Дудин, С., Рафальский, Д., & Зыков, А. (2010). Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationДудин, С.В, Д.В Рафальский, and А.В Зыков. "Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2010.
MLA (8th ed.) CitationДудин, С.В, et al. "Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.