Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2010
• Main Authors: Дудин, С.В., Рафальский, Д.В., Зыков, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51911
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов....