Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51910 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. 2013-12-15T22:39:52Z 2013-12-15T22:39:52Z 2010 Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910 Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Обеспечение тепловых режимов Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума Тенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакууму New trends in oil free vacuum generation equipment Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| spellingShingle |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. Обеспечение тепловых режимов |
| title_short |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_full |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_fullStr |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_full_unstemmed |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| title_sort |
тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума |
| author |
Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. |
| author_facet |
Васильев, Ю.К. Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. |
| topic |
Обеспечение тепловых режимов |
| topic_facet |
Обеспечение тепловых режимов |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Тенденція розвитку засобів створення і аналізу безмасляного·вакууму New trends in oil free vacuum generation equipment |
| description |
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910 |
| citation_txt |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT vasilʹevûk tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma AT nesterovsb tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma AT vasilʹevats tendenciirazvitiâsredstvsozdaniâianalizabezmaslânogovakuuma AT vasilʹevûk tendencíârozvitkuzasobívstvorennâíanalízubezmaslânogovakuumu AT nesterovsb tendencíârozvitkuzasobívstvorennâíanalízubezmaslânogovakuumu AT vasilʹevats tendencíârozvitkuzasobívstvorennâíanalízubezmaslânogovakuumu AT vasilʹevûk newtrendsinoilfreevacuumgenerationequipment AT nesterovsb newtrendsinoilfreevacuumgenerationequipment AT vasilʹevats newtrendsinoilfreevacuumgenerationequipment |
| first_indexed |
2025-12-07T20:42:21Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:42:21Z |
| _version_ |
1850883588584636416 |