîâ
íåêîòîðûõ ìåòàëëîâ, îðãàíè÷åñêèå ïëåíêè è ò. ï.).
Ïîëó÷åííûå ÷óâñòâèòåëüíûå ýëåìåíòû áóäóò èñ-
ïîëüçîâàíû â ÍÈÈ «Ãåëèé» ïðè èçãîòîâëåíèè ñåíñî-
ðîâ âëàæíîñòè ñ ôóíêöèîíàëüíûìè ïàðàìåòðàìè äëÿ
ïîòðåáíîñòåé ãèäðîìåòåîðîëîãèè, ìåäèöèíû, ïðî-
ìûøëåííîñòè, àãðîïðîìûøëåííîãî êîìïëåêñà è áû-
òîâîé ýëåêòðîíèêè.
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà è èññëåäîâàíèå óíèôèöèðîâàí-
íîãî àêóñòîýëåêòðîííîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ äëÿ ñåí-
ñîðîâ ôèçè÷åñêèõ âåëè÷èí», Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé
óíèâåðñèòåò èì. È. È. Ìå÷íèêîâà.
Ðàçðàáàòûâàåòñÿ óíèôèöèðîâàííûé ïðåîáðàçîâà-
òåëü íà ïîâåðõíîñòíûõ àêóñòè÷åñêèõ âîëíàõ � áà-
çîâûé ýëåìåíò ñåíñîðîâ öåëîãî ðÿäà ôóíêöèîíàëü-
íûõ íàçíà÷åíèé [21]. Áëàãîäàðÿ èñïîëüçîâàíèþ äîñ-
òèæåíèé àêóñòîýëåêòðîíèêè â ðàçðàáîòàííîì óíèôè-
öèðîâàííîì ïðåîáðàçîâàòåëå ñóùåñòâåííî óïðîùà-
åòñÿ ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðÿæåíèå ñåíñîðà ñ ìèêðîïðî-
öåññîðíîé òåõíèêîé. Ýòî îáåñïå÷èò ðåøåíèå ïðîáëå-
ìû èíòåëëåêòóàëèçàöèè ñåíñîðà è ïîâûøåíèÿ ìåòðî-
ëîãè÷åñêèõ è ýêñïëóàòàöèîííûõ õàðàêòåðèñòèê.
Ïðåîáðàçîâàòåëü ñîñòîèò èç ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëå-
ìåíòà è ýëåêòðîííîé ñõåìû ïåðâè÷íîé îáðàáîòêè
ýëåêòðè÷åñêîãî ñèãíàëà, êîíñòðóêòèâíî âûïîëíåííûõ
â îäíîì êîðïóñå. Ðàáîòà ïðåîáðàçîâàòåëÿ èññëåäóåò-
ñÿ íà ïðèìåðå ðàçðàáîòàííîãî ýêñïåðèìåíòàëüíîãî
îáðàçöà ñåíñîðà óãëà ïîâîðîòà (òàáë. 6).
Âèä èñõîäíîãî ñèãíàëà ÷àñòîòíûé
Äèàïàçîí ðàáî÷èõ ÷àñòîò, ÌÃö 15,7�16,3
Óãîë ïîâîðîòà 40°
Ïîãðåøíîñòü èçìåðåíèÿ óãëà, íå áîëåå 2′
Íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ, Â 10±1
Òàáëèöà 6
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ýêñïåðèìåí-
òàëüíîãî îáðàçöà ñåíñîðà óãëà ïîâîðîòà
Íîâîå òåõíîëîãè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå äëÿ
ìèêðîýëåêòðîíèêè
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà àïïàðàòóðû è òåõíîëîãèè
òåðìîýëåêòðîòðåíèðîâêè ñâåðõìîùíûõ ëàâèííî-
ïðîëåòíûõ äèîäîâ 8-ìèëëèìåòðîâîãî äèàïàçîíà
èìïóëüñíîãî ðåæèìà ðàáîòû», ÍÈÈ «Îðèîí»,
ã. Êèåâ.
Âïåðâûå â ÑÍÃ ñîçäàí ñòåíä (ñì. òàáë. 7) äëÿ
òåðìîýëåêòðîòðåíèðîâêè èìïóëüñíûõ ëàâèííî-ïðî-
ëåòíûõ äèîäîâ (ËÏÄ) äëÿ äèàãíîñòè÷åñêîãî îáåñïå-
÷åíèÿ ïðîèçâîäñòâà ìîùíûõ êðåìíèåâûõ ËÏÄ ìèë-
ëèìåòðîâîãî äèàïàçîíà [22] è òåõíîëîãèÿ òåðìîýëåê-
òðîòðåíèðîâêè äèîäîâ íà ýòîì ñòåíäå.
Âíåäðåíèå ñòåíäà â ÍÈÈ «Îðèîí» îáåñïå÷èëî
ïîâûøåíèå íàäåæíîñòè ïðîèçâîäèìûõ ñóïåðìîùíûõ
êðåìíèåâûõ ËÏÄ 8-ìì äèàïàçîíà, ÷òî ïîçâîëèëî
óêðåïèòü ñâîè ïîçèöèè íà ìåæäóíàðîäíîì ðûíêå.
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà ìåòîäîâ è àïïàðàòóðû äëÿ
äèàãíîñòèêè íàäåæíîñòè êðåìíèåâûõ ñâåðõìîù-
íûõ èìïóëüñíûõ ËÏÄ», Èíñòèòóò ôèçèêè ïîëóïðî-
âîäíèêîâ èì. Â. Å. Ëàøêàðåâà ÍÀÍÓ, ã. Êèåâ.
Âïåðâûå â Óêðàèíå ðàçðàáîòàíà àïïàðàòóðà [23,
24] è ìåòîäû [25] äëÿ ïðåäâàðèòåëüíîé äèàãíîñòèêè
íàäåæíîñòè ËÏÄ ïî îñîáåííîñòÿì èõ âîëüò-àìïåð-
íîé õàðàêòåðèñòèêè íà ó÷àñòêå ëàâèííîãî ïðîáîÿ â
èìïóëüñíîì ðåæèìå ðàáîòû ïðè íàïðÿæåíèè äî 100 Â,
òîêå äî 20 À è äëèòåëüíîñòè èìïóëüñà 100 íñ.
 êîìïëåêñå ñ ðàçðàáîòàííîé â ÍÈÈ «Îðèîí»,
ã. Êèåâ, àïïàðàòóðîé è òåõíîëîãèåé òåðìîýëåêòðîòðå-
íèðîâêè ñâåðõìîùíûõ èìïóëüñíûõ ËÏÄ 8-ìì äèà-
ïàçîíà îíè ïîçâîëÿþò ïîëó÷àòü áîëåå ïîëíóþ èíôîð-
ìàöèþ î ïàðàìåòðàõ òàêèõ ËÏÄ è óñêîðèòü ïðîöåññ
îïòèìèçàöèè òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà ïðîèçâîä-
ñòâà çà ñ÷åò ýêñïðåññ-äèàãíîñòèêè.
ÍÈÐ «Èññëåäîâàíèå ñïîñîáîâ óâåëè÷åíèÿ âðåìå-
íè æèçíè ïëàçìåííûõ îáðàçîâàíèé», ÍÈÈ «Ãåëèé»,
ã. Âèííèöà.
Ïðè èñïîëüçîâàíèè ýëåêòðè÷åñêèõ ðàçðÿäîâ â ñâî-
áîäíîé àòìîñôåðå ïîëó÷åíû àâòîíîìíûå äîëãîæèâó-
ùèå ïëàçìåííûå îáðàçîâàíèÿ ñ âðåìåíåì æèçíè 2 ñ,
÷òî ñîîòâåòñòâóåò ìèðîâîìó óðîâíþ. Ðàçðàáîòàíû ðå-
êîìåíäàöèè ïî ñîçäàíèþ íåòðàäèöèîííûõ èñòî÷íè-
êîâ ýíåðãèè [26].
ÍÈÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà ìàëîãàáàðèòíîãî Â×-äèîä-
íîãî ðåàêòîðà ñ ðàñïðåäåëåííûìè íàïóñêîì è îò-
êà÷êîé ãàçà äëÿ ïðîöåññîâ ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâ-
ëåíèÿ ñ âûñîêîé ðàâíîìåðíîñòüþ», Õàðüêîâñêèé íà-
öèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò èì. Â. Í. Êàðàçèíà.
Îñóùåñòâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà è èçãîòîâëåíèå ýêñ-
ïåðèìåíòàëüíîãî îáðàçöà ìàëîãàáàðèòíîé ìàëîýíåð-
Äèàïàçîí èìïóëüñíîãî ðàáî÷åãî òîêà, À 5�22
Äëèòåëüíîñòü èìïóëüñà, íñ 100�340
Äèàïàçîí íàïðÿæåíèÿ èìïóëüñà, Â 10�70
Òåìïåðàòóðà êîðïóñà äèîäà, °Ñ 20�100
Êîëè÷åñòâî äèîäîâ, òåñòèðóåìûõ
îäíîâðåìåííî, øò.
24
Òàáëèöà 7
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ñòåíäà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
7
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
ãîåìêîé íàñòîëüíîé óñòàíîâêè ñ Â×-äèîäíûì ðåàê-
òîðîì äëÿ ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ [27] ñ ñî-
áëþäåíèåì óñëîâèé âûñîêîé ðàâíîìåðíîñòè, îñíîâ-
íûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè êîòîðîãî ïðèâåäå-
íû â òàáë. 8.
Ïëàíèðóåòñÿ ïðîâåäåíèå èñïûòàíèé ýêñïåðèìåí-
òàëüíîãî îáðàçöà ðåàêòîðà ñ öåëüþ èññëåäîâàíèÿ ïðî-
öåññîâ ôîðìèðîâàíèÿ ïîòîêîâ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö,
ôèçè÷åñêèõ ïðèíöèïîâ ñîãëàñîâàíèÿ èìïåäàíñîâ
Â×-ãåíåðàòîðà è ïëàçìîõèìè÷åñêîãî ðåàêòîðà äèîä-
íîãî òèïà.
ÍÈÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà óíèâåðñàëüíîãî èñòî÷íè-
êà èîíîâ äëÿ ìàëîýíåðãîåìêîãî èîííî-ðàäèêàëüíî-
ãî òðàâëåíèÿ ìàòåðèàëîâ ìèêðîýëåêòðîíèêè íà áàçå
êîìáèíèðîâàííîãî èíäóêöèîííî-åìêîñòíîãî Â×
ðàçðÿäà», Õàðüêîâñêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò
èì. Â. Í. Êàðàçèíà.
Îñóùåñòâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà óíèâåðñàëüíîãî èñòî÷-
íèêà èîíîâ íà áàçå èíäóêöèîííîãî ðàçðÿäà ñ âûñî-
êî÷àñòîòíîé äèîäíîé èîííî-îïòè÷åñêîé ñèñòåìîé,
îáåñïå÷èâàþùåé íåçàâèñèìîå óïðàâëåíèå ýíåðãèåé
è ïëîòíîñòüþ ïîòîêà èîíîâ ïðè óñëîâèè ïîëíîé òî-
êîâîé êîìïåíñàöèè, ïðèãîäíîãî äëÿ ìàëîýåíåðãîåì-
êîãî èîííî-ðàäèêàëüíîãî òðàâëåíèÿ ìàòåðèàëîâ ìèê-
ðîýëåêòðîíèêè. Ïðîâîäÿòñÿ èññëåäîâàíèÿ ïðîöåññîâ
ôîðìèðîâàíèÿ ïîòîêîâ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö â óñëî-
âèÿõ òîêîâîé êîìïåíñàöèè ñ íåçàâèñèìûì óïðàâëå-
íèåì ýíåðãèåé è ïëîòíîñòüþ ïîòîêà èîíîâ, à òàêæå
ôèçè÷åñêèõ ïðèíöèïîâ ñîãëàñîâàíèÿ èìïåäàíñîâ âû-
ñîêî÷àñòîòíîãî ãåíåðàòîðà è èñòî÷íèêà èîíîâ.
Èñòî÷íèê èîíîâ ïðåäíàçíà÷åí äëÿ âíåäðåíèÿ â
ñîâðåìåííûõ èîííî-ïëàçìåííûõ òåõíîëîãèÿõ íà ïðåä-
ïðèÿòèÿõ ìèêðîýëåêòðîíèêè Óêðàèíû.
Èíòåãðàëüíûå ñõåìû è ïîëóïðîâîäíèêîâûå
ïðèáîðû
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà ìèêðîñõåìû ÷åòûðåõêàíàëü-
íîãî ìèêðîìîùíîãî îïåðàöèîííîãî óñèëèòåëÿ ñ ïî-
ëåâûìè òðàíçèñòîðàìè íà âõîäå», ÍÏÎ «Êðèñòàëë»,
ã. Êèåâ
Ñîçäàíà èíòåãðàëüíàÿ ìèêðîñõåìà ÷åòûðåõêàíàëü-
íîãî ìèêðîìîùíîãî îïåðàöèîííîãî óñèëèòåëÿ ñ ïî-
Ñêîðîñòü íàðàñòàíèÿ èñõîäíîãî ñèãíàëà,
Â/ìêñ
9
Ïîëîñà ÷àñòîò, ÌÃö 4
Âõîäíîé òîê, ïÀ 10
Êîýôôèöèåíò óñèëåíèÿ íàïðÿæåíèÿ 40×103
Òîê ïèòàíèÿ, ìêÀ/êàíàë 210
Íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ, Â îò ±4,5 äî ±18
Òàáëèöà 9
Òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè èíòåãðàëüíîé
ìèêðîñõåìû
ëåâûìè òðàíçèñòîðàìè íà âõîäå, õàðàêòåðèñòèêè êî-
òîðîé (ñì. òàáë. 9) ïîëíîñòüþ ñîîòâåòñòâóåò ìèêðî-
ñõåìå ÎÐ482 ôèðìû �Analog Devices�, ÑØÀ [28, 29].
Âïåðâûå â ÑÍÃ ðàçðàáîòàíà ñîâìåñòíàÿ áèïîëÿðíàÿ
òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ïîëåâûõ òðàíçèñòîðîâ è ïëå-
íî÷íûõ ðåçèñòîðîâ ñ èçîëÿöèåé âñòðå÷íîñìåùåííû-
ìè ð�ï-ïåðåõîäàìè. Ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ïðèìåíåíà
äâóõóðîâíåâàÿ ìåòàëëèçàöèÿ è ôóíêöèîíàëüíàÿ ïîä-
ãîíêà íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ íóëÿ ìåòîäîì èñïàðå-
íèÿ ïëàâÿùèõñÿ àëþìèíèåâûõ ïåðåìû÷åê.
Ìèêðîñõåìà ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ ïðèìåíåíèÿ â àê-
òèâíûõ RC-ôèëüòðàõ, èíòåãðàòîðàõ, èçìåðèòåëüíûõ
óñèëèòåëÿõ, äåòåêòîðàõ è äðóãèõ óñòðîéñòâàõ ðàäèî-
ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðû. Íà÷èíàÿ ñ 2010 ã. îðãàíèçî-
âàíî ñåðèéíîå ïðîèçâîäñòâî ìèêðîñõåì ÷åòûðåõêà-
íàëüíîãî ìèêðîìîùíîãî îïåðàöèîííîãî óñèëèòåëÿ ñ
ïîëåâûìè òðàíçèñòîðàìè íà âõîäå ÓÔ1101ÓÄ48 (â
êîðïóñå SO-14) è ÓÐ1101ÓÄ48 (â êîðïóñå DIP-14)
äëÿ ïîòðåáíîñòåé ïðåäïðèÿòèé Íàöèîíàëüíîãî êîñìè-
÷åñêîãî àãåíòñòâà Óêðàèíû. Íà 2010 ãîä çàïëàíèðî-
âàíî èçãîòîâëåíèå ýòèõ ìèêðîñõåì â êîëè÷åñòâå ñî-
îòâåòñòâåííî îêîëî 37 è 10 òûñ. øò.
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà ÁÈÑ äëÿ ìèêðîýëåêòðîííîãî
êîîðäèíàòíî-÷óâñòâèòåëüíîãî äåòåêòîðà (ÌÊ×Ä)
äëÿ ïðèáîðîâ ýëåìåíòíîãî àíàëèçà âåùåñòâ», ÍÈÈ
ìèêðîïðèáîðîâ ÍÒÊ «Èíñòèòóò ìîíîêðèñòàëëîâ»
ÍÀÍÓ, ã. Êèåâ.
Ðàçðàáîòàíà ñïåöèàëèçèðîâàííàÿ áîëüøàÿ èíòåã-
ðàëüíàÿ ñõåìà [30, 31] äëÿ àíàëèòè÷åñêîãî ïðèáîðî-
ñòðîåíèÿ, êîòîðàÿ ïî ñâîåìó òåõíè÷åñêîìó óðîâíþ
ÿâëÿåòñÿ ëó÷øåé â Óêðàèíå è ñîîòâåòñòâóåò òåõíè-
÷åñêîìó óðîâíþ àíàëîãè÷íûõ ìèêðîñõåì, âûïóñêà-
åìûõ â Ðîññèè è Áåëîðóññèè. Èçãîòîâëåíà è èñïûòà-
íà îïûòíàÿ ïàðòèÿ ìèêðîñõåì.
Âíåäðåíèå ìèêðîñõåìû ïëàíèðóåòñÿ â ÎÀÎ «ÑÅË-
ÌÈ» è Èíñòèòóòå ïðèêëàäíîé ôèçèêè ÍÀÍÓ, ã. Ñóìû,
â ïåðñïåêòèâíîì ïðèáîðå äëÿ àíàëèçà ñîñòàâà ìíîãî-
ýëåìåíòíûõ âåùåñòâ â ðåàëüíîì ìàñøòàáå âðåìåíè.
ÍÈÐ «Ðàçðàáîòêà ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèõ îñ-
íîâ ïðîèçâîäñòâà ìîùíûõ áûñòðîäåéñòâóþùèõ âû-
ñîêîâîëüòíûõ 4ÍSiC p�i�n-äèîäîâ», ÍÈÈ «Îðèîí»,
ã. Êèåâ.
Ñîçäàíû íàó÷íî-òåõíîëîãè÷åñêèå îñíîâû äëÿ
ïðàêòè÷åñêîé ðàçðàáîòêè è ñåðèéíîãî ïðîèçâîäñòâà
ìîùíûõ áûñòðîäåéñòâóþùèõ âûñîêîâîëüòíûõ (äî
1000 Â) êàðáèä-êðåìíèåâûõ ÑÂ× p�i�n-äèîäîâ ñ äè-
àïàçîíîì ðàáî÷åé ÷àñòîòû äî 40 ÃÃö ïðè òåìïåðàòó-
ðå äî 400°Ñ [32�35], ñåðèéíîãî ïðîèçâîäñòâà êîòî-
Äàâëåíèå ãàçà â çîíå îáðàáîòêè, Ïà 1�500
Äèàìåòð çîíû îáðàáîòêè, ìì, íå ìåíåå 100
Äèàïàçîí ýíåðãèè èîíîâ, ýÂ 20�500
Ìàêñèìàëüíàÿ ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ Si, ìêì/ìèí 2�3
Îäíîðîäíîñòü òðàâëåíèÿ, %, íå õóæå 2
Ðàáîòà ñ õèìè÷åñêè-àêòèâíûìè ðàäèêàëàìè CnFm, O, N, F
Ïðîäîëæèòåëüíîñòü ðàáîòû (ñìåñü
Àr+O2+CF4)
áåñïðåðûâíîé, ÷, íå ìåíåå 8
áåç ïðîôèëàêòèêè, ÷, íå ìåíåå 40
Â×-ìîùíîñòü, Âò
íîìèíàëüíàÿ 100
ìàêñèìàëüíàÿ 300
Ãàáàðèòíûå ðàçìåðû (áåç âàêóóìíîãî íàñî-
ñà), ìì, íå áîëåå
500×500×300
Òàáëèöà 8
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
8
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
ðûõ â äàííîå âðåìÿ â ìèðå íåò. Èñïîëüçîâàíèå òàêèõ
äèîäîâ ïîçâîëèò ñîçäàòü íîâîå ïîêîëåíèå ÑÂ× ìîù-
íûõ êîììóòèðóþùèõ óñòðîéñòâ, áûñòðîäåéñòâèå êî-
òîðûõ áóäåò â 3�5 ðàç âûøå â ñðàâíåíèè ñ óñòðîé-
ñòâàìè íà êðåìíèåâûõ p�i�n-äèîäàõ, ñ ðàáî÷åé òåì-
ïåðàòóðîé äî 300°Ñ.
ÍÈÐ «Èññëåäîâàíèå è ðàçðàáîòêà òåõíîëîãèè
èçãîòîâëåíèÿ äèîäîâ Ãàííà 3-ìì äèàïàçîíà ñ ïîâû-
øåííûìè ýíåðãåòè÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè íà
îñíîâå ôîñôèäà èíäèÿ», ÍÈÈ «Îðèîí», ã. Êèåâ.
Âïåðâûå â ÑÍà ðàçðàáîòàíû áàçîâûå íàó÷íûå è
êîíñòðóêòîðñêî-òåõíîëîãè÷åñêèå ðåøåíèÿ, îáåñïå÷è-
âàþùèå ñîçäàíèå äèîäîâ Ãàííà èç ôîñôèäà èíäèÿ ñ
ïîâûøåííûìè ýíåðãåòè÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè ñ
òîëùèíîé àêòèâíîãî ñëîÿ 1,5�2,0 ìêì â ìåòàëëîðó-
áèíîâûõ è ìåòàëëîêâàðöåâèõ êîðïóñàõ ñ äèàïàçîíîì
÷àñòîòû 90�140 ÃÃö [36, 37]. Íà äàííîì ýòàïå èçãî-
òîâëåíû ýêñïåðèìåíòàëüíûå îáðàçöû äèîäîâ Ãàííà ñ
êàòîäíûì êîíòàêòîì, èíæåêòèðóþùèì ãîðÿ÷èå ýëåê-
òðîíû, è èññëåäîâàíû èõ ÑÂ×-õàðàêòåðèñòèêè. Äàëåå
ïëàíèðóåòñÿ ïðîâåäåíèå ÎÒÐ ïî ñîçäàíèþ ñåðèéíî-
ãî ïðîèçâîäñòâà äèîäîâ Ãàííà 3-ìì äèàïàçîíà ñ ïî-
âûøåííûìè ýíåðãåòè÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè íà
îñíîâå ôîñôèäà èíäèÿ äëÿ íîâåéøèõ ñèñòåì ñâÿçè,
íàâèãàöèè, ðàäèîëîêàöèè, ìåäèöèíû è àïïàðàòóðû
ñïåöèàëüíîãî íàçíà÷åíèÿ.
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà êîíñòðóêöèè è òåõíîëîãèè
èçãîòîâëåíèÿ ñâåðõìîùíûõ äî 30 Âò êðåìíèåâûõ
ëàâèííî-ïðîëåòíûõ äèîäîâ 8-ìì äèàïàçîíà èìïóëüñ-
íîãî ðåæèìà ðàáîòû», ÍÈÈ «Îðèîí», ã. Êèåâ.
Ïðîâîäèòñÿ ðàçðàáîòêà ýëåìåíòîâ ãèáðèäíûõ ÑÂ×
èíòåãðàëüíûõ ñõåì íîâîãî ïîêîëåíèÿ äëÿ ãåíåðàöèè
è óñèëåíèÿ ÑÂ×-ìîùíîñòè ìèíèìóì äî 30 Âò â èì-
ïóëüñíîì ðåæèìå (ïðîäîëæèòåëüíîñòü èìïóëüñà ðà-
áî÷åãî òîêà � 100�280 íñ, ïàóçû ìåæäó èìïóëüñà-
ìè � 10�200 ìêñ) â äèàïàçîíå ÷àñòîò 33�35 ÃÃö
[38] äëÿ ïðèìåíåíèÿ â ñèñòåìàõ ñâÿçè, ðàäèîëîêà-
öèè, íàâèãàöèè è àïïàðàòóðå ñïåöèàëüíîãî íàçíà÷å-
íèÿ. Ðàçðàáîòàíà ðàáî÷àÿ êîíñòðóêòîðñêàÿ è òåõíî-
ëîãè÷åñêàÿ äîêóìåíòàöèÿ äëÿ îáåñïå÷åíèÿ ãèáêîãî
ïðîèçâîäñòâà ñâåðõìîùíûõ êðåìíèåâûõ ëàâèííî-
ïðîëåòíûõ äèîäîâ 8-ìì äèàïàçîíà èìïóëüñíîãî ðå-
æèìà ðàáîòû.
ÎÊÐ «Ðàçðàáîòêà âûñîêî÷àñòîòíûõ ÊÌÎÏ èí-
òåãðàëüíûõ ñõåì äëÿ ãåíåðàòîðîâ ñ êâàðöåâîé ñòà-
áèëèçàöèåé ÷àñòîòû», ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ ÍÒÊ
«Èíñòèòóò ìîíîêðèñòàëëîâ» ÍÀÍÓ, ã. Êèåâ.
Ñîçäàåòñÿ èíòåãðàëüíàÿ ñõåìà [39] äëÿ ãåíåðèðî-
âàíèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ èìïóëüñîâ â äèàïàçîíå ÷àñòîò
îò 1 äî 70 ÌÃö ñ ïîäñîåäèíåíèåì êâàðöà íà ñîîòâåò-
ñòâóþùóþ ÷àñòîòó ê ÊÌÎÏ ÈÑ, à òàêæå óïðàâëåíèå
âõîäíûìè íàïðÿæåíèÿìè îò ÒÒË èíòåãðàëüíûõ ñõåì
íàëè÷èåì èëè îòñóòñòâèåì ýëåêòðè÷åñêèõ èìïóëüñîâ
íà âûõîäå èíòåãðàëüíîé ñõåìû (òàáë. 10).
***
Íà ïðîòÿæåíèè 2007�2009 ãîäîâ â ðàìêàõ Ãîñó-
äàðñòâåííîé ïðîãðàììû ðàçâèòèÿ ïðîìûøëåííîñòè
íà 2003�2011 ãîäû â îáëàñòè ìèêðîýëåêòðîíèêè
âûïîëíåíî 15 ðàáîò. Åùå 8 ðàáîò, íà÷àòûõ â ýòîò ïå-
ðèîä, ïëàíèðóåòñÿ çàâåðøèòü â 2010 ãîäó. Ïî ðåçóëü-
òàòàì ðàçðàáîòîê è èññëåäîâàíèé ïîäàíî 23 çàÿâêè
íà âûäà÷ó ïàòåíòîâ Óêðàèíû íà èçîáðåòåíèÿ è ïîëåç-
íûå ìîäåëè, ïî êîòîðûì íà äàííîå âðåìÿ óæå ïîëó-
÷åíî 11 ïàòåíòîâ, ðàññìîòðåíèå äðóãèõ çàÿâîê ïðî-
äîëæàåòñÿ. Îïóáëèêîâàíî 20 íàó÷íî-òåõíè÷åñêèõ ñòà-
òåé â ñïåöèàëèçèðîâàííûõ èçäàíèÿõ Óêðàèíû è ñäå-
ëàíî 11 äîêëàäîâ íà ìåæäóíàðîäíûõ íàó÷íî-òåõíè-
÷åñêèõ êîíôåðåíöèÿõ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Êðóêîâñüêèé Ñ. ². Ëåãóâàííÿ ð³äê³ñíîçåìåëüíèìè òà ³çîâà-
ëåíòíèìè åëåìåíòàìè / Àâòîðåô. äèñ. �ä. ò. í.� Ëüâ³âñüêà ïîë³-
òåõí³êà.� 2005.
2. Ïîïîâ Â. Ì., Êëèìåíêî À. Ñ., Ïîêàíåâè÷ À. Ï. Óñîâåðøåí-
ñòâîâàííûé ìåòîä âûÿâëåíèÿ «ãîðÿ÷èõ òî÷åê» â èçäåëèÿõ ìèêðî-
ýëåêòðîíèêè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé
àïïàðàòóðå.� 2008.� ¹ 3.� Ñ. 55�58
3. Ïîïîâ Â. Ì., Øóñòîâ Þ. Ì., Êëèìåíêî À. Ñ., Ïîêàíåâè÷
À. Ï. Âëèÿíèå îáëó÷åíèÿ êðåìíèÿ íèçêîýíåðãåòè÷åñêèìè èîíàìè
àðãîíà íà îáðàçîâàíèå â íåì ýëåêòðè÷åñêè àêòèâíûõ äåôåêòîâ //
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.�
2009.� ¹ 4.� Ñ. 48�51.
4. Çàÿâêà ¹ à2008 14889 â³ä 24.12.2008 ð íà âèäà÷ó ïàòåíòó
Óêðà¿íè. Ñïîñ³á âèÿâëåííÿ ëîêàëüíèõ åëåêòðè÷íî àêòèâíèõ äå-
ôåêò³â íà ïîâåðõí³ íàï³âïðîâ³äíèêà â ñòðóêòóðàõ «ìåòàë-ä³åëåêò-
ðèê-íàï³âïðîâ³äíèê» // ÄÏ «ÍIJ ì³êðîïðèëàä³â» ÍÒÊ «²íñòèòóò
ìîíîêðèñòàë³â» ÍÀÍ Óêðà¿íè / Â. Ì. Ïîïîâ, À. Ñ. Êëèìåíêî,
Î. Ï. Ïîêàíåâè÷.
5. Çàÿâêà ¹ à2008 13387 íà âèäà÷ó ïàòåíòó Óêðà¿íè. Ïðèñòð³é
äëÿ â³çóàëüíîãî â³äîáðàæåííÿ åëåêòðè÷íèõ ïîòåíö³àë³â ³ òåìïåðà-
òóðè íà ïîâåðõí³ êðèñòàëà ³íòåãðàëüíî¿ ì³êðîñõåìè // Â. Ì. Ïî-
ïîâ, À. Ñ. Êëèìåíêî, Î. Ï. Ïîêàíåâè÷.
6. Ïàòåíò 39999 Óêðà¿íè. Ñïîñ³á ñòâîðåííÿ ïë³âêîâèõ êàòî-
äîëþì³íîôîð³â» // ÄÏ ÍIJ «Ãåë³é» / Â. Â. Ñåâàñòüÿíîâ, Ë. Ô.
Êîâàëåíêî, Â. Ñ. Õîì÷åíêî òà ³í.� 2009.� Áþë. ¹ 6.
7. Êîâàëåíêî Ë. Ô., Ñåâàñòüÿíîâ Â. Â., Õîì÷åíêî Â. Ñ., Öûðêó-
íîâ Þ. À. Ïîëó÷åíèå ýôôåêòèâíûõ êàòîäîëþìèíåñöåíòíûõ ñòðóê-
òóð íà áàçå ïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðî-
âàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2008.� ¹ 6.� Ñ. 48�49.
Íîìèíàëüíîå çíà÷åíèå íàïðÿæåíèÿ ïèòà-
íèÿ, Â
+5,0
Äîïóñòèìûå îòêëîíåíèÿ íàïðÿæåíèÿ ïè-
òàíèÿ, %
±5
Èñõîäíîå íàïðÿæåíèå âûñîêîãî óðîâíÿ, íå
ìåíåå, Â
�0,5
Èñõîäíîå íàïðÿæåíèå íèçêîãî óðîâíÿ, íå
áîëåå, Â
0,4
Âõîäíîé òîê íèçêîãî óðîâíÿ ïî âûâîäó IN,
ìêÀ, íå ìåíåå
5�100
Èñõîäíûé òîê ïðîñà÷èâàíèÿ ïðè íèçêîì
óðîâíå íàïðÿæåíèÿ íà âûâîäå IN (ðåæèì
«âûêëþ÷åíî», ìêÀ
�10,0�10,0
Äèíàìè÷åñêèé òîê ïîòðåáëåíèÿ, ìÀ ïðè
ÑL=15 ïÔ â äèàïàçîíå ÷àñòîò
îò 1,0 äî 19,999 ÌÃö, íå áîëåå 15
îò 20,0 äî 34,999 ÌÃö, íå áîëåå 20
îò 35,0 äî 70,0 ÌÃö, íå áîëåå 30
Äèàïàçîí ðàáî÷èõ òåìïåðàòóð, °Ñ îò �60 äî +85
Òàáëèöà 10
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè
èíòåãðàëüíîé ñõåìû
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
9
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
8. Ïàòåíò 40563 Óêðà¿íè. Íàï³âïðîâ³äíèêîâèé ÍÂ×-ä³îä íà
êðèñòàëîòðèìà÷³ // ÂÀÒ «ÍÂÏ «Ñàòóðí» / Â. Â. Òêà÷åíêî, Å. Ì.
Ãëóøå÷åíêî, Ì. ². Óãð³í, Ñ. Â. Áîáæåíêî.� 2009.� Áþë. ¹ 7.
9. Òêà÷åíêî Â. Â., Èæêî Í. Ñ., Óãðèí Ì. È. Àðñåíèä-ãàëëèå-
âûå äèîäû íà êðèñòàëëîäåðæàòåëå äëÿ äåòåêòîðîâ 5- è 8-ìì äèàïà-
çîíîâ äëèí âîëí // Òåõíèêà è ïðèáîðû ÑÂ×.� 2008.� ¹ 1.�
Ñ. 50�51.
10. Ïàòåíò 39400 Óêðà¿íè. Ðåçèñòèâíèé íàãð³âà÷ àêòèâíî-
ìàòðè÷íîãî ð³äêîêðèñòàë³÷íîãî äèñïëåÿ // ÄÏ ÍIJ «Ãåë³é» / Ë. Ô.
Êîâàëåíêî, Â. Ñ. Õîì÷åíêî, È. Þ. Æóðàêîâñêèé òà ³í.� 2009.�
Áþë. ¹ 4.
11. Êîâàëåíêî Ë. Ô., Æóðàêîâñêèé È. Þ., Ñòàøåâñêèé Â. Â.,
Ñåâàñòüÿíîâ Â. Â. Æèäêîêðèñòàëëè÷åñêèå ìîíèòîðû äëÿ àâèàöè-
îííîé òåõíèêè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé
àïïàðàòóðå.� 2009.� ¹ 3.� Ñ. 32�34.
12. Ïàòåíò 43132 Óêðà¿íè. Ñïîñ³á îòðèìàííÿ ãåòåðîñòðóêòó-
ðè ç âàð³çîííîþ àêòèâíîþ îáëàñòþ // ÍÂÏ «Êàðàò / Ì. Ì. Âàê³â,
Ñ. ². Êðóêîâñüêèé, Í. ß. Ñèâîðîòêà.� 2009.� Áþë. ¹ 15.
13. Âàêèâ Í. Ì., Êðóêîâñêèé Ñ. È., Íèêîëàåíêî Þ. Å. è äð.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóêöèÿ ìîäóëÿ ñîëíå÷íûõ áàòàðåé íà îñíîâå
ñîåäèíåíèé À3Â5 ñ êîíöåíòðàòîðàìè ñîëíå÷íîé ýíåðãèè è âûñî-
êîýôôåêòèâíîé ñèñòåìîé òåïëîîòâîäà // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóè-
ðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2010.� ¹ 2.� Ñ. 10�13.
14. Ñåâàñòüÿíîâ Â. Â., Øóòîâñüêèé Â. Â. Âûñîêîýôôåêòèâíûå
êàòîäíûå ýëåìåíòû äëÿ ãàçîðàçðÿäíûõ èñòî÷íèêîâ ñâåòà // Òåõíî-
ëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2009.�
¹ 1.� Ñ. 59�60.
15. Ïàòåíò 45837. Ñïîñ³á âèãîòîâëåííÿ äóãîâèõ åëåêòðîä³â
äëÿ ãàçîðîçðÿäíèõ ëàìï âèñîêîãî òèñêó //ÄÏ ÍIJ «Ãåë³é» / Â. Â.
Ñåâàñòüÿíîâ, Â. Â. Øóòîâñüêèé, Ì. Ì. Êîãóò, Â. ². Äàâèäåíêî.�
2009.� Áþë. ¹ 22.
16. Çàÿâêà ¹ à2008 11840 â³ä 06.10.2008 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. Ñïîñ³á âèãîòîâëåííÿ ãàçîðîçðÿäíî¿ ëàìïè âèñîêîãî
òèñêó // ÄÏ ÍIJ «Ãåë³é» // Â. Â. Ñåâàñòüÿíîâ, Â. Â. Øóòîâñüêèé,
Ì. Ì. Êîãóò.
17. Ïàòåíò 48048 Óêðà¿íè. гäèííà ñèñòåìà îõîëîäæåííÿ ïî-
òóæíîãî åëåêòðîííîãî êîìïîíåíòà // ÊÍÓÁÀ / Å. Ñ. Ìàëê³í,
Þ. ª. ͳêîëàºíêî, ². Å. Ôóðòàò, Ì. ². Äüÿ÷êîâ.� 2010.� Áþë. ¹ 5.
18. Ïàòåíò ¹ 40635 Óêðà¿íè. Åëåêòðîííèé áëîê // ÍÂÏ «Êà-
ðàò» / Þ. ª. ͳêîëàºíêî, Î. Î. Öèãàíñüêèé.� 2009.� Áþë. ¹ 8.
19. Êîâàëåíêî Ê. Ë., Øàðàí Í. Í., Ñåâàñòüÿíîâ Â. Â. Íàíîñò-
ðóêòóðèðîâàííàÿ êîìïîçèòíàÿ ïëåíêà äëÿ ñåíñîðîâ âëàæíîñòè //
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.�
2009.� ¹ 5.� Ñ. 49�50.
20. Çàÿâêà ¹ u2009 03672 â³ä 15.04.2009 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. ²íòåãðàëüíèé ñåíñîð âîëîãîñò³ // ÄÏ ÍIJ «Ãåë³é» /
Ê. Ë. Êîâàëåíêî, Ì. Ì. Øàðàí, Â. Â. Ñåâàñòüÿíîâ.
21. Ëåïèõ ß. È. Äàò÷èê óãëà ïîâîðîòà ãåíåðàòîðíîãî òèïà ñ
ýëåìåíòîì íà ïîâåðõíîñòíûõ àêóñòè÷åñêèõ âîëíàõ // Òåõíîëî-
ãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2009.�
¹ 3.� Ñ. 24�25.
22. Çàÿâêà ¹ à 2008 14794 â³ä 22.12.2008 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. Ïðèñòð³é äëÿ âèïðîáóâàíü ÍÂ× íàï³âïðîâ³äíèêîâèõ
ä³îä³â // ÄÏ ÍIJ «Îð³îí» / Ì. Ñ. Áîëòîâåöü, Ã. Ì. Âåðåì³é÷åíêî,
Â. Ã. Íîºíêî òà ³í.
23. Ïàòåíò 43386 Óêðà¿íè. Àïàðàòóðà äëÿ ä³àãíîñòèêè íàä-
³éíîñò³ íàï³âïðîâ³äíèêîâèõ íàäïîòóæíèõ ³ ³ìïóëüñíèõ ëàâèíî-
ïðîë³òíèõ ä³îä³â (ËÏÄ) // ²ÔÍ ³ì. Â. ª. Ëàøêàðüîâà / Î. ª. Áºëÿºâ,
Ì. Ñ. Áîëòîâåöü, Ð. Â. Êîíàêîâà òà ³í.� 2010.� Áþë. ¹ 2.
24. Êóäðèê ß. ß., Øèíêàðåíêî Â. Â. Èìïóëüñíûé õàðàêòåðèîã-
ðàô // Òåõíèêà è ïðèáîðû ÑÂ×.� 2009.� ¹ 2.� Ñ. 60�61.
25. Êóäðèê ß. ß. Èçìåðåíèÿ ÂÀÕ èìïóëüñíûõ êðåìíèåâûõ
ËÏÄ íà ó÷àñòêå ëàâèííîãî ïðîáîÿ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðî-
âàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2009.� ¹ 5.� Ñ. 32�33.
26. Ïàòåíò 40035 Óêðà¿íè. Ïðèñòð³é äëÿ îòðèìàííÿ ïëàçìî-
âèõ çãóñòê³â // ÄÏ ÍIJ «Ãåë³é» / Â. Â. Ñåâàñòüÿíîâ, Ì. Ì. Êîãóò.�
2009.� Áþë. ¹ 6.
27. Äóäèí Ñ. Â., Ðàôàëüñêèé Ä. Â. Çàêîíîìåðíîñòè ôîðìèðî-
âàíèÿ ïó÷êà èîíîâ íèçêîé ýíåðãèè ïðè ïîìîùè îäíîñåòî÷íîé
èîííî-îïòè÷åñêîé ñèñòåìû // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â
ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2009.� ¹ 6.� Ñ. 42�45.
28. Ðèñ³í Â. Ñ., Òêà÷åíêî Â. Î., Ñàïîí Ñ. Â. ×îòèðèêàíàëüíèé
ì³êðîïîòóæíèé îïåðàö³éíèé ï³äñèëþâà÷ ç ïîëüîâèìè òðàíçèñòî-
ðàìè íà âõîä³ // CHIP NEWS Óêðàèíà.� 2008.� ¹ 6.� Ñ. 72�82.
29. Ñâ³äîöòâî ïðî äåðæàâíó ðåºñòðàö³þ òîïîãðàô³¿ ³íòåãðàëü-
íî¿ ì³êðîñõåìè / Â. Î. Òêà÷åíêî, Â. Ñ. Ðèñ³í, Â. ². Çàõàðåíêî, Ñ. Â.
Ñàïîí.� 2008.� Áþë. ¹ 10.
30. Çàÿâêà ¹ à2008 13628 â³ä 25.11.2008 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. ̳êðîåëåêòðîííèé êîîðäèíàòíî-÷óòëèâèé äåòåêòîð
ìàññïåêòðîìåòðà // ÄÏ «ÍIJ ì³êðîïðèëàä³â» ÍÒÊ «²íñòèòóò ìî-
íîêðèñòàë³â» ÍÀÍ Óêðà¿íè / Î. ². Áîðèñê³í, Â. Ã. Âåðáèöüêèé,
Î. Ì. Çàáðîä³íà òà ³í.
31. Ñèäîðåíêî Â. Ï., Âåðáèöêèé Â. Ã., Ïðîêîôüåâ Þ. Â. è äð.
ÑÁÈÑ äëÿ ìèêðîýëåêòðîííîãî êîîðäèíàòíî-÷óâñòâèòåëüíîãî äå-
òåêòîðà ïðèáîðîâ ýëåìåíòíîãî àíàëèçà ìàòåðèàëîâ // Òåõíîëî-
ãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2009.�
¹ 2.� Ñ. 25�29.
32. Ïàòåíò 43851 Óêðà¿íè. Íàï³âïðîâ³äíèêîâèé p-i-n íàäâè-
ñîêî÷àñòîòíèé ä³îä // ÄÏ ÍIJ «Îð³îí» / Â. Â. Áàñàíåöü, Ì. Ñ.
Áîëòîâåöü, Ã. Ì. Âåðeì³é÷åíêî òà ³í.� 2009.� Áþë. ¹ 17.
33. Áîëòîâåö Í. Ñ., Áîðèñåíêî À. Ã., ²âàíîâ Â. Í. è äð. Ôîðìè-
ðîâàíèå ìåçà-ñòðóêòóð 4HSiC p�i�n-äèîäîâ ìåòîäîì èîííî-ïëàç-
ìåííîãî òðàâëåíèÿ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîí-
íîé àïïàðàòóðå.� 2009.� ¹ 5.� Ñ. 45�48.
34. Çàÿâêà ¹ à2009 04954 â³ä 19.05.2009 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. Îì³÷íà êîíòàêòíà ñèñòåìà äëÿ íàï³âïðîâ³äíèêîâèõ
ïðèëàä³â ç êàðá³äó êðåìí³þ // ÄÏ ÍIJ «Îð³îí» / Â. Â. Áàñàíåöü,
Ì. Ñ. Áîëòîâåöü, Ã. Ì. Âåðåì³é÷åíêî òà ³í.
35. Belyaev A. E., Boltovets N. S., Ivanov V. N. at al. Heat-
resistant barrier and ohmic contacts based on TiBx and ZrBx interstitial
phases to microwave diode structures // Semiconductor Physics,
Quantum Electronics & Optoelectronics.� 2008.� Vol. 11, N 3.�
P. 209�216.
36. Çàÿâêà ¹ u2009 10362 â³ä 13.10.2009 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òà Óêðà¿íè. ijîä Ãàííà ç ôîñô³äó ³íä³ÿ // ÄÏ ÍIJ «Îð³îí» / Î. ª.
Áºëÿºâ, Ð. Â. Êîíàêîâà, ß. ß. Êóäðèê òà ³í.
37. Èâàíîâ Â. Í., Êîâòîíþê Â. Ì., Ðàåâñêàÿ Í. Ñ., Íèêîëàåíêî
Þ. Å. Îñîáåííîñòè òåõíîëîãèè è êîíñòðóèðîâàíèÿ InP-äèîäîâ
Ãàííà // Òåõíèêà è ïðèáîðû ÑÂ×.� 2009.� ¹ 1.� Ñ. 31�33.
38. Çàÿâêà ¹ u 2009 12890 â³ä 11.12.2009 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. Ëàâèííî-ïðîë³òíèé ä³îä ç òåðìîñò³éêîþ êîíòàêòíîþ
ñèñòåìîþ // ÄÏ ÍIJ «Îð³îí» / Ì. Ñ. Áîëòîâåöü, Ã. Ì. Âåðåì³é-
÷åíêî, Ò. Â. Êîðîñòèíñüêà òà ³í.
39. Çàÿâêà ¹ à2009 13089 â³ä 16.12.2009 ð. íà âèäà÷ó ïàòåí-
òó Óêðà¿íè. Âèñîêî÷àñòîòíà ÊÌÎÍ ³íòåãðàëüíà ñõåìà äëÿ ãåíå-
ðàòîð³â ç êâàðöåâîþ ñòàá³ë³çàö³ºþ ÷àñòîòè // ÄÏ «ÍIJ ì³êðîïðè-
ëàä³â» ÍÒÊ «²íñòèòóò ìîíîêðèñòàë³â» ÍÀÍ Óêðà¿íè / Â. Ã. Âåð-
áèöüêèé, Ò. Ì. ³ðîçóá, Î. Ô. Âîù³íê³í òà ³í.
|