Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862745762873475072 |
|---|---|
| author | Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. |
| author_facet | Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. |
| citation_txt | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:42:21Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51910 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:42:21Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. 2013-12-15T22:39:52Z 2013-12-15T22:39:52Z 2010 Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910 Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Обеспечение тепловых режимов Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума Тенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакууму New trends in oil free vacuum generation equipment Article published earlier |
| spellingShingle | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. Обеспечение тепловых режимов |
| title | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_alt | Тенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакууму New trends in oil free vacuum generation equipment |
| title_full | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_fullStr | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_full_unstemmed | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_short | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_sort | тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| topic | Обеспечение тепловых режимов |
| topic_facet | Обеспечение тепловых режимов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910 |
| work_keys_str_mv | AT vasilʹevûk tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma AT nesterovsb tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma AT vasilʹevats tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma AT vasilʹevûk tendencíârozvitkuzasobívstvorennâíanalízubezmaslânogovakuumu AT nesterovsb tendencíârozvitkuzasobívstvorennâíanalízubezmaslânogovakuumu AT vasilʹevats tendencíârozvitkuzasobívstvorennâíanalízubezmaslânogovakuumu AT vasilʹevûk newtrendsinoilfreevacuumgenerationequipment AT nesterovsb newtrendsinoilfreevacuumgenerationequipment AT vasilʹevats newtrendsinoilfreevacuumgenerationequipment |