Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума - Васильев, Ю.К.; Нестеров, С.Б.; Васильева, Т.С. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.