Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51911 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. 2013-12-15T22:42:15Z 2013-12-15T22:42:15Z 2010 Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911 Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Широкоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацією RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| spellingShingle |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_full |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_fullStr |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_full_unstemmed |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_sort |
широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| author |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
| author_facet |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Широкоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацією RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation |
| description |
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911 |
| citation_txt |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT dudinsv širokoaperturnyivysokočastotnyiistočnikionovnizkoiénergiisélektronnoikompensaciei AT rafalʹskiidv širokoaperturnyivysokočastotnyiistočnikionovnizkoiénergiisélektronnoikompensaciei AT zykovav širokoaperturnyivysokočastotnyiistočnikionovnizkoiénergiisélektronnoikompensaciei AT dudinsv širokoaperturnevisokočastotnedžereloíonívnizʹkoíenergíízelektronnoûkompensacíêû AT rafalʹskiidv širokoaperturnevisokočastotnedžereloíonívnizʹkoíenergíízelektronnoûkompensacíêû AT zykovav širokoaperturnevisokočastotnedžereloíonívnizʹkoíenergíízelektronnoûkompensacíêû AT dudinsv rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation AT rafalʹskiidv rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation AT zykovav rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation |
| first_indexed |
2025-12-07T18:24:06Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:24:06Z |
| _version_ |
1850874890738991104 |