Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2010
• Main Authors: Васильев, Ю.К., Нестеров, С.Б., Васильева, Т.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Subjects: Обеспечение тепловых режимов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51910
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.