Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862720185788530688 |
|---|---|
| author | Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
| author_facet | Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
| citation_txt | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:24:06Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51911 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:24:06Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. 2013-12-15T22:42:15Z 2013-12-15T22:42:15Z 2010 Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911 Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Широкоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацією RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation Article published earlier |
| spellingShingle | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_alt | Широкоапертурне високочастотне джерело іонів низької енергії· з електронною компенсацією RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation |
| title_full | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_fullStr | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_full_unstemmed | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_short | Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| title_sort | широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911 |
| work_keys_str_mv | AT dudinsv širokoaperturnyivysokočastotnyiistočnikionovnizkoiénergiisélektronnoikompensaciei AT rafalʹskiidv širokoaperturnyivysokočastotnyiistočnikionovnizkoiénergiisélektronnoikompensaciei AT zykovav širokoaperturnyivysokočastotnyiistočnikionovnizkoiénergiisélektronnoikompensaciei AT dudinsv širokoaperturnevisokočastotnedžereloíonívnizʹkoíenergíízelektronnoûkompensacíêû AT rafalʹskiidv širokoaperturnevisokočastotnedžereloíonívnizʹkoíenergíízelektronnoûkompensacíêû AT zykovav širokoaperturnevisokočastotnedžereloíonívnizʹkoíenergíízelektronnoûkompensacíêû AT dudinsv rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation AT rafalʹskiidv rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation AT zykovav rfbroadbeamlowenergyionsourcewithelectroncompensation |